宁瑾，博士，研究员，博士生导师，1976年9月出生。1995年毕业于郑州大学电子工程系，获学士学位。2000年于航天科技集团兰州物理研究所获硕士学位。2003年7月在中国科学院半导体研究所毕业获博士学位，同年进入中科院半导体研究所集成技术中心工作，一直从事新型半导体微电子器件和MEMS（微机电系统）器件的研究工作。作为项目负责人先后承担中科院项目、国家自然科学基金和国家863项目。先后成功研制出多种器件，其中Si基MEMS器件包括电容式微传声器、超声传感器、压力传感器、加速度计和陀螺仪等，SiC基器件包括MESFET器件、RF MEMS谐振器和滤波器。在国内外核心学术期刊发表学术论文50余篇，申请专利十余项，国内外学术会议报告多次。目前主要从事新型半导体微电子器件和MEMS（微机电系统）器件的研究工作。
近五年代表性论著如下：
(1) Tong, Xin ; Li, Zhaofeng; Han, Guowei; Liu, Nan; Su, Yan;Ning, Jin, Yang, Fuhua, Adaptive EKF Based on HMM Recognizer for Attitude Estimation, Using MEMS MARG Sensors, IEEE Sensors
(2) Yang, Jian, Si, Chaowei; Yang, Fan; Han, Guowei;Ning, Jin; Yang, Fuhua; Wang, Xiaodong, Design and simulation of a novel piezoelectric AlN-Si cantilever gyroscope, Micromachines, v 9, n 2, February 15, 2018
(3) Su, Yan, Tong, Xin; Liu, Nan; Han, Guowei; Si, Chaowei;Ning, Jin; Li, Zhaofeng; Yang,Fuhua, PSPICE hybrid modeling and simulation of capacitive micro-gyroscopes, Sensors (Switzerland), v 18, n 4, April 2018
(4) 刘楠;苏言;童鑫;韩国威;司朝伟;宁瑾,硅微机械陀螺仪温度补偿方法的研究现状,微纳电子技术: 395~400, 2017 (06)
(5) Jian Yang；Chaowei Si；Guowei Han；Meng Zhang；Liuhong Ma；Yongmei Zhao;Jin Ning，Researching the Aluminum Nitride Etching Process for application in MEMS Resonators[J]. Micromachines, vol. 6, pp. 281-290, 2015
(6) Zhang Meng; Yang Jian; Si Chaowei; Han Guowei;Ning Jinet al, Research on the Piezoelectric Properties of AlN Thin Films for MEMS Applications. Micromachines, 2015, 6(9): 1236-1248.
(7) Wang,Xiaoqing; Yu,Yude;Ning, Jin, Fabrication and Characterization of Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducers with Low Temperature Wafer Direct Bonding, Micromachines, 2016.12 7(12)
(8) Si, Chaowei; Han, Guowei; Yang, Fuhua;Ning, Jin, Bandwidth
optimization design of a multi degree of freedom MEMS gyroscope Sensors (Switzerland): 10550~10560, 2013 13(8)
(9) Zhong, Weiwei; Han, Guowei; Si, Chaowei;Ning, Jin; Yang, Fuhua, Fabrication and characterization of an SOI MEMS gyroscope, Chinese Journal of Semiconductors : 064004-1~064004-5, 2013.6.10 34(6)
申请专利如下：
(1)王小青;俞育德;魏清泉;刘文文;刘元杰;蒋莉娟;宁瑾驻极体电容式超声传感器及其制备方法2015.12.14中国CN201510922222.3
(2)王小青;俞育德;魏清泉;刘文文;刘元杰;蒋莉娟;宁瑾MEMS电容式超声波传感器及其制备方法2015.12.14中国CN201510921394.9
(3)王小青;徐团伟;俞育德;魏清泉;刘文文;蒋莉娟;宁瑾一种超声波触觉反馈系统及其制造方法2015.8.26其他国家CN201510266849.8
(4)王小青;孙英男;俞育德;宁瑾一种电容式超声传感器及其制作方法2015.5.27中国CN201510062395.2
(5)司朝伟;韩国威;刘晓东;宁瑾采用窄脉冲激励MEMS谐振器的振荡器电路2012.3.1中国CN201210052015.3
(6)张萌;司朝伟;韩国威;赵永梅;宁瑾环形检测电极面内伸缩谐振器设计及其制备方法2016.2.3中国CN201510810985.9
(7)杨健;司朝伟;韩国威;赵永梅;梁秀琴;王晓东;杨富华;宁瑾在衬底上制备多级台阶的方法2015.3.25中国CN201410720797.2
(8)司朝伟;韩国威;赵永梅;杨富华;宁瑾应用在MEMS器件中的弱耦合弹性梁结构2015.4.1中国CN201410734012.7
(9)司朝伟;韩国威;宁瑾;赵永梅;杨富华 采用晶圆级封装的MEMS器件2014.12.4中国201410730304.3
(10)杨健;司朝伟;韩国威;宁瑾;赵永梅;梁秀琴 利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法2014.9.26中国201410500353.8
(11)司朝伟;韩国威;赵永梅;杨富华;宁瑾双自由度MEMS压电梁结构2016.3.21中国CN201610160263.8
(12)钟卫威;司朝伟;韩国威;杨富华;宁瑾谐振式微机电系统机翼风力传感器及其制作方法2013.1.29中国CN201310034847.7
(13)赵永梅;季安;张明亮;杨香; 王晓东;杨富华;宁瑾一种低量程高灵敏度, MEMS压力传感器及其制作方法2013.12.19中国CN201310706910.7
(14)赵永梅;杨香;季安;张明亮;韩国威;王晓东;杨富华;宁瑾一种制备图形化多孔硅结构的方法2013.12.20中国201310706907.5
