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三维a-IGZO薄膜中的电子-电子散射

本站小编 Free考研考试/2021-12-29

摘要:本文利用射频磁控溅射法制备了一系列厚度约800 nm的非晶铟镓锌氧化物(a-IGZO)薄膜,并对其电输运性质和低温的电子退相干机理进行了系统的研究. 研究发现,所有a-IGZO薄膜中,载流子浓度均不随温度变化,高温区的电阻率-温度系数为正,说明样品具有类金属导电特性. 通过对薄膜低温磁电阻的测量,获得了电子退相干散射率与温度的关系. 分析表明,薄膜中的电子-声子散射率远小于小能量转移电子-电子散射率,小能量转移电子-电子散射率主导电子退相干散射率与温度的依赖关系.
关键词: 电子散射/
弱局域效应/
电子输运性质

English Abstract


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相关话题/电子 系统 测量 金属 薄膜

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