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1200V SiC超结VDMOS研究

本站小编 Free考研考试/2022-01-02

摘要在高耐压器件中,保持高耐压的同时减少漂移区电阻是提升器件性能的关键,超结理论的提出使器件在相同耐压下具有更小的漂移区电阻。通过利用Silvaco TCAD软件对器件结构参数进行了计算优化仿真,得到了击穿电压为1680V,比导通电阻为060mΩ·cm2的超结VDMOS器件。

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https://ateee.iee.ac.cn/CN/article/downloadArticleFile.do?attachType=PDF&id=1904
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