基本信息
徐向宇男硕导中国科学院微电子研究所
电子邮件： xuxiangyu@ime.ac.cn
通信地址： 北京海淀区邓庄南路9号
邮政编码：
部门/实验室：光电中心
研究领域

招生信息
招生专业080300-光学工程
070204-等离子体物理
070201-理论物理

招生方向测控与信息处理
脉冲功率技术
等离子体物理


教育背景2001-09--2006-06北京大学博士
1997-09--2001-07山东大学理学学士

学历
学位

工作经历
工作简历2010-06~现在,中国科学院光电研究院,副研究员
2008-04~2010-05,北京金田麦歌科技有限公司,技术总监
2006-07~2007-06,中国科学院光电研究院,助理研究员
2001-09~2006-06,北京大学,博士
1997-09~2001-07,山东大学,理学学士

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 用于高压脉冲电源的过电流抖动检测电路, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN B
（ 2 ） 高频高压快脉冲时序采集装置和方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN A
（ 3 ） 一种脉宽和输出阻抗可调的纳秒脉冲电源, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN A
（ 4 ） 一种高重频双腔准分子激光器放电同步控制系统和方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN A
（ 5 ） 双腔时序采集装置和双腔准分子激光器, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN U


出版信息
发表论文（1）Deposition of SiOx films with capacitive-couple plasma at atmospheric-pressure,Plasma Sources Sci. Technol,2007,第1作者
（2）Photoresist Etching by Atmospheric Pressure Uniform-Glow Plasma,Jpn. J. Appl. Phys.,2007,第2作者
（3）Temperature Compairsion for Non-Equilibrum Atomspheric Pressure Ar and He Plasma Jets,Jpn. J. Appl. Phys,2007,第2作者
（4）Effects on surface properties of natural bamboo fibers treated with atmospheric pressure argon plasma,Surf. and Interf. Analysis,2006,第1作者
（5）Enhanced field emission from ZnO nanorods via thermal annealing in oxygen,Appl. Phys. Lett. ,2006,第2作者
（6）Patterned growth of ZnO nanorod arrays on a large-area stainless steel grid,J. Phys. Chem. B ,2005,第1作者
（7）A new method for bulk-quantity synthesis of patterned well-aligned ZnO nanowire arrays,Mater. Sci. Forum.,2005,第1作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 40W 4kHz ArF曝光光源产品研发/泵浦电源模块开发, 主持,国家级,2013-01--2016-12

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生