基本信息
吴衍青男博导中国科学院上海应用物理研究所
电子邮件： wuyanqing@sinap.ac.cn
通信地址： 浦东新区张衡路239号
邮政编码：

研究领域
软X射线干涉光刻技术及应用、X射线成像探测器、同步辐射光学以及超材料应用。


招生信息招博士生、硕士生各一名

招生专业070207-光学

招生方向X射线干涉光刻及应用
同步辐射光学
X射线成像探测器


教育背景1994-09--2000-04中科院上海光机所博士
1988-09--1992-07复旦大学学士

学历
学位

工作经历
工作简历2004-07~现在,中科院上海应物所,组长
2001-11~2004-02,韩国浦项工大,博士后
2001-01~2001-11,复旦大学,博士后
1992-07~2000-12,中科院上海光机所,助理研究员/博士

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 一种闪烁体探测系统, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 授权公布号：CNA


出版信息
发表论文（1）The recent development of soft x-ray interference lithography in SSRF,Int. J. Extrem. Manuf.,2020-02,通讯作者
（2）A variable fixed-focus constant optimization method for a variable-included-angle varied-line-spacing plane-grating monochromator,J. Synchrotron Rad.,2019,通讯作者
（3）Parallel direct writing achromatic talbot lithography: a method for large-area arbitrary sub-micron periodic nano-arrays fabrication,Nanotechnology,2019,通讯作者
（4）The wave optical whole process design of the soft X-ray interference lithography beamline at SSRF,J. Synchrotron Rad.,2018,通讯作者
（5）Fabrication of high aspect ratio nanoscale periodic structures by the soft x-ray interference lithography,Microelectronic Engineering,2017,通讯作者
（6）Influence of symmetry and duty cycles on the pattern generation in achromatic Talbot lithography,J. Vac. Sci. Technol. B,2017,通讯作者
（7）Fabrication of large-area high-aspect-ratio periodic nanostructures on various substrates by soft X-ray interference lithography,Applied Surface Science,2017,通讯作者
（8）Development of broadband X-ray interference lithography large area exposure system,Rev. Sci. Instrum.,2016,通讯作者
（9）Fabrication of high aspect ratio nanoscale periodic structures by the soft X-ray interference lithography,Microelectronic Engineering,2016,通讯作者
（10）Applications of VUV extra-focus mechanism: high-performance dual-mode monochromator from VUV to soft X-ray,J. Synchrotron Rad.,2015,通讯作者
（11）A new extra-focus monochromator designed for high-performance VUV beamlines,Journal of Synchrotron Radiation,2015,通讯作者
（12）Developments at SSRF in soft X-ray interference lithography,NUCLEAR SCIENCE AND TECHNIQUES,2015,通讯作者
（13）Design of an ultrahigh-energy-resolution and wide-energy-range soft X-ray beamline,journal of synchrotron radiation,2014,第3作者
（14）上海光源软 X 射线干涉光刻线站波荡器光源及束线相干性研究,Investigation on the coherence of undulator source and soft X-ray interference lithography beamline in SSRF,核 技 术,2013,通讯作者
（15）Effects of missing low-frequency information on ptychographic and plane-wave coherent diffraction imaging,Applied Optics,2013,第4作者
（16）同步辐射光束线中部分相干光的传播研究,光学学报,2013,通讯作者
（17）The design, fabrication and performance of a large area 10000 line/mm metal transmission diffraction gratings for soft X-ray ,Acta Physica Sinica,2008,第2作者
（18）13.4nm软X射线干涉光刻透射光栅的优化设计,Optimized Design of Transmission Grating Used for 13.4 nm Soft X-Ray Interference Lithography,光学学报,2008,第2作者
（19）基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计,An optimized design of the XIL beam splitter grating combining advanced silicon etching with silicon oxidation technology ,核技术,2008,第2作者
（20）离子振荡对低压脉冲负电性放电条件的影响,物理学报,2006,第1作者
（21）The Control of Laser-Plasma Parametric Instabilities with Ultrabroad Bandwidth Frequency Modulated Laser Pulse,Plasma Physics and Controlled Fusion,2001,第1作者
（22）Radiative Cooling Instability in Large Scale Line-shaped Laser Plasma,Chinese Physics Letter,1997,第1作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 中科院大科学装置维修改造项目-软X射线干涉光刻分支线站的建设, 参与,部委级,2009-05--2011-10
（ 2 ） 基于新型宽带相干光学技术的软X射线干涉光刻, 主持,国家级,2013-01--2016-12
（ 3 ） 中国科学院大科学装置开放研究项目, 参与,研究所（学校）,2011-01--2015-06
（ 4 ） 小像素探测器子课题：高分辨成像探测器, 主持,国家级,2016-07--2020-12
（ 5 ） 大科学中心重点研发项目 - 高效率新原理面探测器研究, 主持,部委级,2015-08--2018-08
（ 6 ） 成像闪烁体表面修饰的物理机制和制备方法研究, 主持,国家级,2018-01--2021-12
（ 7 ） X 射线衍射光谱与成像纳米器件集成制造, 参与,国家级,2017-06--2022-06

参与会议（1）High efficient scintillant imagers covered with 2D photonic crystals2017-08-17
（2）VUV Extra-focus Principle and its Application to High-performance Grating MonochromatorsChaofan Xue, Yanqing Wu,* Ying Zou, Lian Xue, Yong Wang, Renzhong Tai2015-07-06
（3）Current Status of SSRF DreamlineYanqing Wu, yong Wang, Tairenzhong, et al2012-08-10


合作情况
项目协作单位

指导学生已指导学生
郭春磊硕士研究生080300-光学工程
现指导学生
张磊博士研究生070207-光学
石昊硕士研究生085202-光学工程