路益嘉
助理研究员
电话：**
邮箱：luyijia@tsinghua.edu.cn
地址：李兆基科技大楼A1028
学术专长：多物理场耦合建模，流体力学





教育背景
工作履历
科研工作
论文与专利
奖励与荣誉

2000.9-2004.6 华中科技大学能源与动力工程学院热能系 本科
2004.9-2009.6 北京大学力学与工程科学系（工学院）博士


2009.9-2011.2 方达时空数字仿真技术研究所 项目负责
2011.3-2013.5 清华大学航院 博士后
2013.7-now 清华大学机械系 助理研究员


研究领域：
IC装备中的低温等离子体放电，工业设备中的多相流动




Tian C, Lu YJ*. Turbulence models of separated flow in shock wave thrust vector nozzle[J]. Engineering Applications of Computational Fluid Mechanics, 7:182-192. 2013. [SCI]
Yijia Lu, Yaosong Chen*, and Yiran An. The effect of discharge conditions of ICP etching reactor on plasma parameters. Acta Mechanica Sinica, 25(6):769-776, 2009. [SCI]
Yi-jia LU, Da-qiang YAN, and Yao-song CHEN*. 2-D fluid simulation of dual-frequency capacitively coupled plasma. Journal of Hydrodynamics, Ser. B, 21(6):814-819, 2009. [SCI]
YiRan An, YiJia Lu, DongSan Li, and YaoSong Chen*. Three-dimensional discharge simulation of inductively coupled plasma (ICP) etching reactor. Science in China Series E: Technological Sciences, 51(6):674-682, 2008. [SCI]


100nm高密度等离子刻蚀机研发与产业化，国家科学技术进步奖二等奖(2009-J-237-2-02-D04)