张威 职称：副研究员
研究所：微纳电子学研究院
研究领域：MEMS传感器，MEMS技术、产品、应用及标准化研究
办公电话：86-
电子邮件：weizhang@pku.edu.cn
个人主页：




科研/教育经历
1986.8-1990.7 哈尔滨市，哈尔滨船舶工程学院机械系，学士
1994.8-1997.7 哈尔滨市，哈尔滨工程大学机电学院，硕士(在职)
2000.8-2003.7 北京市，北京大学信息科学技术学院，博士
1990.8-2000.7 哈尔滨市，电子科技集团49研究所，工程师
1996.12-1997.11 美国，RAE SYSTEMS公司，访问学者
2003.8-2005.7 北京市，北京大学信息科学技术学院，讲师
2005.8-现在 北京市，北京大学信息科学技术学院，副研究员

研究成果概况
完成科研项目：
北京市：“多轴力传感器”；
工信部创新基金：“MEMS湿度传感器”：
科技部863：“汽车ESP用系列微传感器”；
国防：“振动角量传感器”、“机器人多维力传感器”、“MEMS加速度传感器”、“MEMS冲击开关”、“高精度加速度传感器”等。
获奖：“振动角量传感器”、“机器人多维力传感器”获部级科技进步二等奖。
获得专利：
MEMS压阻式伺服加速度传感器及其制备方法，ZL**.5；
一种加工制造微电子机械制造元器件的方法，ZL**.6；
压阻式微型气体流量计芯片及制备方法和流量计，ZL**.8；
MEMS压阻式压力传感器芯片及其制备方法，ZL**.X；
热扩散压阻式MEMS压力传感器芯片级老化方法，ZL3.9
申请专利：
一种MEMS微加速度的结构及其制造方法，8.2；
压阻式大过载加速度计及其制备方法， GF保密；
单片集成压阻式抗高过载三轴加速度计， GF保密；
一种阵列式抗高冲击加速度传感器的结构及其制造方法， GF保密

主要学术任职
中国电子学会高级会员，会员号E**S；
全国微机电技术标准化委员会（SAC/TC336）委员；
仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事；
担任国际电工委员会IEC（SC47F）专家，TC47WG7、SC47F/WG3召集人
是国家首个JY标准“MEMS传感器通用规范”主要起草人， 国家标准“MEMS薄膜材料鼓胀测试评定标准”---主要起草人，国家系列MEMS标准评审专家，作为IEC中国专家评审国外标准，进行投票。