基本信息
于海涛男硕导中国科学院上海微系统与信息技术研究所
电子邮件： yht@mail.sim.ac.cn
通信地址： 上海市长宁路865号
邮政编码：

研究领域

招生信息
招生专业080903-微电子学与固体电子学
085208-电子与通信工程

招生方向微电子学与固体电子学


教育背景2004-09--2009-06中国科学院上海微系统与信息技术研究所工学博士
2000-09--2004-06北京大学理学学士

学历
学位

工作经历
工作简历2012-01~现在,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,副研究员
2009-07~2011-12,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,助理研究员
2004-09~2009-06,中国科学院上海微系统与信息技术研究所,工学博士
2000-09~2004-06,北京大学,理学学士

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 一种用于基因检测的质量型传感器及其制备方法和应用, 2015, 第 4 作者, 专利号: 6
（ 2 ） 在氧化石墨烯表面生长贵金属纳米晶的方法, 2012, 第 2 作者, 专利号: 4
（ 3 ） 一种带有频率自扫描功能的锁相环, 2014, 第 4 作者, 专利号: 0
（ 4 ） 平面内谐振式直拉直压微悬臂梁结构及制备方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 0
（ 5 ） 利用单根集成电阻同时实现驱动及自清洗的微机械悬臂梁, 2009, 第 1 作者, 专利号: 7
（ 6 ） 液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 2
（ 7 ） 一种谐振频率测量及跟踪系统和方法, 2016, 第 3 作者, 专利号: 3
（ 8 ） 具有螺旋孔道的羧基功能化介孔纳米颗粒的制造方法, 2012, 第 2 作者, 专利号: 7
（ 9 ） 功能化介孔材料为敏感材料的质量型化学传感器及方法, 2011, 第 2 作者, 专利号: 9
（ 10 ）  利用功能化碳纳米管为敏感材料的微悬臂梁传感器的应用, 2012, 第 3 作者, 专利号: 4
（ 11 ） 在微悬臂梁表面一步制造羧酸功能化单层膜的方法, 2012, 第 4 作者, 专利号: 4
（ 12 ） 利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法, 2010, 第 1 作者, 专利号: 9
（ 13 ） 使微悬臂梁传感器重复检测炭疽芽孢的表面修饰方法, 2011, 第 2 作者, 专利号: 2
（ 14 ） 一种微悬臂谐振结构传感器及其制造方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 8.6
（ 15 ） 一种高灵敏度氨类气体传感器及其制备方法, 2015, 第 3 作者, 专利号: 9.1
（ 16 ） 一种用于VOCs检测的传感系统及检测方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 1.8
（ 17 ） 一种 CO2 传感材料性能的测试方法, 2016, 第 3 作者, 专利号: 7.1


出版信息
发表论文（1）A resonant cantilever based particle sensor with particle-size selection function,JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING,2018,第3作者
（2）Ni-MOF-74 as sensing material for resonant-gravimetric detection of ppb-level CO,SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL,2018,第11作者
（3）Detection of volatile-organic-compounds (VOCs) in solution using cantilever-based gas sensors,TALANTA,2018,第11作者
（4）Metal organic framework of MOF-5 with hierarchical nanopores as micro-gravimetric sensing material for aniline detection,SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL,2018,第2作者
（5）Revealing humidity-enhanced NH3 sensing effect by using resonant microcantilever,SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL,2018,第4作者
（6）Resonant-Gravimetric Identification of Competitive Adsorption of Environmental Molecules,ANALYTICAL CHEMISTRY,2017,第3作者
（7）Metal-Organic Frameworks for Resonant-Gravimetric Detection of Trace-Level Xylene Molecules,ANALYTICAL CHEMISTRY,2016,第4作者
（8）Microgravimetric Analysis Method for Activation-Energy Extraction from Trace-Amount Molecule Adsorption,ANALYTICAL CHEMISTRY,2016,第2作者
（9）GRAPHENE-OXIDE (GO) NANO-SHEETS: LATERAL AND VERTICAL SIZE-EFFECTS ON CHEMICAL-GAS SENSITIVITY ENHANCEMENT,IEEE MEMS 2016,2016,第3作者
（10）u-'Diving suit' for liquid-phase high-Q resonant detection,LAB ON A CHIP,2016,第1作者
（11）Hyper-branch sensing polymer batch self-assembled on resonant micro-cantilevers with a coupling-reaction route,SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL ,2015,第3作者
（12）Synergistic improvement of gas sensing performance by micro-gravimetrically extracted kinetic/thermodynamic parameters,ANALYTICA CHIMICA ACTA,2015,第3作者
（13）Real-time enzyme-digesting identification of double-strand DNA in a resonance-cantilever embedded micro-chamber,LAB ON A CHIP,2014,第2作者
（14）Mesoporous Silica Nanoparticles (MSNs) for Detoxifi cation of Hazardous Organophorous Chemicals,SMALL,2014,第3作者
（15）Advanced Nanoporous Materials for Micro-Gravimetric Sensing to Trace-Level Bio/Chemical Molecules,SENSORS,2014,第3作者
（16）Carboxyl functionalized gold nanoparticles in situ grown on reduced graphene oxide for micro-gravimetric ammonia sensing,SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL,2014,第11作者
（17）Microgravimetric Thermodynamic Modeling for Optimization of Chemical Sensing Nanomaterials,ANALYTICAL CHEMISTRY,2014,第2作者
（18）Precise extension-mode resonant sensor with uniform and repeatable sensitivity for detection of ppm-level ammonia,JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING,2014,第2作者
（19）Porous-layered Stack of Functionalized AuNP–rGo (Gold Nanoparticles–Reduced Graphene Oxide) Nanosheets as a Sensing Material for the Micro-Gravimetric Detection of Chemical Vapor,JOURNAL OF MATERIALS CHEMISTRY A ,2013,第1作者
（20）Micro-/Nanocombined Gas Sensors with Functionalized Mesoporous Thin Film Self-assembled in Batches onto Resonant Cantilevers,IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS,2012,第1作者
（21）Chemo-Mechanical Joint Detection with Both Dynamic and Static Microcantilevers for Interhomologue Molecular Identification,ANALYTICAL CHEMISTRY,2012,第1作者
（22）A chelating-bond breaking and re-linking technique for rapid re-immobilization of immune micro-sensors,BIOMEDICAL MICRODEVICES,2012,第2作者
（23）In situ growth of noble metal nanoparticles on graphene oxide sheets and direct construction of functionalized porous-layered structure on gravimetric microsensors for chemical detection,CHEMICAL COMMUNICATIONS,2012,第2作者
（24）Hyper-branched sensing polymer directly constructed on a resonant micro-cantilever for the detection of trace chemical vapor,JOURNAL OF MATERIALS CHEMISTRY,2012,第3作者
（25）Resonant cantilever sensors operated in a high-Q in-plane mode for real-time bio/chemical detection in liquids,SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL,2011,第4作者
（26）Self-assembly and sensing-group graft of pre-modified CNTs on resonant micro-cantilevers for specific detection of volatile organic compound vapors,JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING,2010,第3作者
（27）Nano-thick resonant cantilevers with a novel specific reaction-induced frequency-increase effect for ultra-sensitive chemical detection,JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING,2010,第11作者
（28）Resonant-cantilever bio/chemical sensors with an integrated heater for both resonance exciting optimization and sensing repeatability enhancement,JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING,2009,第1作者
（29）Bianalyte mass detection with a single resonant microcantilever,APPLIED PHYSICS LETTERS,2009,第1作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 基于功能化介孔材料的谐振式微悬臂梁液体传感器在铅离子检测上的应用研究, 主持,国家级,2012-01--2014-12
（ 2 ） 新型食品安全快速检测传感器与微系统技术研究, 参与,国家级,2011-10--2014-09
（ 3 ） 微纳流控系统跨尺度兼容一体化集成制造基础研究, 参与,国家级,2011-01--2014-12
（ 4 ） 跨尺度纳米批量制造原理与方法, 参与,国家级,2014-01--2017-12
（ 5 ） MEMS单片集成器件规模制造技术基础研究, 参与,国家级,2010-01--2015-08
（ 6 ） 动静态结合的微悬臂梁阵列联合检测机理及传感器系统研究, 主持,国家级,2016-01--2019-12
（ 7 ） 基于微纳谐振敏感效应的界面分子作用热力学/动力学参数提取与材料 特性评估装置, 参与,国家级,2016-01--2020-12
（ 8 ） 功能纳米结构与理化性质关联跨尺度表征测量及应用验证, 参与,国家级,2016-07--2021-06

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生