物质的元素组成和化学结构是仪器分析的重要内容。该项目以磁控溅射为团簇源,串联富压层流反应管,设计研制了定性定量质谱检测的多重四极杆质谱系统,并引入团簇软沉积技术,把团簇制备、富压反应、质谱分析与原子精准的材料制造融合在一起,研制了可以同时实现宏量团簇富压反应与团簇沉积材料的“气相团簇反应与软沉积系统”。
测试专家组在听取项目工作报告的基础上,对照项目实施方案要求,审议了技术测试大纲,并到现场逐项完成技术指标的测试,最终形成技术测试意见。根据测试结果,测试专家组认为该项目的各项技术指标达到或优于项目任务书的要求,一致同意通过验收。
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项目报告会现场 技术测试现场
科技处/科研条件办公室
2019年9月30日