吴朝阳¹，高子涵¹，孔辉¹，先琛¹，贾吉祥^2*，廖相巍²

1. 安徽工业大学特殊服役环境的智能装备制造国际科技合作基地，安徽马鞍山 2430022. 鞍钢集团公司钢铁研究院，辽宁鞍山 114021

收稿日期:2020-08-08修回日期:2020-09-15出版日期:2021-08-28发布日期:2021-08-24
通讯作者:贾吉祥

基金资助:国家自然科学基金青年基金;国家自然科学基金面上基金;安徽省高校自然科学研究项目

Influence of the dilution gas flow rate on SiO₂ deposition on the powder surface during the fluidized vapor deposition

Zhaoyang WU¹, Zihan GAO¹, Hui KONG¹, Chen XIAN¹, Jixiang JIA^2*, Xiangwei LIAO²

1. International Science & TechnologyCooperation Base for Intelligent Equipment Manufacturing under Special WorkEnvironment, Anhui University of Technology, Ma′anshan, Anhui 243002, China2. Ansteel Group Iron and Steel ResearchInstitute, Anshan, Liaoning 114021, China

Received:2020-08-08Revised:2020-09-15Online:2021-08-28Published:2021-08-24
Contact:Ji XiangJia

摘要/Abstract

摘要： 利用Fe(Si)合金球形粉末为沉积基底，正硅酸乙酯为SiO2气相介质前驱体，采用引入流化环节的化学气相沉积工艺合成了Fe(Si)/SiO2复合粉末。考察了沉积过程中Ar稀释气体流量对Fe(Si)基底粉末表面SiO2绝缘介质沉积过程的影响规律及形成完整核壳异质结构的稀释气体流量范围。实验结果表明，随着流态化气相沉积过程中Ar稀释气体流量的逐渐增大，SiO2绝缘介质在Fe(Si)粉末基底表面的微观形貌从亚微米级团簇转变为完整薄膜再向多孔薄膜转变，沉积速率先减小后增大再降低，在250 sccm时SiO2绝缘介质均匀性最好，沉积速率为0.069 nm/s。此外，形成完整Fe(Si)/SiO2核壳异质结构的Ar稀释气体流量范围为200~300 sccm。

引用本文

吴朝阳 高子涵 孔辉 先琛 贾吉祥 廖相巍. 流态化气相沉积过程中稀释气体流量对颗粒表面SiO₂沉积的影响[J]. 过程工程学报, 2021, 21(8): 959-968.
Zhaoyang WU Zihan GAO Hui KONG Chen XIAN Jixiang JIA Xiangwei LIAO. Influence of the dilution gas flow rate on SiO₂ deposition on the powder surface during the fluidized vapor deposition[J]. The Chinese Journal of Process Engineering, 2021, 21(8): 959-968.

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参考文献

相关文章 1

[1]	吴朝阳 先琛 贾吉祥 樊希安 廖相巍 张明亚. 流态化气相沉积中FeSi5Cr5.5/SiO2核壳结构的演化过程[J]. 过程工程学报, 2020, 20(11): 1321-1328.

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