基本信息
熊斌男博导中国科学院上海微系统与信息技术研究所
电子邮件： bxiong@mail.sim.ac.cn
通信地址： 长宁路865号
邮政编码： 200050

研究领域

招生信息
招生专业080903-微电子学与固体电子学
085208-电子与通信工程

招生方向MEMS及相关技术


教育背景1998-09--2001-12中科院上海微系统与信息技术研究所博士
1993-09--1997-12中科院上海微系统与信息技术研究所硕士
1980-09--1984-07东南大学（原南京工学院）学士

学历
学位

工作经历
工作简历2002-03~现在,中科院上海微系统与信息技术研究所,研究员
1998-09~2001-12,中科院上海微系统与信息技术研究所,博士
1997-03~1998-03,香港科技大学,访问
1995-11~2002-03,中科院上海微系统与信息技术研究所,副研究员
1993-09~1997-12,中科院上海微系统与信息技术研究所,硕士
1990-11~1995-11,中科院上海微系统与信息技术研究所,助理研究员
1984-08~1990-11,中科院上海微系统与信息技术研究所,研究实习员
1980-09~1984-07,东南大学（原南京工学院）,学士

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息（1） 基于工艺选择性的MEMS三维制造关键技术与设计方法, 二等奖, 国家级, 2012

专利成果（ 1 ） 微机械磁传感器及其应用, 2015, 第 1 作者, 专利号: 6.X
（ 2 ） 一种电磁式振动传感器及其制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 6.2
（ 3 ） 基于局域共振体的声子晶体结构及其制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 9.6
（ 4 ） 微机械硅谐振器的温度补偿结构及制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 4.7
（ 5 ） 一种硅柱通孔互连结构及其制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 2.6
（ 6 ） 扭转式微机械磁场传感器及其制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 8.0
（ 7 ） 三轴微机械磁场传感器, 2016, 第 1 作者, 专利号: 4.5


出版信息
发表论文（1）The Au/Si eutectic bonding compatibility with KOH etching for 3D devices fabrication,J. Micromech. Microeng.,2018,第5作者
（2）Micro-silicon phononic crystal with locally resonant theory,Appl. Phys. Lett.,2017,第4作者
（3）Modelling of resonant MEMS magnetic field sensor with electromagnetic induction sensing,Solid-State Electronics,2017,第4作者
（4）Effects of rapid thermal annealing on LPCVD siliconnitride,Ceramics International,2016,第3作者
（5）Simulation of Plastic Deformation of Sculptured Diaphragm Silicon Microstructure,Microelectronic Engineering,2016,第4作者
（6）Effect of hyperthermal annealing on LPCVD silicon nitride,Materials Science in Semiconductor Processing,2016,第4作者
（7）Experimental investigation of energy localization in line-defect resonator based on silicon locally resonant phononic crystal,APPLIED PHYSICS LETTERS,2016,第4作者
（8）Design, fabrication and characterization of a resonant magnetic fieldsensor based on mechanically coupled dual-microresonator,Sensors and Actuators A,2016,第3作者
（9）Continuous tuning of line defect modes in silicon two-dimensional phononic crystal,J. Phys. D Appl. Phys.,2015,第3作者
（10）Acoustic wave characterization of silicon phononic crystal plate,Applied Physics Letters,2015,第4作者
（11）Phononic crystal strip based anchors for reducing anchor loss of micromechanical resonators,Journal of Applied Physics,2014,第4作者
（12）The plastic and creep characteristics of silicon microstructure at elevated temperature,Microsystem Technology,2014,第3作者
（13）Extending of band gaps in silicon based one-dimensional phononic crystal strips,Applied Physics Letters,2013,第4作者
（14）Resonant Magnetic Field Sensor With Capacitive Driving and Electromagnetic Induction Sensing,IEEE Electron Device Letters ,2013,第3作者
（15）A Wide Measurement Pressure Range CMOS-MEMS Based Integrated Thermopile Vacuum Gauge With an XeF2 dry etching process,Sensors and Actuators A Physical,2013,第4作者
（16）Effect of air damping on quality factor of bulk mode microresonators,Microelectronic Engineering,2013,第3作者
（17）Wafer-Level Vacuum Packaging for Microsystems Using Glass Frit Bonding,IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology,2013,第4作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 静电推挽驱动-电磁感应检测谐振式微型磁传感器, 主持,国家级,2016-01--2019-12

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生