基本信息
王丽萍女硕导中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
电子邮件： wlp8121@126.com
通信地址： 长春市东南湖大路3888号
邮政编码：

研究领域

招生信息
招生专业080300-光学工程

招生方向光学设计


教育背景2004-09--2009-06中国科学院长春光学精密机械与物理研究所硕博连读 理学博士
2000-09--2004-06长春理工大学工学学士

学历
学位

工作经历
工作简历2009-07~现在,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,博士学位
2004-09~2009-06,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,硕博连读 理学博士
2000-09~2004-06,长春理工大学,工学学士

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 一种基于遗传算法的光刻衰减型掩模的优化方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 0.X
（ 2 ） 极紫外光刻系统中与杂散光有关的镜面加工误差分析方法, 2016, 第 2 作者, 专利号: 9.3
（ 3 ） 一种基于能量守恒定律的光学系统分析设计方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 0.6
（ 4 ） 一种用于极紫外光刻的类临界照明系统, 2016, 第 2 作者, 专利号: 5.5
（ 5 ） 一种基于光学系统失调量解算的光机结构稳定性评估方法, 2016, 第 2 作者, 专利号: 5.9
（ 6 ） 一种曝光系统中曝光剂量的监控方法、曝光方法及其曝光系统, 2017, 第 2 作者, 专利号: 3.4
（ 7 ） 一种折反射光学系统及折反射光学成像方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 0.2


出版信息
发表论文（1）Method for designing error-resistant phase-shifting algorithm,Optics Communications,2019,第6作者
（2）微缩投影系统的垂轴放大率测量,光学精密工程,2016,第2作者
（3）极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化,光学学报,2015,第2作者
（4）A model for multilayers analysis in a coated extreme ultraviolet lithography projection system,Optics Communications,2014,第3作者
（5）极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用,光学学报,2014,第3作者
（6）极紫外光刻离轴照明技术研究,光学学报,2012,第3作者
（7）用于极紫外光刻非球面光学元件检测的补偿器检测系统,中国激光,2012,第1作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 极紫外光刻原理试验装置曝光光学系统研制, 主持,国家级,2009-01--2017-06
（ 2 ） EUVL物镜离轴非球面面形检测装置研发, 主持,国家级,2012-01--2019-12
（ 3 ） 六镜极紫外光刻投影物镜研发与验证, 参与,国家级,2018-01--2020-12
（ 4 ） 中国科学院青年创新促进会, 主持,部委级,2015-01--2018-12

参与会议（1）极紫外光刻技术及挑战极紫外光刻技术研讨会2018-12-14


合作情况
项目协作单位

指导学生