基本信息
殷伯华男硕导中国科学院电工研究所
电子邮件： yinbh@mail.iee.ac.cn
通信地址： 北京市海淀区中关村北二条6号
邮政编码： 100190

研究领域

招生信息
招生专业080805-电工理论与新技术

招生方向微纳加工与检测技术研究
AFM成像技术研究
电子束技术研究


教育背景2007-04--2011-05中国科学院研究生院工学博士学位
2000-09--2003-07北京工业大学硕士学位
1992-09--1996-07南京航空航天大学学士学位

学历
学位

工作经历
工作简历2007-04~2011-05,中国科学院研究生院,工学博士学位
2003-08~现在,中国科学院电工研究所,高级工程师
2000-09~2003-07,北京工业大学,硕士学位
1996-08~1999-10,中国航空精密机械研究所,助理工程师
1992-09~1996-07,南京航空航天大学,学士学位

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息（1） 辽宁省科学技术进步奖, 二等奖, 省级, 2017
（2） 科学院“现有关键技术人才”奖, 部委级, 2014
（3） 以纳米生物医学为核心的多功能微纳尺度三维操作、表征及加工系统, 三等奖, 省级, 2011
（4） 图形发生器及其在微纳加工中的应用, 三等奖, 省级, 2011

专利成果（ 1 ） 一种微纳米尺度耦合振动高分辨测量方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 7.7
（ 2 ） 一种计量型扫描电子显微镜成像控制系统及扫描成像方法, 2014, 第 1 作者, 专利号: ZL 2012 1 **.9
（ 3 ） 基于DSP-6713的M-SEM下位机软件V1.0, 2014, 第 1 作者, 专利号: 2014SR042839
（ 4 ） 柔性铰链位移台耦合振动主动补偿系统, 2011, 第 1 作者, 专利号: ZL2009 1 **.X
（ 5 ） 扫描探针显微镜进针装置及方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL 2012 1 **.4
（ 6 ） 一种纳米位移台扫描运动控制系统及其实现方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 7.8


出版信息
发表论文（1）基于激光干涉方法的扫描电子显微镜线宽测量研究,Study of the Linewidth Measurement with Scanning Electron Microscope Based on Laser Interference principle,Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,,2019,第1作者
（2）Optimal design of Micro-Nano Positioning Stage with wide range and high speed based on flexure structures,the 2017 International Symposium on Materials，Processing, Mechanical Engineering (MPME 2017),2017,第2作者
（3）工业原子力显微镜快速进针系统的设计,现代科学仪器,2016,第11作者
（4）A traceable metrological method with nanometer scale resolution for micro-structure,Key Engineering Materials,2015,第1作者
（5）Micron and nanometer measuring methods based on metrological scanning electron microscope,Key Engineering Materials,2014,第1作者
（6）Large scanning range and rapid AFM for biological cell topography imaging,Key Engineering Materials,2013,第1作者
（7）高速大扫描范围原子力显微镜系统的设计,光学 精密工程,2011,第1作者
（8）大范围扫描原子力显微镜自动调平控制技术,仪器仪表学报,2011,第2作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 快速大范围柔性铰链位移台耦合振动机理和控制方法研究, 主持,国家级,2014-01--2017-12
（ 2 ） 纳米生物医学共聚焦激发/扫描探针光声成像系统, 参与,部委级,2014-10--2016-10
（ 3 ） 现有关键技术人才”计划项目, 主持,部委级,2015-01--2017-12
（ 4 ） 基于纳米位移平台的 SPM 扫描系统应用开发及光电子器件测量, 主持,国家级,2017-07--2019-06
（ 5 ） 大功率、长寿命、多模式电子枪及阵列研制与增材制造中的应用, 参与,国家级,2018-05--2021-04
（ 6 ） 电子束硅片图形缺陷检测设备研发与产业化, 参与,国家级,2018-01--2020-12

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生