基本信息
邵秀梅女硕导中国科学院上海技术物理研究所
电子邮件： shaoxm@mail.sitp.ac.cn
通信地址： 上海市虹口区玉田路500号
邮政编码： 200083

研究领域

招生信息
招生专业080903-微电子学与固体电子学

招生方向光电探测器
短波红外焦平面
微型近红外光谱仪


教育背景2006-04--2009-01中科院上海技术物理研究所 博士
2000-09--2016-06华中科技大学硕士
1996-09--2016-06山东大学学士

学历
学位

工作经历
工作简历2006-04~2009-01,中科院上海技术物理研究所 ,博士
2003-07~现在,中科院上海技术物理研究所,研究员
2000-09~2016-06,华中科技大学,硕士
1996-09~2016-06,山东大学,学士

社会兼职2017-06-17-2022-06-17,中国光学学会, 理事
2015-03-15-2019-12-31,中国光学学会红外与光电器件专业委员会, 委员、秘书长


教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 一种应用于线列红外焦平面探测器的高稳定性倒焊基板, 2011, 第 2 作者, 专利号: 2.X
（ 2 ） 一种非制冷热释电线列焦平面及其制造方法, 2014, 第 2 作者, 专利号: 2.X
（ 3 ） 一种短波红外多通道集成光谱组件, 2018, 第 1 作者, 专利号: 5.2
（ 4 ） 一种单片集成在高折射率衬底的亚波长金属光栅偏振片, 2017, 第 3 作者, 专利号: 4.1
（ 5 ） 一种复合钝化膜结构的延伸波长铟镓砷探测器及制备方法, 2016, 第 2 作者, 专利号: 9.1
（ 6 ） 一种改善表面钝化的平面型铟镓砷光敏芯片及制备方法, 2016, 第 5 作者, 专利号: 8.7
（ 7 ） 一种低损伤的铟镓砷探测器p+n结制备方法, 2017, 第 5 作者, 专利号: 3.1
（ 8 ） 一种铟镓砷短波红外探测器, 2017, 第 4 作者, 专利号: 6.7
（ 9 ） 一种偏置控制双波段InAlAs-InGaAs二极探测器及焦平面阵列, 2017, 第 3 作者, 专利号: 1.6
（ 10 ） 一种高增益紫外至近红外InGaAs探测器芯片, 2017, 第 2 作者, 专利号: 1.3
（ 11 ） 一种FTIR测量光电探测器响应的宽谱校正方法, 2018, 第 2 作者, 专利号: 5.6
（ 12 ） 一种大规模小像元铟镓砷焦平面探测器制备方法, 2018, 第 3 作者, 专利号: 3.9
（ 13 ） 一种正照射型的可见及短波红外宽光谱InGaAs探测器, 2018, 第 2 作者, 专利号: 7.2
（ 14 ） 一种背照射型的可见及短波红外宽光谱InGaAs探测器, 2018, 第 2 作者, 专利号: 5.0
（ 15 ） 一种分子束外延不同类型束源炉参数换算的方法, 2018, 第 3 作者, 专利号: 4.7
（ 16 ） 一种高密度面阵性能验证的测试结构, 2018, 第 3 作者, 专利号: 4.7
（ 17 ） 一种用于小间距扩散成结表征的测试结构和测试方法, 2018, 第 3 作者, 专利号: 1
（ 18 ） 一种用于延伸波长InGaAs焦平面探测器的耦合方法, 2019, 第 3 作者, 专利号: 4.7
（ 19 ） 一种InGaAs雪崩焦平面探测器的串扰抑制结构, 2019, 第 3 作者, 专利号: 1.3
（ 20 ） 一种宽谱InGaAs雪崩焦平面探测器及其制造方法, 2019, 第 3 作者, 专利号: 7.7
（ 21 ） 一种低应力钝化的台面型延伸波长铟镓砷探测器制备方法, 2019, 第 2 作者, 专利号: 9.5
（ 22 ） 原子尺度多层复合膜钝化的延伸波长铟镓砷探测器及方法, 2019, 第 1 作者, 专利号: 9.6


出版信息
发表论文（1）Integrating subwavelength polarizers onto InP-InxGa1? xAs sensors for polarimetric detection at short infrared wavelength,Photonics and Nanostructures - Fundamentals and Applications,2019,第6作者
（2）Research on polarization performance of InGaAs focal plane array integrated with superpixel-structured subwavelength grating,Optics Express,2019,第4作者
（3）Correction of FTIR acquired photodetector response spectra from midinfrared to visible bands using onsite measured instrument function,Infrared Physics & Technology,2018,第2作者
（4）Short-wave infrared InGaAs photodetectors and focal plane arrays,Chinese Physics B,2018,第3作者
（5）IGA-rule 17 for performance estimation of wavelength-extended InGaAs photodetectors: validity and limitations,Applied Optics,2018,第6作者
（6）Electron-initiated low noise 1064 nm InGaAsP/InAlAs avalanche photodetectors,Optics Express,2018,第8作者
（7）Measuring the Minority-Carrier Diffusion Length of n-Type In0.53Ga0.47As Epilayers Using Surface Photovoltage,Journal of Electronic Materials,2017,第5作者
（8）Noise characteristics analysis of short wave infrared InGaAs focal plane arrays,Infrared Physics & Technology,2017,第5作者
（9）一种新型单片集成光谱传感器的波长定标方法（英文）,红外与毫米波,2017,第11作者
（10）Design of fiber-optic collector for spectrometer based on curved mirror,Journal of Measurement Science and Instrumentation,2017,第3作者
（11）n-on-p结构深台面延伸波长InGaAs探测器的ICPCVD钝化工艺,红外与毫米波学报,2016,第2作者
（12）高性能短波红外InGaAs焦平面探测器研究进展,红外技术,2016,第1作者
（13）可见增强的32 × 32 元平面型InGaAs /InP面阵探测器,红外与毫米波学报,2015,第2作者
（14）Role of dielectric film in metal grating for improved polarized transmittance in 0.9–1.7μm range,Japanese Journal of Applied Physics,2015,第3作者
（15）The simulation of localized surface plasmon and surface plasmon polariton in wire grid polarizer integrated on InP substrate for InGaAs sensor,AIP Advances,2015,第3作者
（16）Subwavelength Gold Grating as Polarizers Integrated with InP-Based InGaAs Sensors,ACS Applied Materials & Interfaces,2015,第3作者
（17）Low leakage of In0.83Ga0.17As photodiode with Al2O3/SiNx stacks,Infrared Physics & Technology,2015,第3作者
（18）Interface property of silicon nitride films grown by inductively coupled plasma chemical vapor deposition and plasma enhanced chemical vapor deposition on In0.82Al0.18As,Infrared Physics & Technology,2015,第3作者
（19）不同扩散掩膜方式对InGaAs平面探测器性能影响研究,红外与毫米波学报,2014,第4作者
（20）Inductively coupled plasma chemical vapor deposition silicon nitride for passivation of In0.83Ga0.17As photodiodes,Infrared Physics & Technology,2014,第2作者
（21）Design and thermal analysis of electrically calibrated pyroelectric detector,Physics and Technology,2012,第1作者
（22）The study of carbon nanotubes as coating films for electrically calibrated detectors,Measurement Science and Technology,2012,第1作者
（23）基于弛豫铁电单晶的红外热释电探测器研究,光电子.激光,2012,第2作者
（24）基于弛豫铁电单晶的热释电焦平面研究,光电工程,2011,第1作者
（25） 近红外256×1元InGaAs焦平面探测器无效像元研究,红外与毫米波学报,2011,第2作者
（26）平面型24元InGaAs短波红外探测器,红外技术,2011,第1作者
（27）高精度紫外探测器定标测试方法,航天器环境工程,2010,第1作者
（28）一种紫外焦平面探测器电流响应率测试方法,光学学报,2009,第1作者
（29）GaN 基512×1元紫外长线列焦平面探测器组件,光学学报,2009,第3作者
（30）GaN基紫外探测器的电子辐照效应,红外与激光工程,2008,第2作者
（31）Electrically calibrated pyroelectric detector for high-accuracy calibration of UV radiation,Pro. Of SPIE,2007,第1作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 基于传感器的紫外辐射定标及器件光电等效机理研究, 主持,国家级,2008-01--2010-12
（ 2 ） 新型热释电材料及其光传感器研究, 参与,国家级,2009-01--2012-12
（ 3 ） 基于航天应用的材料验证与器件研究, 参与,国家级,2012-01--2016-12
（ 4 ） 基于阻挡层结构外延材料的InGaAs探测器的可见-短波红外光谱拓展方法研究, 主持,国家级,2014-01--2017-12
（ 5 ） 快速微型近红外光谱仪的国产化技术研究及其应用, 主持,省级,2014-09--2016-09
（ 6 ） XXX（MM项目-省略）, 主持,部委级,2015-05--2017-05
（ 7 ） XXX（MM项目-省略）, 主持,国家级,2016-11--2020-12
（ 8 ） XXX（MM项目-省略）, 主持,国家级,2017-03--2017-12

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生