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非传统微纳制备技术在驻极体研究中的应用
文献类型：会议
作者：曹廷炳^[1]薛面起^[2]赵丹^[3]马欣蕾^[4]
机构：[1]中国人民大学化学系,北京,100872
[2]中国人民大学化学系,北京,100872
[3]中国人民大学化学系,北京,100872
[4]中国人民大学化学系,北京,100872

年：2010
会议名称：2010年两岸三地高分子液晶态与超分子有序结构学术会议暨第十一次全国高分子液晶态与超分子有序结构学术论文报告会
会议论文集：2010年两岸三地高分子液晶态与超分子有序结构学术会议暨第十一次全国高分子液晶态与超分子有序结构学术论文报告会论文集
页码范围：238-240
会议地点：郑州
会议开始日期：2010-08-23
所属部门：化学系
语言：中文
关键词：非传统技术;聚合物有序组装;驻极体;图案化
摘要：非传统微纳制备技术主要是指软刻蚀及其衍生的技术，与目前在微制造领域广泛使用的光刻蚀技术相比，软刻蚀的优势主要集中在过程简单，成本低，可以有效提高微制作的效率，并且能够实现平面和曲面上的微/纳米图案(1，2，3维)的微图形转移和微制造等方面。
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