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研究方向名称

主要研究内容、特色与意义

研究生导师（博导注明）

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微纳电子器件及其集成技术（ULSI）

该方向主要面向新一代微纳电子器件和工艺技术的需求，重点解决新一代微纳电子器件中的新材料、新工艺、新器件以及集成技术领域的问题和难点。重点开展新结构半导体器件及其集成技术、半导体器件模型模拟、小尺寸MOS器件可靠性物理及其应用、新型微纳电子材料研究等方面的研究。

*王阳元，*张兴，*黄如，*康晋锋，*刘晓彦，*张盛东，*王漪，*傅云义，*廖怀林，于民，孙雷，王金延，刘力锋，蔡一茂，安霞

 

2

系统集成芯片设计及其设计方法学(SOC)

充分利用北京大学在微电子学与计算机科学技术、电路与系统、信号与信息处理紧密结合的优势，致力发展中国自主的系统集成芯片设计、数模混合集成电路设计、软硬件协同设计方法学。重点开展面向数模混合集成电路、SOC设计方法学、专用集成电路设计与开发、IP开发、MPW设计验证的环境建设等方面的研究；

*王阳元，*张兴，*程玉华，*于敦山，*解晓东，*陈中建，*盖伟新，贾嵩，冯建华，杜刚，何燕冬，王源，鲁文高，王阳

 

 3

集成微纳系统(MEMS/NEMS)技术

该方向主要研究微机电（MEMS）与纳机电（NEMS）器件及系统。集成微纳系统集成了微电子技术、力学、机械学、物理学、化学以及生命科学技术，是一门新兴的学科和重大经济增长点。该方向重点研究MEMS/NEMS设计技术、微纳制造技术、新型MEMS/NEMS器件、封装技术、相关处理电路及系统集成技术。研究的器件和系统包括微型惯性器件、光MEMS、RF MEMS、微流控系统、生物MEMS以及新型NEMS器件等

*郝一龙，*张大成，*吴文刚、*李志宏， *金玉丰，*张海霞、*于晓梅、陈兢、张锦文、张威、杨振川、王玮、高承臣

培养目标：

   

对于微电子学与固体电子学专业的硕士研究生，应掌握坚实的微电子科学与技术的基础理论知识，具有利用原理、方法和新技术进行系统分析、设计与开发的能力，并了解当前国内外最新发展动态。具有扎实的理论基础、合理的知识结构、独立分析和解决问题的能力，能够承担科学研究、工程课题以及高校教学工作，并可继续攻读微电子学以及相关技术学科、交叉学科的博士学位。

 

学习年限：

3年

 

 

应修学分：

 

            共   33 学分

            其中   必修：21 学分

                   选修：12 学分

 

必修课：21学分

全校必修课：2门， 7学分（英语4学分，政治3学分）

专业必修课： 5门，14学分