钱广^1,,,
钱坤²,
顾晓文¹,
孔月婵¹,
陈堂胜¹
①.南京电子器件研究所微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室 ??南京 ??210016
②.空军装备部驻南京地区第二军事代表室 ??南京 ??210016
基金项目:国家部委基金

详细信息

作者简介:钱广：钱　广(1985–)，男，博士。现在南京电子器件研究所微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室从事微波光子、激光雷达等方面的光电集成芯片、器件和组件研究。E-mail: chinaqgll@163.com
顾晓文(1989–)，男，硕士。现在南京电子器件研究所微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室从事微波光子集成器件等方面研究
孔月婵(1982–)，女，博士。现为南京电子器件研究所微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室研究员级高工。主要研究方向为半导体器件物理及异质异构集成技术等
陈堂胜(1964–)，男，首席科学家。主要研究方向为半导体器件物理、工艺及异质集成技术等

通讯作者:钱广　chinaqgll@163.com

中图分类号:TN256

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出版历程

收稿日期:2019-03-19
修回日期:2019-04-08
网络出版日期:2019-04-19

Integrated Chip Technologies for Microwave Photonics

QIAN Guang^1,,,
QIAN Kun²,
GU Xiaowen¹,
KONG Yuechan¹,
CHEN Tangsheng¹
①. Science and Technology on Monolithic Integrated Circuits and Modules Laboratory, Nanjing Electronic Devices Institute, Nanjing 210016, China
②. The Second Military Representative Office of Air Force Equipment Department in Nanjing, Nanjing 210016, China
Funds:The National Ministries Foundation

More Information

Corresponding author:QIAN Guang, chinaqgll@163.com

摘要
摘要:微波光子集成芯片技术是微波光子雷达的重要支撑技术，不仅可以实现器件的多功能化，缩小微波光子雷达的体积，还可以大大提升微波光子雷达的稳定性与可靠性。该文介绍了目前常用的InP基、Si基和铌酸锂基等材料体系及其异质异构集成的光子集成芯片技术和可用于微波光子混合集成的光电集成芯片技术，并展望了未来发展趋势。
关键词:微波光子雷达/
集成微波光子/
集成芯片技术/
光子集成芯片
Abstract:Microwave photonic integrated chip technology is an important supporting technology of microwave photonic radar. It can not only realize the multifunction of devices, reduce the volume of microwave photonic radar, but also greatly improve the stability and reliability. This paper introduces the photonic integrated chip technologies based on the commonly used InP, Si, LiNbO₃ and their heterogeneous integrations and the optoelectronic integration chip technologies for microwave photonics. Finally, the future development trends is discussed.
Key words:Microwave photonic radar/
Integrated microwave photonic/
Integrated chip technology/
Photonic integrated chip



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