曾爱军男博导中国科学院上海光学精密机械研究所
电子邮件： aijunzeng@siom.ac.cn
通信地址： 上海市嘉定区清河路390号
邮政编码： 201800
部门/实验室：信光
研究领域偏振光技术及其应用、光学系统设计与仿真、精密光电检测技术及仪器、光学生物特征识别与生物传感。

招生信息
招生专业080300-光学工程

招生方向偏振光技术及其应用，光学系统设计与仿真
精密光电检测技术及仪器
光学生物特征识别技术与生物传感


教育背景2002-09--2005-06中国科学院研究生院博士研究生
1999-09--2002-06武汉大学硕士研究生
1995-09--1999-06武汉测绘科技大学本科

学历 上海光机所 --** 研究生毕业

学位 -- 工学博士学位


工作经历2003.01--2007.06 中国科学院上海光学精密机械研究所 助理研究员
2007.07--2012.08 中国科学院上海光学精密机械研究所 副研究员
2012.08至今 中国科学院上海光学精密机械研究所 研究员
工作简历2012-08~现在,中国科学院上海光学精密机械研究所,研究员
2007-07~2012-08,中国科学院上海光学精密机械研究所,副研究员
2003-01~2007-06,中国科学院上海光学精密机械研究所,助理研究员

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 四分之一波片快轴方位实时测量装置和方法, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: ZL4.7
（ 2 ） 用于同步移相干涉仪的空间移相器, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: ZL3.2
（ 3 ） 线起偏器, 发明, 2013, 第 2 作者, 专利号: ZL9.1
（ 4 ） 四分之一波片相位延迟量分布实时测量装置和测量方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: ZL7.4
（ 5 ） 八分之一波片相位延迟量测量装置和测量方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL9.7
（ 6 ） 线性双折射测量装置和测量方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: ZL5.6
（ 7 ） 光刻照明模式产生装置, 发明, 2014, 第 3 作者, 专利号: ZL3.9
（ 8 ） 轴锥镜透射波面的测量方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL4.8
（ 9 ） 光刻照明系统, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL4.9
（ 10 ） 产生投影光刻照明模式的装置, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL6.6
（ 11 ） 光刻环形照明模式产生装置, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL6.8
（ 12 ） 波片相位延迟量与快轴方位角的实时测量装置和方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL2.6
（ 13 ） 步进扫描投影光刻机的照明系统, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL5.1
（ 14 ） 相位延迟量分布和快轴方位角分布实时测量装置和方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL5.4
（ 15 ） 空间移相横向剪切干涉仪, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL6.X
（ 16 ） 两个光束在同一入射面的位置与角度同时测量装置, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL0.5
（ 17 ） 线性双折射测量装置和测量方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL0.6
（ 18 ） 用于激光等离子体极紫外光刻光源纯化滤波装置, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL0.4
（ 19 ） 正弦相位调整器峰值延迟量的标定装置和标定方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL1.4
（ 20 ） 轴锥镜面形的测量装置和测量方法, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL4.9
（ 21 ） 高反射率凹面锥形反射镜的面形检测方法, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL1.X
（ 22 ） 光束位置和角度的调节装置, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL5.7
（ 23 ） 激光脉冲拉伸装置, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL6.9
（ 24 ） 深紫外投影光刻机的照明装置及使用方法, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL5.5
（ 25 ） 投影光刻机照明装置和使用方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL5.5
（ 26 ） 双平板偏振移相剪切干涉仪, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL6.5
（ 27 ） 四分之一波片相位延迟量的测量装置和测量方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: ZL8.3
（ 28 ） Lithography illumination system, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: US**B2
（ 29 ） Device and method for measuring phase retardation distribution and fast axis angle distribution in real time, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: US**B2


出版信息
发表论文（1）Flat Gauss illumination for the step-and-scan lithographic system,Optics Communications,2016,通讯作者
（2）Generation of trapezoidal illumination for the step-and-scan lithographic system,Appl. Optics,2015,通讯作者
（3）A method for measuring the base angle of axicon lens based on chromatic dispersion,Opt. Commun.,2015,通讯作者
（4）Real-time measurement of retardation and fast axis azimuth for wave plates,J. Opt. Technol.,2015,通讯作者
（5）Large-area three-dimensional profilometer based on digital micromirror device,J. Opt. Technol.,2015,通讯作者
（6）Two-dimensional polarization distribution controller based on variable retarder array,Optik,2014,通讯作者
（7）Lateral shearing interferometer with variable shearing for measurement of a small beam,Opt. Lett.,2014,通讯作者
（8）Simultaneous measurement of small birefringence magnitude and direction in real time,Opt. Lasers Eng.,2014,通讯作者
（9）Simultaneous measurement of retardation and fast axis angle of eighth-wave plate in real time,Opt. Commun.,2012,通讯作者
（10）Real-time Measurement of Full Field Retardation Near Quarter Wavelength,J. Opt. Soc. Korea.,2012,通讯作者
（11）Polarization Fizeau interferometer based on birefringent thin film,Chin. Opt. Lett.,2012,通讯作者
（12）Real-time measurement of retardation of eighth-wave plate independent of fast-axis direction,Chin. Opt. Lett.,2012,通讯作者
（13）Simultaneous measurement of small birefringence magnitude and direction in real time,Opt. Lasers Eng.,2012,通讯作者
（14）基于相位调制和样品摆动的1/4波片相位延迟量测量方法 ,中国激光,2011,第2作者
（15）与快轴方向无关的λ/8波片相位延迟量实时测量方法,中国激光,2011,第2作者
（16）Simultaneous measurement of retardance and fast axis angle of a quarter-wave plate using one photoelastic modulator,Appl. Optics,2011,第1作者
（17）基于二维光栅和检偏器阵列的空间偏振解码技术,仪器仪表学报,2010,第2作者
（18）Method for Measuring Retardation of a Quarter-wave Plate Based on Normalized Secondary Harmonic Component,Optik,2009,第2作者
（19）分束量可调的等光程平行分束技术,光子学报,2009,第2作者
（20）Simultaneous phase-shifting ellipsometry based on grating beam splitter,Optical Engineering,2008,第2作者
（21）Real-time measurement of the fast axis angle of a quarter-wave plate based on simultaneous phase shifting technique,Chinese Optics Letters,2008,第2作者
（22）Method for rapid measuring retardation of a quarter-wave plate based on simultaneous phase shifting technique,Chinese Optics Letters,2008,第2作者
（23）Calibration method of the photoelastic modulator with the peak retardation less than a half-wavelength,Applied Optics,2007,第1作者

发表著作

科研活动

合作情况
项目协作单位

指导学生已指导学生
郭小娴硕士研究生080300-光学工程
韩杰硕士研究生080300-光学工程
李凡月硕士研究生080300-光学工程
朱玲琳硕士研究生080300-光学工程
刘龙海硕士研究生430103-光学工程
刘蕾硕士研究生080300-光学工程
胡仕玉硕士研究生085202-光学工程
顾帅妍硕士研究生085202-光学工程
现指导学生
谷利元博士研究生080300-光学工程
王瑄博士研究生080300-光学工程
薛康福硕士研究生085202-光学工程
魏张帆博士研究生080300-光学工程