基本信息
解婧女中国科学院微电子研究所
电子邮件： xiejing@ime.ac.cn
通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码：

研究领域

招生信息
招生专业080903-微电子学与固体电子学

招生方向微纳材料与结构，MEMS，生化检测，集成电路装备，二维材料，SPM，Raman


教育背景2006-09--2011-07中国科学院半导体研究所博士学位
2002-09--2006-07清华大学电子工程系学士学位

学历
学位

工作经历
工作简历2014-09~现在,中国科学院大学,岗位教授
2011-07~现在,中国科学院微电子研究所,副研究员
2006-09~2011-07,中国科学院半导体研究所,博士学位
2002-09~2006-07,清华大学电子工程系,学士学位

社会兼职

教授课程微电子工艺与装备技术
半导体工艺与制造技术
集成电路制造工艺与设备


专利与奖励
奖励信息（1） 中国科学院微电子研究所2019年度十佳先进工作者, 一等奖, 研究所（学校）, 2019
（2） 中国科学院教育教学成果奖, 特等奖, 部委级, 2016

专利成果（ 1 ） 利用原子层沉积制备薄膜的方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 7.X
（ 2 ） 一种氮化锌薄膜的制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 2.7
（ 3 ） 一种绝缘体上二维薄膜材料的制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 3.2
（ 4 ） 一种多层石墨烯的减薄方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 4.2
（ 5 ） 一种利用混合溶剂相剥离石墨制备石墨烯的方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 9.2
（ 6 ） 一种晶圆级阳极键合方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 0.X
（ 7 ） 一种原位光学检测装置, 2016, 第 1 作者, 专利号: 5.7
（ 8 ） 一种防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法, 2012, 第 2 作者, 专利号: 0.9
（ 9 ） 石墨烯晶片的制备方法, 2015, 第 3 作者, 专利号: 8.0
（ 10 ） 采用光刻和干法刻蚀制作倾斜侧壁二氧化硅结构的方法, 2012, 第 3 作者, 专利号: 3.5
（ 11 ） 大规模防止MEMS器件结构层材料被电化学腐蚀的方法, 2012, 第 3 作者, 专利号: 9.2
（ 12 ） 一种制备低表面粗糙度氧化锌薄膜的方法, 2016, 第 4 作者, 专利号: 8.2
（ 13 ） 用于N-Zr共掺氧化锌薄膜的制备方法, 2016, 第 4 作者, 专利号: 6.X
（ 14 ） 一种原子层沉积制备施主-受主共掺氧化锌薄膜的方法, 2016, 第 4 作者, 专利号: 6.X
（ 15 ） 原子层沉积的共掺氧化锌薄膜的制备方法, 2016, 第 4 作者, 专利号: 3.8
（ 16 ） 用于Te-N共掺氧化锌薄膜的制备方法, 2016, 第 4 作者, 专利号: 8.5
（ 17 ） 基于氮的双受主共掺氧化锌薄膜的制备方法, 2016, 第 4 作者, 专利号: 2.3
（ 18 ） 用于提高氧化锌薄膜P型稳定性的方法, 2016, 第 5 作者, 专利号: 0.0
（ 19 ） 一种P-N共掺氧化锌薄膜的制备方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: 8.0
（ 20 ） 一种原子层沉积制备双受主共掺氧化锌薄膜的方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: 1.6
（ 21 ） 一种磷掺杂氧化锌薄膜的制备方法, 2017, 第 4 作者, 专利号: 8.0
（ 22 ） 一种MOS器件原子层沉积原位制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 9.5
（ 23 ） 一种原子层沉积系统原位实时检测方法及装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 2.9
（ 24 ） 一种石墨烯表面选区改性加工方法及装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 5.5
（ 25 ） 一种石墨烯薄膜材料的加工方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 6.7
（ 27 ） 一种石墨烯选区刻蚀的方法及装置, 2018, 第 2 作者, 专利号: 2.8
（ 28 ） 一种高精度微流道网络制作方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 8.4
（ 29 ） 一种微流道网络芯片, 2018, 第 1 作者, 专利号: 8.2
（ 30 ） 一种基于金属微观结构的精密模具, 2019, 第 1 作者, 专利号: 4.8
（ 31 ） 一种微观零件批量精密加工仪器, 2019, 第 1 作者, 专利号: 2.9
（ 32 ） 一种微米级金属件三维成型方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 9.5
（ 33 ） 一种纳米线压力传感器制备方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 8.9
（ 34 ） 一种纳米线压力传感器及传感器阵列, 2019, 第 1 作者, 专利号: 9.7
（ 35 ） 一种温压复合传感器, 2019, 第 1 作者, 专利号: 5.3
（ 36 ） 一种温压复合传感器的制作方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 6.6
（ 37 ） 一种微纳金属三维结构的制备方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: 3.5
（ 38 ） 一种微纳金属三维结构的加工仪器, 2019, 第 2 作者, 专利号: 1.3
（ 39 ） 一种离子注入制作SERS基底的方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: 5.9
（ 40 ） 一种SERS基底, 2019, 第 4 作者, 专利号: 7.8
（ 41 ） 一种芯片拉曼信号的检测方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: 9.2
（ 42 ） 一种检测拉曼信号的方法, 2019, 第 4 作者, 专利号: 0.3


出版信息
发表论文（1）Large area graphene produced via assistance of surface modification,Journal of Semiconductors,2013,第11作者
（2）High-precision thickness regulation of graphene layers with low energy helium plasma implantation,Nanotechnology,2012,第2作者
（3）Research on anodic bonding using the hybrid electrode with two-step bonding process,Journal of Semiconductors,2012,第2作者
（4）An effective approach for restraining electrochemical corrosion of polycrystalline silicon caused by an HF-based solution and its application for mass production of MEMS devices,J. Micromech. Microeng.,2012,第2作者
（5）A Simple Method for Effectively Restrain Electrochemical Corrosion of Polycrystalline Silicon by Hf-Based Solutions,IEEE 24th International Conference on MEMS,2011,第1作者
（6）Reliable Low-Cost Fabrication and Characterization Methods for Micromechanical Disk Resonators,TRANSDUCERS 2011,2011,第1作者
（7）Stress and Resistivity Controls on in Situ Boron Doped Lpcvd Polysilicon Films for High-Q Mems Applications,Journal of Semiconductors,2009,第1作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 微纳生化传感材料与器件, 主持,国家级,2017-07--2021-06
（ 2 ） 双增益原子发射光谱分析仪研制, 主持,部委级,2018-01--2019-12
（ 3 ） 二维电子材料及纳米量子器件的研究和原位分析仪器, 参与,国家级,2015-01--2019-12
（ 4 ） 扫描探针显微术关键技术研发团队, 主持,部委级,2017-05--2020-04
（ 5 ） 电化学高强度金属微纳制造工艺研发, 主持,部委级,2019-09--2024-08
（ 6 ） 金属纳米线微网格阵列研发, 主持,国家级,2019-09--2020-12

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生