张　震
副教授，博士生导师
zzhang@tsinghua.edu.cn
清华大学李兆基大楼A931



教育背景
工作履历
科研工作
论文与专利
奖励与荣誉

2007.08: 美国俄亥俄州立大学电气与计算机工程系 博士
2003.08: 美国范德堡大学（Vanderbilt University）机械工程系 硕士
2001.06: 清华大学 精密仪系与机械学系 硕士
1998.06: 上海交通大学 仪器科学与工程系 学士
2009.11至今: 清华大学精密仪器与机械学系、机械工程系 助理研究员、副教授
2007.10 - 2009.10: 美国明尼苏达大学机械工程系 博士后研究员
研究领域— 精密/超精密伺服系统设计、建模和控制及其在科学仪器、先进制造装备中的应用（如超快激光）
— 时变系统的轨迹跟踪理论，特别是变速（变频）系统
— 机电一体化
研究概况研究特色：强调以设计、建模与控制一体化的方法，研究可显著提高超精密机电系统、先进制造装备系统性能的使能技术。
研究项目
—国家自然基金“面向超快激光制造的大动态范围纳米运动系统与轨迹控制”，负责人
—国家自然科学基金科学仪器“面向量子功能器件制备的直写蒸发系统”，合作方负责人
—国家重点实验室开放项目“大行程柔性纳米伺服系统设计与控制”，负责人
—国家自然科学基金“时变系统跟踪控制理论”，负责人
—教育部博士点基金“线性时变重复控制器设计”，负责人
—美国通用汽车研发中心/明尼苏达大学“机电一体化发动机可变气阀执行机构系统设计与控制”
在国际期刊和全文经同行评审的国际会议上发表SCI/EI论文80余篇。Google Citations 551次，单篇最高引用77次；

代表性论文
1、M. Cui, Z. Zhang* and P. Yan, Tracking control of a large range 3D printed compliant nanomanipulator with enhanced anti-windup compensation, Mechanical Systems and Signal Processing, vol. 131, pp. 33-48, 2019.
2、Z. Zhang, X. Yang, and P. Yan, Large dynamic range tracking of an XY compliant nanomanipulator with cross-axis coupling reduction, Mechanical Systems and Signal Processing, vol. 117, pp. 757-770, 2018.
3、L. Lu, Z. Zhang*, Y. Guan and H. Zheng, Comparison of the effect of typical patterns on friction and wear properties of chromium alloy prepared by laser surface texturing, Optics & Laser Technology, vol. 106, pp. 272-279, 2018.
4、Z. Liu, Z. Zhang*, and P. Yan, A self-adjusting stiffness center design for large stroke compliant XY nanomanipulators, Mechanical Sciences, vol. 9, pp. 41-50, 2018
5、Z. Zhang, P. Yan, and G. Hao. A large range flexure-based servo systems supporting precision additive manufacturing, Engineering, vol. 3(5), pp. 708-715, 2017.
6、Z. Zhang, P. Wang, P. Yan, and Y. Guan. A beam flexure-based large stroke nanopositioning stage supporting laser direct-write nanofabrication. Science China-Phys Mech Astron, vol. 59 no. 8, 2016.
7、Y. Li, K. Zhou and Z. Zhang*. A novel flow-difference feedback iteration method and its application to the high-speed aerostatic journal bearings, Tribology International, vol. 84, pp 132-141, 2015.
8、Z. Zhang, P. Yan, H. Jiang and P. Ye, A discrete time-varying internal model-based approach for high precision tracking of a multi-axis servo gantry, ISA Transactions, vol. 53, no. 5: pp. 1695-1703, 2014.
9、Z. Sun, Z. Zhang and T.-C. Tsao. Trajectory tracking and disturbance rejection of linear time-varying systems: Input/output representation. Systems & Control Letters, vol. 58 (6): 452-460, 2009.

10、Z. Zhang and A. Serrani. Adaptive robust output regulation of uncertain linear periodic systems. IEEE Transactions on Automatic Control, vol. 55 (2): 266-278, 2009.


代表性发明专利
1、二维纳米伺服平台，发明专利ZL 1.6，排名第一
2、二维纳米伺服平台及采用光栅的测量方法，中国发明专利，ZL 4.9，排名第一
3、大行程二维纳米伺服平台及采用光栅的测量方法，中国发明专利，ZL 7.6，排名第一
4、大行程三维纳米柔性运动平台，中国发明专利, ZL 1.2，排名第一
5、二维纳米柔性运动平台, 2014.10.21, 中国发明专利, ZL 7.2，排名第一
6、二维纳米柔性运动平台，2014.06.13，中国发明专利，ZL1.4，排名第一
7、并联运动解耦伺服控制平台 中国发明专利ZL9.0，排名第一
8、高刚度并联双驱运动解耦伺服平台 中国发明专利ZL4.6，排名第一
9、一种直写式真空蒸发系统及其方法 国际发明专利 WOA1，排名第三
10、抗扭转并联双驱运动解耦伺服平台 中国发明专利7x，排名第一
2009年美国控制学会专题分会最佳论文奖
2019 IEEE International Conference on Manipulation, Manufacturing and Measurement on the Nanoscale会议最佳应用论文奖（Best Application Paper Award）