基本信息
赵永梅女中国科学院半导体研究所
电子邮件： ymzhao@semi.ac.cn
通信地址： 北京市海淀区清华东路甲35号半导体所3号楼306
邮政编码：

研究领域

招生信息
招生专业080903-微电子学与固体电子学

招生方向微机电系统（MEMS）


教育背景2005-09--2008-06中国科学院半导体研究所微电子学与固体电子学 博士学位
2002-09--2005-06郑州大学材料物理与化学 硕士学位
1998-09--2002-06郑州大学应用物理 学士学位

学历
学位

工作经历
工作简历2013-01~现在,中国科学院半导体研究所,副研究员
2008-07~2012-12,中国科学院半导体研究所,助理研究员
2005-09~2008-06,中国科学院半导体研究所,微电子学与固体电子学 博士学位
2002-09~2005-06,郑州大学,材料物理与化学 硕士学位
1998-09~2002-06,郑州大学,应用物理 学士学位

社会兼职

教授课程微机电系统基础
MEMS和微系统


专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 压电执行梁结构, 2016, 第 3 作者, 专利号: 9.9
（ 2 ） 双自由度MEMS压电梁结构, 2016, 第 3 作者, 专利号: 3.8
（ 3 ） 一种利用金属材料扩散互溶实现硅-硅键合的方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 9.4
（ 4 ） 晶圆级光刻机键合方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 9.1
（ 5 ） 材料扩散互溶实现碳化硅键合的方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 7.4
（ 6 ） 采用晶圆级封装的MEMS器件, 2014, 第 4 作者, 专利号: 4.3
（ 7 ） 应用在MEMS器件中的弱耦合弹性梁结构, 2014, 第 4 作者, 专利号: 2.7
（ 8 ） 在衬底上制备多级台阶的方法, 2014, 第 5 作者, 专利号: 7.2
（ 9 ） 利用相对易腐蚀的金属制备另一种金属图形的剥离方法, 2014, 第 5 作者, 专利号: 3.8


出版信息
发表论文（1）A Decoupling Design with T-Shape Structure for the Aluminum Nitride Gyroscope,Micromachines,2019-10,第6作者
（2）Research ont the Protrusions Near Silicon-Glass Interface during Cavity Fabrication,Micromachines,2019-10,第5作者
（3）AgAu core-shell dendrites:a stable,reusable and sensitive surface enhanced Raman scattering substrate,Scientific Reports,2015,第3作者
（4）Low-costAu nanoparticle-decorated cicada wing as sensitive and recyclable substrates for surface,Sensors and Actuators B,2015,第4作者
（5）Recyclable three-dimensional Ag nanoparticle-decorated TiO2 nanorod arrays for surface-enhanced Raman scattering,Biosensors and Bioelectronics,2015,第4作者
（6）Low cost Au nanoparticle decorated cicada wing as sensitive and recyclable substrates for surface enhanced Raman scattering,Sensors and Actuators B,2014,第4作者
（7）Synthesis and Photoluminescence Properties of Eu-doped ZnO Nanorods Arrays,Journal of Materials Science,2013,第11作者

发表著作（ 1 ） 基于智能工厂的M2M通信架构、技术、标准与应用,Machine-to-Machine Communications Architectures, Technology and Applications,机械工业出版社,2016-10,第2作者
（ 2 ） 微机电系统基础,MEMS Introduction and Fundamentals,机械工业出版社,2017-01,第1作者


科研活动
科研项目（ 1 ） 高压大容量碳化硅IGBT电力电子器件若干基础科学问题研究, 参与,国家级,2015-01--2019-08
（ 2 ） 新型级联阵列结构的AlN MEMS谐振器及关键机理研究, 参与,国家级,2013-01--2016-12
（ 3 ） 基于倾斜扫描曝光方式的直写曝光系统, 主持,部委级,2019-01--2019-12

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生