基本信息
张天冲男硕导中国科学院高能物理研究所
电子邮件： zhangtc@ihep.ac.cn
通信地址： 中国科学院高能物理研究所
邮政编码：
部门/实验室：多学科中心
研究领域

招生信息
招生专业070207-光学

招生方向LIGA技术


教育背景2004-09--2009-07中国科学院物理研究所博士学位
2000-09--2004-07河北工业大学学士学位

学历
学位

工作经历
工作简历2012-04~现在,中国科学院高能物理研究所,副研究员
2009-07~2011-07,奥斯陆大学,博士后
2004-09~2009-07,中国科学院物理研究所,博士学位
2000-09~2004-07,河北工业大学,学士学位

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 一种在硅衬底表面涂覆光刻胶的方法, 2013, 第 1 作者, 专利号: 5.6
（ 2 ） 一种利用离子束刻蚀技术抛光微结构侧壁的方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 1.2
（ 3 ） 一种实现光刻胶微结构的方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: 3.X


出版信息
发表论文（1）Sidewall smoothing of micro-pore optics by ion beam etching,Surface & Coatings Technology,2015,第1作者
（2）Fabrication of micro pore optics with smooth sidewall using X-ray lithography,Microsystem Technologies,2014,第1作者
（3）Fabrication of silicon nanotip arrays with high aspect ratio by cesium chloride self-assembly and dry etching,AIP Advances,2014,第4作者
（4）The performances of silicon solar cell with core–shell p-n junctions of micro-nano pillars fabricated by cesium chloride self-assembly and dry etching,Applied Physics A: Materials Science and Processing,2014,第11作者
（5）Fabrication of silicon nanopillar arrays by cesium chloride self-assembly and wet electrochemical etching for solar cell,Applied Surface Science,2014,第11作者
（6）The performance of silicon solar cell with selective pillars fabricated by Cesium Chloride self-assembly lithography and UV-lithography,Solar Energy ,2014,第11作者
（7）Fabrication and antireflection properties of solar cells with pyramid-nanohole texture by Cesium Chloride lithography,Journal of Physics D: Applied Physics ,2013,第2作者
（8）Photothermal microactuators fabricated by LIGA technology,Key Engineering Materials ,2013,第11作者
（9）Fabrication and photovoltaic characteristics of silicon nanoscrew and nanohole based solar cells,Journal of Nanoscience and Nanotechnology ,2013,第11作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 空间科学背景型号项目, 参与,部委级,2012-10--2015-09
（ 2 ） LIGA技术研制MPO镜片金属结构研究, 主持,市地级,2012-07--2015-06
（ 3 ） X射线微孔光学技术的国产化和望远镜样机研制, 参与,国家级,2015-01--2019-12
（ 4 ） 基于LIGA技术的空间X射线成像元件微缝光学的研制和性能研究, 主持,国家级,2017-01--2019-12

参与会议（1）Fabrication of micro pore optics with smooth sidewall using X-ray lithography张天冲2013-04-21


合作情况
项目协作单位

指导学生