非传统微纳加工技术在驻极体研究中的应用
文献类型：会议
作者：曹廷炳[1]
机构：[1]中国人民大学化学系 北京 100872
年：2010
会议名称：中国化学会第二十七届学术年会
会议论文集：中国化学会第二十七届学术年会论文集
页码范围：1-1
会议地点：厦门
会议开始日期：2010-06-01
所属部门：化学系
语言：中文
关键词：软刻蚀;图案化;驻极体
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