基本信息
钟汇才男博导中国科学院微电子研究所
电子邮件： zhonghuicai@ime.ac.cn
通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码： 100029
部门/实验室：先导中心
研究领域

招生信息
招生专业080903-微电子学与固体电子学
081203-计算机应用技术
085208-电子与通信工程

招生方向大数据与人工智能
集成电路先导工艺技术


教育背景1999-07--2002-05美国北卡罗纳州立大学博士
1995-09--1998-07中国科学院固体物理研究所硕士

学历
学位

工作经历
工作简历2009-08~现在,中国科学院微电子研究所,研究员
2007-01~2008-08,美国SanDisk公司,主管器件工程师
2002-02~2006-09,美国AMD公司,资深器件工程师

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息（1） 中国科学院杰出成就奖, 一等奖, 部委级, 2014

专利成果（ 1 ） 一种SOI衬底和具有SOI衬底的半导体器件及其形成方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 1.6
（ 2 ） 一种衬底结构、半导体器件及其制造方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 8.4
（ 3 ） 半导体器件及其形成方法、封装结构, 发明, 2011, 第 1 作者, 专利号: 5.5
（ 4 ） 一种半导体器件的制造方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 1.X
（ 5 ） Method for modulating flatband voltage of devices having high-k gate, 发明, 2006, 第 1 作者, 专利号: **
（ 6 ） 一种接触孔、半导体器件和二者的形成方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 5.5
（ 7 ） 层间介质层、具有该介质层的半导体器件及制造方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 6.9
（ 8 ） 半导体器件结构及其制造方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 1.1
（ 9 ） 半导体结构及其形成方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 4.9
（ 10 ） 半导体器件及其制作方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 6.7
（ 11 ） 一种半导体器件的制造方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 9.7
（ 12 ） Semiconductor devices and methods for forming the same including contacting, 发明, 2007, 第 1 作者, 专利号: **
（ 13 ） 栅极堆叠的制造方法和半导体器件, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 0.6
（ 14 ） 嵌入式源/漏MOS晶体管及其形成方法, 发明, 2011, 第 1 作者, 专利号: 9.6
（ 15 ） CMOS gates formed by integrating metals having different work functions, 发明, 2007, 第 2 作者, 专利号: **
（ 16 ） 半导体器件的接触的制造方法及具有该接触的半导体器件, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 5.5


出版信息
发表论文（1）缩小尺寸场效应管器件的载流子迁移率增强技术总体评估与现状,Mobility Enhancement Technology for Scaling of CMOS Devices: Overview and Status,Journal of ELECTRONIC MATERIALS,,2011,通讯作者
（2）在体硅上利用与CMOSFET工艺兼容工艺制备的高性能N型环栅硅纳米管场效应器件,High-Performance Silicon Nanowire Gate-All-Around nMOSFETs Fabricated on Bulk Substrate Using CMOS-Compatible Process,IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS,,2011,通讯作者
（3）利用反向Halo离子注入来控制场效应管的短沟道效应,On the Control of Short Channel Effect for MOSFETs with Reverse Halo Implantation,IEEE Electronic Device Letters,2007,第2作者
（4）RuO2作为双金属极硅场效应管电极的电学特性,Electrical properties of RuO2 gate electrodes for dual metal gate Si-CMOS,IEEE Electronic Device Letters,2001,第1作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 集成电路先导工艺研究的器件测试, 主持,国家级,2009-12--2012-12
（ 2 ） 面向远程医疗和社区医疗信息化的无线物联网技术总体研究, 参与,国家级,2011-12--2013-06
（ 3 ） 汽车移动物联网总体技术研究, 参与,国家级,2012-01--2013-06
（ 4 ） 半导体器件测试、分析和参数提取, 主持,部委级,2010-08--2012-12
（ 5 ） 场发射枪扫描电子显微镜开发和应用, 主持,国家级,2014-01--2018-01
（ 6 ） 高可靠非挥发存储技术与芯片, 主持,院级,2015-01--2019-01

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生已指导学生
陈政硕士研究生430110-集成电路工程
王防防硕士研究生085209-集成电路工程
曾定衡硕士研究生430110-集成电路工程
李弦博士研究生080903-微电子学与固体电子学
李影硕士研究生085208-电子与通信工程
李鑫硕士研究生080903-微电子学与固体电子学
张琴硕士研究生080903-微电子学与固体电子学
童小东博士研究生080903-微电子学与固体电子学
江洋硕士研究生080903-微电子学与固体电子学
龙煌硕士研究生085209-集成电路工程
叶根圣硕士研究生085208-电子与通信工程
乔照海硕士研究生085212-软件工程
王志广硕士研究生085212-软件工程
贾明岳硕士研究生085212-软件工程
徐锐硕士研究生085212-软件工程
高鹴硕士研究生085212-软件工程
赵巍颂硕士研究生080903-微电子学与固体电子学
现指导学生
王锟朋硕士研究生080903-微电子学与固体电子学
田敏博士研究生080903-微电子学与固体电子学
张羽博士研究生080903-微电子学与固体电子学
李玥琪博士研究生080903-微电子学与固体电子学
杨键刚博士研究生080903-微电子学与固体电子学
唐舸宇博士研究生080903-微电子学与固体电子学
陈硕硕士研究生085208-电子与通信工程