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莫斯科国立工业大学教授康斯坦丁?伏罗希洛夫来我校讲学

本站小编 Free考研考试/2021-12-26

5月24日上午,应电子信息工程学院微电子学系邀请,莫斯科国立工业大学(Moscow Technological University)教授康斯坦丁?伏罗希洛夫(Konstantin Vorotilov )来我校做了题为《Chemical Solution Deposition for Micro- and Nanoelectronics》的学术讲座,讲座由微电子学系主任张静老师主持,电子信息工程学院各专业研究生聆听了讲座。

Konstantin Vorotilov教授的讲座研究了电介质的制备和铁电薄膜的电子应用,并将重点放在完善微观结构和电学特性的方法上。他还介绍了低k互连绝缘电介质的制备技术,讨论了制备低k材料的不同的方法:包括有机硅酸盐,甲基倍半硅氧烷,复合材料,以及不同种类的纳米多孔结构。Konstantin Vorotilov教授还对陶瓷薄膜的溶胶—凝胶工艺处理以锆钛酸铅(PZT)和钛酸锶钡(BST)作为实例进行讨论。分析了强电介质薄膜的溶胶 - 凝胶处理问题以及成膜溶液的合成方法,沉积和结晶过程等。
Konstantin Vorotilov,男,博导,莫斯科理工大学(MIREA)教授。主要从事微电子低K电介质材料领域研究。



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