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Konstantin Vorotilov教授的讲座研究了电介质的制备和铁电薄膜的电子应用,并将重点放在完善微观结构和电学特性的方法上。他还介绍了低k互连绝缘电介质的制备技术,讨论了制备低k材料的不同的方法:包括有机硅酸盐,甲基倍半硅氧烷,复合材料,以及不同种类的纳米多孔结构。Konstantin Vorotilov教授还对陶瓷薄膜的溶胶—凝胶工艺处理以锆钛酸铅(PZT)和钛酸锶钡(BST)作为实例进行讨论。分析了强电介质薄膜的溶胶 - 凝胶处理问题以及成膜溶液的合成方法,沉积和结晶过程等。
Konstantin Vorotilov,男,博导,莫斯科理工大学(MIREA)教授。主要从事微电子低K电介质材料领域研究。