基本信息
吴晓斌男硕导中国科学院微电子研究所
电子邮件： wuxiaobin@ime.ac.cn
通信地址： 北京市海淀区邓庄南路9号
邮政编码：
部门/实验室：光电中心
研究领域

招生信息
招生专业080300-光学工程

招生方向极紫外光刻；极紫外光源；短波光学及测量


教育背景2001-09--2009-01清华大学博士
1996-09--2000-07浙江大学本科

学历
学位

工作经历
工作简历2009-05~现在,中国科学院光电研究院,副研究员
2009-01~2009-05,北京市科委材料中心,业务主管
2000-07~2001-09,山东省潍坊市人事局,工作

社会兼职2017-11-11-今,国家知识产权局学术委员会, 中国专利审查技术专家
2016-04-01-今,中国计量测试学会真空计量专委会, 委员
2016-04-01-今,全国真空技术标准化技术委员会, 委员


教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 激光器温度稳定控制系统, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL2.1
（ 2 ） 真空密封件分压漏率测量系统及其测量方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: ZL2.4
（ 3 ） 一种极紫外辐照材料测试系统, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: ZL1.3
（ 4 ） 一种反射式光学元件温控系统, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: ZL2.6
（ 5 ） 一种使用电场降低碎屑的方法、装置和EUV光源系统, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: ZL6.X
（ 6 ） 一种真空内局部加热方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: CNB
（ 7 ） 一种用于激光光源的液态金属靶产生装置, 发明, 2015, 第 3 作者, 专利号: ZL6.2
（ 8 ） 一种高频、高速的微米级液滴产生装置, 发明, 2015, 第 3 作者, 专利号: ZL3.6
（ 9 ） 一种使用金属液滴帘降低碎屑的方法和装置, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: ZL3.7
（ 10 ） 一种螺旋气流动态气体锁, 发明, 2015, 第 3 作者, 专利号: ZL3.4
（ 11 ） 一种动态气体锁, 发明, 2015, 第 4 作者, 专利号: ZL2.9
（ 12 ） 一种真空密封性能测量装置及方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 2.4
（ 13 ） 一种用于测试材料辐射致气体渗透的装置和方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 5.7
（ 14 ） 一种真空环境中的矩形密封装置和密封方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 1.7
（ 15 ） 真空环境中的弹性金属矩形密封装置, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 6.6
（ 16 ） 一种电子系统的自散热结构, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 6.3
（ 17 ） 一种极紫外光源性能参数的测量系统, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: CNA
（ 18 ） 一种聚合物辐照损伤测试装置与测试方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: CNA
（ 19 ） 一种可在线测量能量的极紫外辐照损伤测试系统, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 2.5
（ 20 ） 极紫外辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法, 发明, 2015, 第 3 作者, 专利号: CNA
（ 21 ） 一种材料辐射致放气的在线测试装置和测试方法, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: 6.4
（ 22 ） 一种高频、高速、尺寸稳定的液滴阵列产生装置, 发明, 2017, 第 3 作者, 专利号: CNA
（ 23 ） 材料分压放气率测量系统及其测量方法, 发明, 2013, 第 2 作者, 专利号: CNA
（ 24 ） 一种密封式散热装置及其制造方法, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: CNA
（ 25 ） 真空密封结构及其制造方法, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: CNA
（ 26 ） 一种分压漏率测量装置及方法, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: CNA
（ 27 ） 一种真空系统中散热件的密封散热装置, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: CNA
（ 28 ） 一种用于等离子体光源的液态金属靶产生装置, 实用新型, 2013, 第 3 作者, 专利号: ZL8.7
（ 29 ） 一种微米级高速液滴产生装置, 实用新型, 2013, 第 3 作者, 专利号: ZL0.5
（ 30 ） 材料分压放气率测量装置, 实用新型, 2013, 第 2 作者, 专利号: ZL0.5
（ 31 ） 一种碎屑收集装置和包括该装置的EUV光源系统, 实用新型, 2014, 第 3 作者, 专利号: ZL8.X
（ 32 ） 真空密封件分压漏率测量装置, 实用新型, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL3.6
（ 33 ） 一种极紫外辐照损伤测试设备, 实用新型, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL1.1
（ 34 ） 用于极紫外光刻机的动态气体锁, 实用新型, 2014, 第 4 作者, 专利号: ZL7.6
（ 35 ） 一种用于极紫外光刻机的螺旋气流动态气体锁, 实用新型, 2014, 第 3 作者, 专利号: ZL8.2
（ 36 ） 一种材料分压放气测量装置, 实用新型, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL9.6
（ 37 ） 极紫外光刻反射式光学元件温控装置, 实用新型, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL2.3
（ 38 ） 一种碎屑收集装置和包含该收集装置的EUV光源系统, 实用新型, 2014, 第 2 作者, 专利号: ZL6.0
（ 39 ） 一种用于EUV光刻机的真空反射镜片安装和调节装置, 实用新型, 2015, 第 4 作者, 专利号: ZL8.5
（ 40 ） 一种用于极紫外辐照材料测试设备的抽真空系统, 实用新型, 2015, 第 3 作者, 专利号: ZL9.5
（ 41 ） 四维EUV反射镜装调装置, 实用新型, 2015, 第 3 作者, 专利号: ZL1.2
（ 42 ） 一种液滴阵列产生器, 实用新型, 2016, 第 3 作者, 专利号: ZL1.6
（ 43 ） 一种材料分压放气率测试器, 实用新型, 2015, 第 3 作者, 专利号: ZL7.6
（ 44 ） 一种极紫外光源性能参数的测量系统, 实用新型, 2016, 第 2 作者, 专利号: ZL2.3
（ 45 ） 一种聚合物辐照损伤测试装置, 实用新型, 2016, 第 2 作者, 专利号: ZL3.4
（ 46 ） 一种用于极紫外光刻板级电子学系统的散热装置, 实用新型, 2016, 第 3 作者, 专利号: ZL5.3
（ 47 ） 用于极紫外光刻板级电子学系统的真空密封装置, 实用新型, 2016, 第 3 作者, 专利号: ZL9.2
（ 48 ） 气体锁验证仪, 实用新型, 2016, 第 5 作者, 专利号: 4.1
（ 49 ） 一种在线式过程气体采样分析装置, 实用新型, 2016, 第 4 作者, 专利号: ZL1.0
（ 50 ） 一种真空密封件分压漏率测量装置, 实用新型, 2017, 第 3 作者, 专利号: ZL9.3
（ 51 ） 一种电子学系统的真空密封散热装置, 实用新型, 2016, 第 3 作者, 专利号: ZL8.1
（ 52 ） 一种密封容器的真空密封性能测量装置, 实用新型, 2016, 第 1 作者, 专利号: ZL5.3
（ 53 ） 在线测量能量的极紫外辐照损伤测试装置, 实用新型, 2016, 第 2 作者, 专利号: 9.2
（ 54 ） 一种矩形密封装置, 实用新型, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL2.1
（ 55 ） 一种弹性金属矩形密封装置, 实用新型, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL3.5
（ 56 ） 一种材料辐射致气体渗透的测试装置, 实用新型, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL0.6
（ 57 ） 一种真空密封散热结构, 实用新型, 2016, 第 1 作者, 专利号: ZL4.X
（ 58 ） 一种材料辐射致放气的在线测试装置, 实用新型, 2016, 第 1 作者, 专利号: 2.9
（ 59 ） 一种多元合金薄膜的制备装置和制备方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: PCT/CN2017/116599
（ 60 ） 一种极紫外反射镜片的四维装调装置, 发明, 2017, 第 3 作者, 专利号: CNB
（ 61 ） 一种在线式气体分析装置及方法, 发明, 2017, 第 4 作者, 专利号: CNB
（ 62 ） 一种气体放电电极结构, 发明, 2015, 第 5 作者, 专利号: ZL6.X
（ 63 ） 一种动态气体锁的试验装置和试验方法, 发明, 2016, 第 5 作者, 专利号: CNA
（ 64 ） 一种用于极紫外光刻机的动态气体锁, 发明, 2017, 第 5 作者, 专利号: CNA
（ 65 ） 多元合金薄膜的制备装置及其制备方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 4.0
（ 66 ） 一种超细粉末的制备装置和制备方法, 发明, 2018, 第 1 作者, 专利号: 6.9
（ 67 ） 一种准分子激光器的温度控制方法和系统, 发明, 2013, 第 2 作者, 专利号: 3.5
（ 68 ） 材料分压放气测量系统及其测量方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: CNA
（ 69 ） 多元合金薄膜的制备装置, 实用新型, 2017, 第 1 作者, 专利号: 3.3
（ 70 ） 控制准分子气体激光器放电腔内温度的装置, 实用新型, 2013, 第 2 作者, 专利号: ZL9.9
（ 71 ） 一种激光器温控系统, 实用新型, 2013, 第 2 作者, 专利号: ZL6.8
（ 72 ） 一种用于极紫外光刻机的动态气体隔离装置, 实用新型, 2017, 第 5 作者, 专利号: ZL4.X
（ 73 ） 一种超细粉末的制备装置和制备方法, 实用新型, 2018, 第 1 作者, 专利号: 9.9


出版信息
发表论文（1）The implementation of subsonic boundary conditions for the direct simulation Monte Carlo method in dsmcFoam,Computers and Fluids,2017,第2作者
（2）Obtaining and maintaining of clean high vacuum on the material outgassing test system,Key Engineering Materials,2016,第1作者
（3）准分子激光与SiC 陶瓷的相互作用研究,激光与光电子学进展,2016,第2作者
（4）高精度真空材料放气测试研究,真空科学与技术学报,2016,第3作者
（5）基于四极质谱仪O形氟橡胶圈的放气研究,真空与低温,2016,第4作者
（6）导线在真空环境中的放气特性分析,真空与低温,2016,第5作者
（7）Comparative study on the outgassing rate of materials using different methods,MAPAN-Journal of Metrology Society of India,2015,第2作者
（8）极紫外辐照损伤测试系统光学仿真研究,激光与光电子学进展,2015,第2作者
（9）聚合物的放气分率与放气模型研究,真空科学与技术学报,2015,第4作者
（10）Study on vacuum materials outgassing rate using the method of switching between two pumping paths,Journal of metrology society of India,2014,第4作者
（11）Experiment study of vacuum material outgassing rates,Applied mechanics and materials,2013,第2作者
（12）基于分压力测量的真空材料放气率测试方法研究,真空,2013,第3作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） EUV基础共性技术研究, 主持,国家级,2012-01--2017-12
（ 2 ） EUVL动态真空与热环境技术研究, 主持,国家级,2012-01--2017-12
（ 3 ） 高NA投影曝光光学系统及其产业化发展研究, 主持,国家级,2010-07--2016-12
（ 4 ） 照明系统接口及光路设计方案研究, 主持,国家级,2009-06--2016-12
（ 5 ） 193nm光刻镜头静态曝光检测系统方案研究, 主持,国家级,2009-06--2016-12

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生