基本信息
薛忠营男硕导中国科学院上海微系统与信息技术研究所
电子邮件： simsnow@mail.sim.ac.cn
通信地址： 长宁路865号
邮政编码：

研究领域

招生信息
招生专业080903-微电子学与固体电子学

招生方向SOI材料及器件


教育背景2008-04--2011-06中科院上海微系统与信息技术研究所博士研究生
1999-09--2002-06山东大学硕士研究生
1995-09--1999-06山东大学本科

学历
学位

工作经历
工作简历2014-01~现在,中科院上海微系统与信息技术研究所,副研究员
2011-07~2013-12,中科院上海微系统与信息技术研究所,助理研究员
2008-04~2011-06,中科院上海微系统与信息技术研究所,博士研究生
2002-07~2008-03,积成电子股份有限公司,工程师
1999-09~2002-06,山东大学,硕士研究生
1995-09~1999-06,山东大学,本科

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 一种SiGe中嵌入超晶格制备应变Si的方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 7.0
（ 2 ） 一种嵌入超晶格制备应变Si的方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 9.6
（ 3 ） 一种嵌入超晶格层组制备应变Si的方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 6.5
（ 4 ） 场效应晶体管结构及其制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 20**?
（ 5 ） 一种绝缘体上石墨烯的制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 20**?


出版信息
发表论文（1）Biaxially strained germanium micro-dot array by hydrogen ion implantation,Surface & Coatings Technology,2018,第11作者
（2）Enhanced cracking in Si/B-doped Si0.70Ge0.30/Si heterostructures via hydrogen trapping effect,Journal of Vacuum Science & Technology B,2018,第2作者
（3）Double quantum criticality in superconducting tin arrays-graphene hybrid. Nature Communications,Nature Communications,2018,第4作者
（4）Germanium-Assisted Direct Growth of Graphene on Arbitrary Dielectric Substrates for Heating Devices,Small,2017,第1作者
（5）The reduction of critical H implantation dose for ion cut by incorporating B-doped SiGe/Si superlattice into Si substrate,applied surface sciences,2016,第1作者
（6）Catalyst-free approach for growth of graphene sheets on high-density silica nanowires by CVD,materials letters,2016,第11作者
（7）High quality extremely thin SOI fabricated by facilitated ion-cut with H-trapping effect,Journal of Vacuum Science & Technology B,2016,第2作者
（8）Influence of hydrogen fluence on surface blistering of H and He co-implanted Ge,uclear Instruments and Methods in Physics Research Section B,2016,第2作者
（9）Ge-on-insulator wafer with ultralow defect density fabricated by direct condensation of SiGe-on-insulator structure,applied surface sciences,2015,第3作者
（10）Deterministic Assembly of Flexible Si/Ge Nanoribbons via Edge-Cutting Transfer and Printing for van der Waals Heterojunctions,small,2015,第3作者
（11）Manipulation of strain state in silicon nanoribbons by top-down approach,applied physics letters,2015,第3作者
（12）Strain analysis of free-standing strained silicon-on-insulator nanomembrane,Chinese Phys B,2015,第3作者
（13）Uniaxial and tensile strained germanium nanomembranes in rolled-up geometry by polarized Raman scattering spectroscopy,AIP Advances,2015,第3作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 原子级平滑表面剥离技术、机理研究及GOI材料制备, 主持,国家级,2018-01--2021-12
（ 2 ） 层转移超薄SOI材料技术开发, 参与,国家级,2016-01--2018-12
（ 3 ） 绝缘体上单晶石墨烯晶圆（sGrOI）制造表征及应用研究, 参与,省级,2016-01--2018-12

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生