基本信息
唐锋男博导中国科学院上海光学精密机械研究所
电子邮件： tangfeng@siom.ac.cn
通信地址： 嘉定清河路390号
邮政编码： 201800
部门/实验室：信光
研究领域

招生信息
招生专业080300-光学工程

招生方向干涉测量技术与仪器
高端光刻机像质检测技术与装置


教育背景2001-09--2006-01天津大学博士学位
1997-09--2001-06天津大学学士学位

学历
学位

工作经历
工作简历2016-08~现在,中科院上海光学精密机械研究所,研究员
2008-06~现在,中科院上海光机所,副研究员
2006-03~2008-05,中科院上海光机所,博士后
2001-09~2006-01,天津大学,博士学位
1997-09~2001-06,天津大学,学士学位

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 点衍射干涉波像差测量仪及检测方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 8.5
（ 2 ） 一种投影物镜波像差在线检测干涉仪, 2014, 第 2 作者, 专利号: 4.1
（ 3 ） 光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 0.X
（ 4 ） 光栅剪切波像差检测干涉仪及其检测方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: 1.7
（ 5 ） 波像差测量模块的畸变测量装置和畸变校正方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: 2.4
（ 6 ） 光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 7.2
（ 7 ） 波前传感器及波前测量方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 7.1
（ 8 ） 光刻机原位多通道成像质量检测装置及方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 1.7
（ 9 ） 光刻机原位快速高空间分辨率波像差检测装置及方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: PCT/CN2015/088310
（ 10 ） 光学元件旋转定位夹具及旋转定位方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: 7.5
（ 11 ） 平面光学元件面形的检测方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: 7.0
（ 12 ） 用于45度平面镜面形检测的子孔径拼接测量装置与方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: 9.8
（ 13 ） 一种提高平面面形子孔径拼接检测精度的方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 7.2
（ 14 ） 采用多探测器的光场光强分布测量方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 8.9
（ 15 ） 点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 2.1
（ 16 ） 偏振同步相移干涉仪, 2017, 第 1 作者, 专利号: 3.3
（ 17 ） 光栅横向剪切干涉大数值孔径波前重建方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 1.7
（ 18 ） 精密转台轴向与径向跳动测量装置和测量方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 0.1
（ 19 ） 锥镜及柱面镜面形测量装置和测量方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 1.8
（ 20 ） 平面面形子孔径拼接干涉测量装置和测量方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 7.5
（ 21 ） 基于改进型哈特曼掩模的波前传感器及检测方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: 5
（ 22 ） Device for measuring point diffraction interferometric wavefront aberration and method for detecting wave aberration, 2015, 第 1 作者, 专利号: US14/986593
（ 23 ） 基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: 0.8
（ 24 ） 透射波前检测干涉仪, 2018, 第 1 作者, 专利号: 9.3
（ 25 ） 一种降低激光相干性的装置及方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: 3.2
（ 26 ） 光栅剪切干涉光学成像系统波像差检测方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: 2.1
（ 27 ） 基于光栅剪切干涉的光学成像系统的波像差检测方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: 3.6
（ 28 ） 横向剪切干涉波前传感器的剪切量标定装置及方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: 4.6


出版信息
发表论文（1）Method for designing Phase Retrieval Algorithms for Ronchi Phase-Shifting Lateral Shearing Interferometry,Applied Optics,2019,第3作者
（2）Measuring Cone Angle of Axicon Using Scanning Fizeau Interferometer,Optical Engineering,2019,第2作者
（3）成像系统倍率高精度测量技术研究,光学学报,2018,第2作者
（4）Compact lateral shearing interferometer based on circular modified Hartmann mask,Proc. SPIE,2018,第2作者
（5）平面子孔径拼接干涉测量精度分析,中国激光,2018,第2作者
（6）A method for improving measurement efficiency of lateral shearing interferometry,Opt. Eng,2017,第2作者
（7）子孔径拼接干涉的快速调整及测量,光学精密工程,2017,第2作者
（8）基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术,光学学报,2016,第2作者
（9）高精度平面子孔径拼接算法研究,中国激光,2016,第2作者
（10）Piston error calibration of zonal reconstruction for a segmented wavefront in lateral shearing interferometry,Appl. Opt.,2015,第2作者
（11）Wavefront reconstruction for lateral shearing interferometry based on difference polynomial fitting,Journal of Optics,2015,第2作者
（12）Analysis of lateral shearing interferometry without self-imaging limitations,Applied Optics,2015,第2作者
（13）Ronchi相移剪切干涉仪及其相位提取误差分析,光学学报,2015,第2作者
（14）Ronchi剪切干涉光刻投影物镜波像差检测技术研究,中国激光,2015,第2作者
（15）光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析,中国激光,2014,第2作者
（16）High spatial resolution zonal wavefront reconstruction with improved initial value determination scheme for lateral shearing interferometry,Applied Optics,2013,第2作者
（17）二维快速傅里叶变换干涉图相位提取误差分析,中国激光,2013,第2作者
（18）Use of numerical orthogonal transformation for the Zernike analysis of lateral shearing interferograms,Optics Express,2012,第2作者
（19）Modal wavefront reconstruction based on Zernike polynomials for lateral shearing interferometry: comparisons of existing algorithms,Appl Opt,2012,第2作者
（20）Generalized zonal wavefront reconstruction for high spatial resolution in lateral shearing interferometry,Journal of the Optical Society of America A,2012,第2作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 极紫外光刻投影物镜波像差检测技术研究, 参与,国家级,2009-01--2011-12
（ 2 ） 非常规光学零部件检测装置与镀膜工艺研发, 参与,国家级,2011-01--2013-10
（ 3 ） EUV光刻投影物镜波像差检测装置研发, 参与,国家级,2012-01--2016-12
（ 4 ） 高精度成像系统综合像质检测方法与实验研究, 主持,研究所（学校）,2016-06--2018-06
（ 5 ） 青年创新促进会, 主持,部委级,2014-01--2017-12
（ 6 ） 浸没光刻机多通道像质检测技术研究, 参与,国家级,2017-01--2020-12
（ 7 ） 激光干涉系统研制项目, 主持,院级,2019-01--2019-10

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生