姓名：殷伯华
性别：男
职称：高级工程师
职务：
学历：博士研究生
电话：
传真：
电子邮件：yinbh@mail.iee.ac.cn
所属部门：微纳加工技术与智能电气设备研究部
通讯地址：


简　　历： 2008年-2011年 中国科学院大学获得博士学位；
2012年-今 中科院电工所高级工程师。


社会任职：
研究方向： 微纳米结构检测与成像方法研究；纳米微位移台驱动及控制方法研究。


承担科研项目情况： 【1】国家自然科学基金面上项目：快速大范围柔性铰链位移台耦合振动机理和控制方法研究。起止年度：2014-2017；
【2】科学院创新人才计划，起止年度：2015-2017
【3】中国科学院科研装备研制项目，纳米生物医学共聚焦激发/扫描探针光声成像系统。起止年度2014-2016
【4】863计划子课题：工业型扫描探针显微测试系统及关键技术研究。2011-2015
【5】国家科技支撑计划：纳米位移定位控制技术和系统的开发，2012-2015





代表论著： 【1】Micron and nanometer measuring methods based on metrological scanning electron microscope. Micro-Nano Technology, XV,v609-610, p1195-1200, 2014
【2】Large scanning range and rapid AFM for biological cell topography imaging, Micro-Nano Technology, v562-565,p697-700,2013;
【3】小型微纳米图形电子束曝光制作系统。纳米技术与精密工程，2010-4
【4】一种计量型扫描电子显微镜成像控制系统及扫描成像方法。专利号：7.9
【5】柔性铰链位移台耦合振动主动补偿系统.专利号： 2.X
【6】基于DSP-6713的M-SEM下位机软件V1.0，软著





专利申请：
获奖及荣誉： 2015年：获得中国科学院“关键技术人才奖”；2012年：获得2项北京市科学技术奖三等奖。“图形发生器及其在微纳加工中的应用”，“以纳米生物医学为核心的多功能微纳尺度三维操作表征及加工系统”。