项目初步技术验收会和测试验收会分别由中科院沈阳科学仪器股份有限公司雷震霖研究员和中科院微电子夏洋研究员主持。会上,项目负责人彭钦军研究员及各任务负责人就项目目标及完成情况、取得成果和关键技术突破等向专家组做了汇报。测试验收专家组组长夏洋研究员现场宣读了现场技术测试结果及意见。经质询、讨论,专家组一致认为该项目全面完成了项目任务书所提出的研究工作,达到了任务书的考核指标要求,同意该项目通过技术初步验收;希望项目组在后续的研究工作中,继续加强推进仪器的产品化推广工作,提升仪器产品的竞争力。
国家重大科学仪器设备开发专项“新型深紫外全固态激光源及其前沿装备开发(1)”项目于2012年立项,牵头单位是中科院理化所,项目合作单位是北京中科科仪股份有限公司,项目应用单位是中科院物理所、电子所和中国科学技术大学。该项目利用我国独有的可倍频产生深紫外激光的KBBF非线性光学晶体及其实用化使用技术——棱镜耦合技术(KBBF-PCT),开展深紫外全固态激光源工程化研究;结合物理、化学、材料、信息等领域前沿研究对深紫外科研装备的迫切需求,开展深紫外激光光发射电子显微镜工程化研究;重点解决KBBF晶体及器件、深紫外全固态激光源、光发射电子显微镜核心部件及整机的工程化难题,开展磁性薄膜阈激发磁二色电子显微术研究、微波真空电子器件阴极应用研究及多元催化剂表面结构研究等应用开发。
经过多年努力,项目组攻克了深紫外全固态激光源和光发射电子显微镜产业化的关键技术,完成系统集成和工程化开发,研制出了具有世界领先水平的深紫外全固态激光源及深紫外激光光发射电子显微镜,有力推动了磁学、阴极、催化等相关领域重要材料和科研应用的发展。利用深紫外激光光发射电子显微镜系统,进行了磁性薄膜阈激发磁二色深紫外激光光发射电子显微技术的研究,实现了垂直磁性薄膜高分辨磁成像,完成了磁畴图片数据库的采集;获得了阴极表面微区的发射特征,对于制备阴极高发射活性物质及钪型阴极适用薄膜起到关键作用,将阴极发射电流密度提升至400A/cm2,居国际热扩散阴极领先水平,同时将仪器应用于微尖场发射阵列阴极、LaB6-ZrB2等新型阴极研究领域,拓宽了仪器应用范围;开展了深紫外多元催化剂表面结构研究,获得了能够区分钴多晶表面不同取向晶畴的PEEM图,发展“深紫外激光光发射电子显微镜结合选区低能电子衍射确定多晶催化剂表面不同晶畴表面取向”的研究方法,该方法为研究催化剂催化性能的晶面效应奠定了基础。
验收会会场
项目负责人彭钦军研究员作项目总体汇报
验收专家组长雷震霖研究员主持会议
王雪松副所长发言
张申金副研究员作项目汇报