基本信息
王建男硕导中国科学院光电技术研究所
电子邮件： wangjian@ioe.ac.cn
通信地址： 四川省成都市双流光电大道1号
邮政编码：
部门/实验室：超精总体部
研究领域微细加工装备及关键技术研究
在信息化时代，微细加工装备是最核心的制造装备之一，是各种集成电路、芯片及各种微纳结构的基础制造设备。高端微细加工装备被称为人类最精密、最复杂的制造设备，设计、制造难度极大。本研究领域是光电所特色研究领域之一，专注于本领域的关键单元技术、光刻新方法以及光刻系统的设计、集成、调试与检测技术研究和探索，涉及光学、机械、电控及软件多个学科方向，对基础理论及工程实践能力有极高的要求。


招生信息
招生专业080300-光学工程

招生方向微电子装备及关键技术研究


教育背景2003-09--2006-03浙江大学硕士
1999-09--2003-06浙江大学学士学位

学历
学位

工作经历
工作简历2006-04~2015-08,中国科学院光电技术研究所,副研究员

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构, 发明, 2011, 第 1 作者, 专利号: 0.0
（ 2 ） 一种红外成像光学读出系统的照明装置, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: 2.X
（ 4 ） 一种用于光刻设备中的光束稳定装置, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 6.6


出版信息
发表论文
发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 极紫外光刻原理实验装置机械与真空系统研制, 参与,国家级,2009-01--2016-06
（ 2 ） 高均匀复杂照明系统研制, 参与,国家级,2009-07--2016-12
（ 3 ） 新型微纳器件三维形貌检测设备研制, 主持,部委级,2016-01--2018-12

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生