微电子学系
简介：北京大学微电子学与固体电子学专业的前身是在我国著名物理学家黄昆院士领导下由五所大学在北大联合创建的我国第一个半导体专门化；七十年代研制出我国第一块硅栅N沟道1K MOS DRAM，是我国微电子科学技术史上的重要里程碑，获全国科学大会奖。自80年代以来，在微电子学家王阳元院士的领导下，北京大学微电子学与固体电子学专业有了很大的发展，目前已成为我国微电子领域高层次人才培养和科学研究的重要基地之一，2001年被评为国家重点学科，2003年批准了首批国家集成电路人才培养基地的建设，2006年国家重点学科评估中名列微电子学与固体电子学专业第一。
北京大学微电子学与固体电子学专业现拥有四个国家或部委重点实验室，即国家级微米/纳米加工技术重点实验室、北方微电子研究开发基地新工艺新器件新结构国家计委专项实验室，北京市软硬件协同设计(原名软件固化)高科技重点实验室和微电子器件与电路教育部重点实验室。其中微电子科学技术工艺实验室拥有净化面积900平方米的4英寸亚微米集成电路超净工艺实验线，拥有各种先进的微电子加工及测试设备130余台套，可加工CMOS集成电路、超高速硅双极集成电路、CMOS/SOI集成电路和MEMS等。系统芯片(SOC)软硬件协同设计实验室面积约600m2，拥有2个11450服务器、70台先进的SUN工作站，150台微机,并配备了齐全的系统、逻辑、电路、器件、工艺以及MEMS等方面的最新EDA软件，如Cadence、Synopsys、MAGAMA、Ansys、Intellesuite等软件。
目前，该专业的研究方向主要有四个，即微纳电子器件及集成技术（ULSI）、系统集成芯片(SOC)设计及其设计方法学、集成微纳系统(MEMS/NEMS)技术和宽禁带半导体器件及集成技术。这四个研究方向均是当前国际微电子学学科发展的重点领域。
（1）微纳电子器件及其集成技术（ULSI）：该方向主要面向新一代微纳电子器件和工艺技术的需求，重点解决新一代微纳电子器件中的新材料、新工艺、新器件以及集成技术领域的问题和难点。重点开展亚100纳米以下新结构半导体器件及其集成技术、半导体器件模型模拟、小尺寸MOS器件可靠性物理及其应用、新型微纳电子材料研究等方面的研究；
（2）系统集成芯片(SOC)设计及其设计方法学：SOC将是21世纪微电子技术发展的重点之一。充分利用北京大学在微电子学与计算机科学技术、电路与系统、信号与信息处理紧密结合的优势，致力发展中国自主的系统集成芯片设计、数模混合集成电路设计、软硬件协同设计方法学。重点开展面向数模混合集成电路、SOC设计方法学、专用集成电路设计与开发、IP开发、MPW设计验证的环境建设等方面的研究；
（3）集成微纳系统(MEMS/NEMS)技术：该方向主要研究微机电（MEMS）与纳机电（NEMS）器件及系统。集成微纳系统集成了微电子技术、力学、机械学、物理学、化学以及生命科学技术，是一门新兴的学科和重大经济增长点。该方向重点研究MEMS/NEMS设计技术、微纳制造技术、新型MEMS/NEMS器件、封装技术、相关处理电路及系统集成技术。研究的器件和系统包括微型惯性器件、光MEMS、RF MEMS、微流控系统、生物MEMS以及新型NEMS器件等。
（4）宽禁带半导体器件及集成技术：主要面向新一代宽禁带半导体器件和电路的需求，从事宽禁带器件及集成技术的研究工作，重点开展宽禁带半导体微波器件及电路、开关器件、生物探测器、其它新型器件，以及辐射半导体探测器的结构设计技术、工艺技术、器件物理和可靠性的研究。
微电子学与固体电子学专业在这四个研究培养方向上均具有很好的研究基础，曾承担了近200项国家重点项目研究工作，经过了30余年的研究积累，取得了一系列创新成果，若干代表性工作被国际半导体技术路线图（ITRS）引用。在基础研究方面基本上与国际先进水平同步，在工艺技术和应用开发方面则总体上处于国内领先水平，部分居国际先进水平。先后获国家技术发明奖、国家科技进步奖等国家级和部委级奖励20余项，发表学术论文1000余篇（包括 IEDM，VLSI Symposium等顶级国际会议），出版专著和教材20余部，获得发明专利50余项。该学科点在国际上有比较高的知名度。
目前微电子学与固体电子学专业拥有一支结构合理，学术水平较高的学术梯队。其中获得教育部创新团队一个；长江特聘教授1人，国家杰出青年2人，教育部新世纪优秀人才2人。目前本学科点现有中科院院士1人，教授30人，副教授36人，讲师13人，其中博士生导师24人，具有博士学位的教师42人，他们的研究方向涵盖了目前微电子技术发展的主要领域。
该专业开展了广泛的国际合作，聘请了萨支唐（Univ. of Florida杰出研究教授，北京大学和清华大学名誉教授，美国工程院院士、中国科学院外籍院士）和葛守仁(UC Berkeley)、胡正明(UC Berkeley EECS系主任，美国工程院院士)、施敏(台湾交通大学教授、美国工程院院士、中国工程院外籍院士)、高秉强（原HKUST工程院院长）、陈正豪（HKUST工程院院长)、朱剑豪（香港城市大学教授）、丛京生（美国UCLA教授）、田之楠（美国UC Davis教授）、云维杰（美国DEI公司高级研究员）、马佐平（美国耶鲁大学教授、中国科学院外籍院士）等一批国际著名高校的学者为兼职教授，还聘请了张汝京、俞滨（美国纽约大学教授）、赵阳（美国MEMSI公司总裁）、吴汉民（中芯国际）、季明华（中芯国际）等微电子产业界人士为兼职教授，并与Samsung、Motorola、Cadence、ADI等国际著名公司建立了4个联合实验室，保证我们的研究与国际水平同步。
微电子学系博导介绍
王阳元
中国科学院院士，教授，博士生导师
1958年毕业于北京大学物理系物理专业。
办公地址：北京大学理科1号楼1544室
联系电话：62751783 E-mail: yywang@pku.edu.cn
Webpage: http://ime.pku.edu.cn/html/academician.htm
主要研究领域：微纳电子器件物理，新结构微纳电子器件，超大规模集成电路制备工艺，射频集成电路技术，微电子发展战略
张兴
教授, 博士生导师
1993年 获得 工学博士学位（航天771研究所）
办公地址：北京大学微纳电子大厦513室
联系电话：62767859 E-mail: zhx@pku.edu.cn
Webpage: http://ime.pku.edu.cn/html/professor.htm
主要研究领域 ：微纳电子新结构器件，超大规模集成电路制备工艺，专用集成电路设计，器件参数提取技术
黄如
教授, 博士生导师，教育部长江特聘教授，国家杰出青年科学基金获得者，教育部“新世纪优秀人才”
1997年 获得 理学博士学位（北京大学）
办公地址：北京大学理科2号楼2717室
联系电话：62757761 E-mail: ruhuang@pku.edu.cn
Webpage: http://ime.pku.edu.cn/html/professor.htm
主要研究领域 ：小尺寸半导体器件物理、新型逻辑和存储器件、器件可靠性、射频元器件及相关电路
康晋锋
教授, 博士生导师
1996年 获得 理学博士学位（北京大学）
办公地址：北京大学微纳电子大厦441室
联系电话：62756745 E-mail: kangjf@pku.edu.cn
Webpage: http://www.ime.pku.edu.cn/nd/action/kangjf.php#make4
主要研究领域 ：新型存储器技术； CMOS器件物理与工艺；光伏太阳能电池；新型氧化物材料及其应用
刘晓彦
教授, 博士生导师，教育部“新世纪优秀人才”
2001年 获得 理学博士学位（北京大学）
办公地址：北京大学微纳电子大厦408室
联系电话：62756793 E-mail: xyliu@ime.pku.edu.cn
Webpage: http://ime.pku.edu.cn/html/professor.htm
主要研究领域 ：微纳电子器件物理；微纳电子器件模型与模拟；计算微电子学；有源显示器件。
张盛东
教授, 博士生导师
2002年 获得 理学博士学位 （北京大学）
办公地址：北京大学理科2号楼2724室
联系电话： E-mail: zhangsd@pku.edu.cn
Webpage: http://ime.pku.edu.cn/html/professor.htm
主要研究领域 ：ULSI器件、平板显示器件、集成光传感器件、薄膜器件与集成电路。
傅云义
教授, 博士生导师
1998年 获得 工学博士学位 (上海交通大学)
办公地址：北京大学微纳电子大厦409室
联系电话：62752549 E-mail: yyfu@ pku.edu.cn
Webpage: http://ime.pku.edu.cn/html/professor.htm
主要研究领域 ：碳基纳电子学，纳电子器件的集成技术和理论，互连技术
王漪
教授, 博士生导师
2000年 获得 理学博士学位 （日本东北大学）
办公地址：北京大学微纳电子大厦406室
联系电话：62755173 E-mail: wangyi@ime.pku.edu.cn
Webpage: http://ime.pku.edu.cn/html/professor.htm
主要研究领域 ：半导体自旋电子学、III-V族稀磁半导体薄膜材料与器件、透明平板显示技术。
廖怀林
教授, 博士生导师
2001年 获得 理学博士学位（北京大学）
办公地址：北京大学理科2号楼2714室
联系电话：010-62752549-805 E-mail: liaohl@ime.pku.edu.cn
Webpage: http://ime.pku.edu.cn/html/professor.htm
主要研究领域 ：射频/模拟集成电路设计、CMOS毫米波/太赫兹集成电路设计
王金延
教授, 博士生导师
2000年 获得 理学博士学位 （北京大学）
办公地址：北京大学微纳电子大厦436
联系电话：010-62752579 E-mail: jywang@ime.pku.edu.cn
Webpage: http://ime.pku.edu.cn/htl/professor.htm
主要研究领域：宽禁带半导体器件物理、新结构与工艺技术，半导体器件可靠性物理
黎明
“百人计划”研究员，博士生导师
2003年获得理学博士学位
办公地址：北京大学微纳电子大厦411室
联系电话：- E-mail: liming.ime@pku.edu.cn
Webpage: -
主要研究领域：小尺寸器件物理、nano-CMOS器件、ULSI新工艺及集成方法、高迁移率半导体材料及器件
程玉华
教授，博士生导师，IEEE Fellow
1989年 获得 工学博士学位 （清华大学）
办公地址：上海微电子研究院
联系电话：021—61091006转816 E-mail:：chengyh@pku.edu.cn
Webpage: http://www.shrime-pku.org.cn/yjygk6.asp
主要研究领域 ：器件技术及建模、模拟与封装技术及设计、集成器件与电路、SOC技术与设计、SOC技术平台开发。
yds
于敦山
教授级高工 博士生导师
1999年获得工学博士学位（西安微电子技术研究所）
办公地址：北京大学理科2号楼2621室
联系电话：62765928 E-mail：yuds@pku.edu.cn
Webpage: http://ime.pku.edu.cn/html/professor.htm
主要研究领域 ：SoC设计方法学 数字集成电路设计技术
王新安
教授, 博士生导师 （深圳研究生院）
1993年 获得 工学博士学位 （航天771研究所）
办公地址：北京大学深圳研究生院A栋408
联系电话：0755-26035359 E-mail: anxinwang@pku.edu.cn
Webpage: http://ime.pku.edu.cn/html/professor.htm
主要研究领域 ：面向特定算法的阵列DSP芯片设计，SOC设计及设计方法学研究
陈中建
教授, 博士生导师
2002年 获得 理学博士学位（北京大学）
办公地址：北京大学微纳电子大厦506室
联系电话：62759051 E-mail: chenzj@pku.edu.cn
Webpage: http://ime.pku.edu.cn/html/professor.htm
主要研究领域 ：模拟和混合集成电路设计、传感系统前端ASIC设计
盖伟新
教授, 博士生导师
1997年 获得 工学博士学位（清华大学）
办公地址：北京大学理科2号楼2608室
联系电话：+86-10-62765926 E-mail: wgai@pku.edu.cn
Webpage: http://ime.pku.edu.cn/html/professor.htm
主要研究领域 ： 通信系统集成电路研究、高效能模拟和模数混合集成电路研究、数字系统工程芯片设计。
郝一龙
教授, 博士生导师
2004年 获得 理学博士学位（北京大学）
办公地址：北京大学微纳电子大厦307
联系电话：62755145 E-mail: haoyl@pku.edu.cn
Webpage: http://ime.pku.edu.cn/html/professor.htm
主要研究领域 ：MEMS工艺与器件
李志宏
教授, 博士生导师
1997年 获得 理学博士学位（北京大学）
办公地址：北京大学微纳电子大厦339室
联系电话：62766581 E-mail: zhhli@ pku.edu.cn
Webpage: http://www.ime.pku.edu.cn/mems/faculty/lizhihong.php
主要研究领域：生物MEMS、RF MEMS、微流控系统、微纳加工技术
金玉丰
教授, 博士生导师
1999年 获得 工学博士学位 （东南大学）
办公地址：北京大学微纳电子大厦305 室
联系电话：62752536 E-mail: jinyf@ime.pku.edu.cn
Webpage: http://ime.pku.edu.cn/html/professor.htm
主要研究领域 ：集成微系统的设计、加工、封装、微电子先进封装技术。
吴文刚
教授, 博士生导师
1995年 获得 工学博士学位 （西安交通大学）
办公地址：北京大学微纳电子大厦430室
联系电话：62767553 E-mail: wuwg@pku.edu.cn
Webpage: http://ime.pku.edu.cn/htl/professor.htm
主要研究领域 ：微米/纳米跨尺度、集成化加工技术，MEMS/NEMS（微/纳机电系统）器件如光学器件、射
频器件、微/纳流控器件、生物器件及其应用技术，宽禁带半导体新器件等。
张大成
教授, 博士生导师
2004年 获得 理学博士学位 （北京大学）
办公地址：北京大学微纳电子大厦 309室
联系电话：62755816 E-mail: dchzhang@ime.pku.edu.cn
Webpage: http://ime.pku.edu.cn/html/professor.htm
主要研究领域 ：微米/纳米结构加工工艺方法，微结构物理和力学特性表征方法，MEMS集成化方法，新型MEMS器件
张海霞
教授, 博士生导师
1998年 获得 工学博士学位 （华中科技大学）
办公地址：北京大学微纳电子大厦312室
联系电话：010-62767742 E-mail: hxzhang@pku.edu.cn
Webpage: http://www.ime.pku.edu.cn/alice
主要研究领域：微纳设计与加工技术，微纳传感器与执行器，集成微系统
于晓梅
教授， 博士生导师
2001年 获得 工学博士学位 （北京航空航天大学）
办公地址：北京大学微纳电子大厦 330 室
联系电话：62752536-15 E-mail: yuxm@pku.edu.cn
Webpage: http://ime.pku.edu.cn/html/professor.htm
主要研究领域 ：微/纳机电系统（MEMS/NEMS）、微光机电器件、生物MEMS器件、MEMS集成化技术、
硅基纳米自旋器件加工。
解晓东
研究员, 博士生导师
1994年获得理学博士学位（美国University of Rochester电机系）
办公地址：北京大学理科二号楼2641室
联系电话：62756172 E-mail: donxie@pku.edu.cn
Webpage：http://ime.pku.edu.cn/html/professor.htm
主要研究领域 ：VLSI架构及设计，系统级芯片（SoC）软硬件协同设计，媒体处理算法及系统，可靠性设计及可测性设计
