基本信息
赵磊男硕导中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
电子邮件: zhaolei1218@126.com
通信地址: 吉林省长春市营口路77号孵化基地1号楼
邮政编码:
研究领域
招生信息
招生专业080300-光学工程
招生方向光机集成分析
教育背景2016-09--2019-06中国科学院大学大珩学院工学博士2006-09--2009-01大连理工大学机械工程学院工学硕士2002-09--2006-07中南大学机电工程学院工学学士学位
学历
学位
工作经历
工作简历2016-09~2019-06,中国科学院大学大珩学院,工学博士2009-04~2019-06,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,研究实习员、助理研究员、副研究员2006-09~2009-01,大连理工大学机械工程学院,工学硕士2002-09~2006-07,中南大学机电工程学院,工学学士学位
社会兼职
教授课程
专利与奖励
奖励信息
专利成果( 1 ) 一种能够产生多种像差的变形镜装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: CNB( 2 ) 透镜X、Y、θZ三自由度微动调整装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CNB( 3 ) 一种微位移传感器标定装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CNB( 4 ) 基于单自由度柔性微动调整机构的微位移传感器标定装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CNB( 5 ) 一种像散变形镜装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: CNB( 6 ) 光刻物镜中透镜轴向调整装置, 2015, 第 1 作者, 专利号: CNB( 7 ) 支撑高度可调式光学元件多点支撑结构, 2015, 第 1 作者, 专利号: CNB( 8 ) 光学元件Z、tip、tilt三自由度微动调整装置, 2014, 第 1 作者, 专利号: CNB( 9 ) 一种投影物镜系统中光学元件轴向微动调整装置, 2011, 第 1 作者, 专利号: CNB( 10 ) 一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置, 2012, 第 1 作者, 专利号: CNB( 11 ) 一种用于光刻投影物镜中可动机构的锁紧装置, 2016, 第 2 作者, 专利号: CNB( 12 ) 一种三叶像差变形镜装置, 2016, 第 2 作者, 专利号: CNB( 13 ) 一种四叶像差变形镜装置, 2016, 第 2 作者, 专利号: CNB( 14 ) 气动微位移波纹管驱动器, 2017, 第 2 作者, 专利号: CNB( 15 ) 一种投影物镜系统中光学元件调心装置, 2012, 第 2 作者, 专利号: CNB( 16 ) 气动光学变形镜系统的控制方法, 2017, 第 3 作者, 专利号: CNB( 17 ) 一种解耦的光刻投影物镜中透镜偏心调节装置, 2016, 第 3 作者, 专利号: CNB( 18 ) 一种用于光学测量的积分球装置, 2012, 第 3 作者, 专利号: CNB
出版信息
发表论文(1)Dynamic linear modeling, identification and precise control of a walking piezo-actuated stage,Mechanical Systems and Signal Processing,2019,第3作者(2)Active lens for thermal aberration compensation in lithography lens,applied optics,2018,第1作者(3)A deformable plane-parallel optical plate with 16 actuated points for low order aberrations correction,proceedings of SPIE,2016,第2作者(4)?基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解,光学精密工程,2016,第1作者(5)?具有整体径向挠性的光学元件多点均匀支撑结构,光电工程,2015,第1作者(6)?光刻物镜主动变形镜像差补偿分析,激光与光电子学进展,2015,第2作者(7)?基于FPGA的液晶显示屏测试用标准白场装置,液晶与显示,2014,第1作者(8)?基于柔度矩阵法的整体式XY光学微调整机构研究,仪器仪表学报,2014,第2作者(9)?利用失调量向量计算投影物镜小比例模型系统补偿量,光学学报,2014,第3作者(10)?光刻物镜热像差主动补偿系统设计与实验,光学学报,2014,第4作者(11)?直梁圆角形柔性铰链的柔度矩阵分析,中国机械工程,2013,第1作者(12)?直梁圆角型柔性铰链的回转精度分析,中国机械工程,2013,第1作者(13)?光刻投影物镜中柔性多弹片支撑方式的性能分析,光电工程,2013,第3作者(14)?光刻投影物镜中的透镜X-Y柔性微动调整机构,光学精密工程,2013,第1作者(15)?光刻物镜中透镜高精度支撑结构的设计及分析,光学学报,2012,第1作者(16)?18~90mm连续变焦距镜头的研制,光学学报,2012,第1作者(17)?预紧式Stewart结构六维力/力矩传感器,光学精密工程,2011,第1作者(18)?单点金刚石机床及其在光学工程领域的应用,中国光学,2011,第2作者(19)?基于液晶显示器的白场仪设计及其实现,液晶与显示,2011,第3作者
发表著作
科研活动
科研项目( 1 ) 浸没式光刻机光学系统研制与批量成产能力建设, 参与,国家级,2016-01--2020-12( 2 ) 超高通量基因测序成像系统研究, 主持,院级,2017-01--2020-01( 3 ) 大行程滑动摩擦副的超声减摩方法研究, 参与,省级,2019-01--2021-12
参与会议
合作情况
项目协作单位
指导学生
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