彭春荣 研究员 中国科学院电子学研究所


男，博士，研究员
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通信地址：北京市海淀区中关村北一条9号科电大厦
邮政编码：100190






研究领域





主要研究方向：
MEMS传感器与微系统；
新型电场传感器技术及应用；
传感器与物联网技术；
智能感知技术。









教育背景2004-03--2007-03中国科学院大学博士研究生/工学博士
2001-09--2004-03北京航空航天大学硕士研究生/工学硕士
1997-09--2001-07北京信息科技大学本科生/工学学士

学历
研究生

学位博士

职称

正高级



工作经历
社会兼职2015-12-20-今,中国电子学会青年科学家俱乐部, 理事
2015-05-06-2020-04-07,全国微机电技术标准化技术委员会, 委员
2013-12-30-今,中国电子学会, 高级会员
-今,


专利与奖励



专利成果（ 1 ） 一种微型三维电场传感器, 发明, 2011, 第 4 作者, 专利号: ZL2.6
（ 2 ） 微型电场传感器的封装结构与封装方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL 8.8
（ 3 ） 异型微型电场传感器, 发明, 2013, 第 3 作者, 专利号: ZL3.5
（ 4 ） 阵列式微型电场传感器, 发明, 2008, 第 4 作者, 专利号: ZL0.5
（ 5 ） 一种三维空中电场传感器, 发明, 2013, 第 4 作者, 专利号: ZL0.3
（ 6 ） 谐振式微型电场传感器, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL9.2
（ 7 ） 静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器, 发明, 2008, 第 2 作者, 专利号: ZL0.4
（ 8 ） 旋转谐振式三维电场传感器, 发明, 2015, 第 4 作者, 专利号: ZL9.3
（ 9 ） 伸缩谐振式三维电场传感器, 发明, 2015, 第 4 作者, 专利号: ZL 8.0
（ 10 ） 一种无源型电流电压集成传感器, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: 1.4
（ 11 ） 一种扭转式电场传感器, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: 0.6
（ 12 ） 一种静电场传感器的自动化标定装置及标定方法, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: 2.2
（ 13 ） Rotary Resonant Three-Dimensional Electric Field Sensor, 发明, 2016, 第 4 作者, 专利号: 9,513,323
（ 14 ） 一种电场传感器温度漂移及时间漂移实时差分补偿方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL8.1
（ 15 ） 基于共面传感单元的三维电场测量方法, 发明, 2017, 第 3 作者, 专利号: ZL5.5
（ 16 ） 基于高阻材料的电场传感器封装元件, 发明, 2017, 第 4 作者, 专利号: ZL8.9
（ 17 ） 一种扭摆式微型电场传感器, 发明, 2017, 第 4 作者, 专利号: ZL20**
（ 18 ） 电场传感器动态测试标定装置, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 0.1
（ 19 ） 一种低轴间耦合的三维电场传感器, 发明, 2017, 第 3 作者, 专利号: 20**
（ 20 ） 基于多通道开关的电场传感器系统, 发明, 2018, 第 2 作者, 专利号: 0.3
（ 21 ） 电场传感器标定系统, 发明, 2018, 第 2 作者, 专利号: 20**

人才奖励


（1）中国科学院青年创新促进会会员，2014
（2）第三届中国电子学会优秀科技工作者，2015
（3）中国科学院卢嘉锡青年人才奖，2015
（4）中国科学院电子学研究所“优秀青年人才计划入选者（2013）”和“菁英人才计划入选者（2017）”






成果获奖（1） 北京市科学技术奖一等奖，2015
（2） 教育部科学技术进步一等奖, 2012
（3） 科技成果转化奖一等奖, 中国科学院北京分院和中关村管委会联合颁发, 2015
（4） 中国（国际）传感器创新大赛特等奖，2014
（5） 第十六届中国国际工业博览会银奖,2014
（6） 中国科学院院长优秀奖,2006


出版信息

在J. Micromech. Microeng.等国内外重要学术刊物上发表论文70余篇，其中SCI/EI收录48篇。申请发明专利26项，2项PCT专利，其中16项发明专利授权（含美国专利授权1项）。作为主要撰稿人，制定了我国首个MEMS电场传感器国家标准和国家军用标准各1项，制定企业军用标准4项。



发表论文（1）A High Sensitivity Electric Field Microsensor Based on Torsional Resonance,Sensors,2018,第2作者
（2）一种扭转谐振式MEMS电场传感器,传感器与微系统,2018,第2作者
（3）Design, Fabrication and Characterization of a MEMS-Based Three-Dimensional Electric Field Sensor with Low Cross-Axis Coupling Interference,Sensors,2018,第2作者
（4）低轴间耦合的MEMS三维电场传感器,电子与信息学报,2018,第2作者
（5）An electric field microsensor with metal-silicon structure,IEEE, International Conference on Nano/micro Engineered and Molecular Systems,2017,第2作者
（6）A novel electric field microsensor with low cross-axis coupling interference,IEEE SENSORS 2017,2017,第2作者
（7）Design, fabrication and characterization of a single-chip three-dimensional electric field microsensor,IEEE, International Conference on Nano/micro Engineered and Molecular Systems,2017,第2作者
（8）Single-chip 3D electric field microsensor,Frontiers of Mechanical Engineering,2017,第3作者
（9）A novel MEMS-based integrated current and voltage sensor,IEEE SENSORS 2017,2017,第3作者
（10）一种基于三维感应线圈的新型MEMS电流传感器,传感器与微系统,2017,第2作者
（11）基于遗传算法的三维电场传感器解耦标定方法研究,电子与信息学报,2017,第2作者
（12）直流离子流场发生装置优化设计,电子科技大学学报,2017,第3作者
（13）MEMS结构的带电作业电场测量预警系统,传感器与微系统,2017,第3作者
（14）基于MEMS技术的非接触式人体静电测量装置,电子与信息学报,2017,第2作者
（15）A Decoupling Calibration Method Based on Genetic Algorithm for Three Dimensional Electric Field Sensor,IEEE Sensors 2016,2016,第2作者
（16）一种基于MEMS芯片的新型地面大气电场传感器,电子与信息学报,2016,第4作者
（17）A Novel MEMS Chip-based Atmospheric Electric field Sensor for Lightning Hazard Warning Applications,IEEE SENSORS 2015,2015,第4作者
（18）微型折叠式三维电场传感器,传感器与微系统,2015,第3作者
（19）谐振式微型电场传感器芯片级真空封装及测试,电子与信息学报,2015,第2作者
（20）Design of a novel micromachined non-contact resonant voltage sensor for power distribution systems,IEEE Sensors Conference,2014,第1作者
（21）High performance electric field micro sensor with combined differential structure,Journal of Electronics (China),2014,第2作者
（22）基于共面去耦结构的空间三维电场测量方法[J],电子与信息学报,2014,第2作者
（23）Three Dimensional Electric Field Measurement Method Based on Coplanar Decoupling Structure,IEEE Sensors Conference,2014,第3作者
（24）基于LabVIEW和MEMS敏感结构的工频电场无线检测系统,仪表技术与传感器,2014,第2作者
（25）High performance electric field micro sensor with combined differential structure[J],Journal of Electronics (China),2014,第2作者
（26）High-stability electrostatic field micro sensor for sounding thunderstorm applications[J],Instrumentation,2014,第2作者
（27）Design, fabrication and application of an SOI-based resonant electric field microsensor with coplanar comb-shaped electrodes,J. Micromech. Microeng.,2013,第2作者
（28）基于直接数字频率合成器及正交锁相技术的交直流微型电场传感器电路,电子与信息学报,2013,第2作者
（29）A new fabrication process for the soi-based miniature electric field sensor,Journal of Semiconductors,2013,第3作者
（30）Humidity-Induced Charge Leakage and Field Attenuation in Electric Field Microsensors,Sensors ,2012,第4作者
（31）Measuring Atmospheric Electric Field Using Novel Micromachined Sensor, IEEE NEMS 2011,2011,第1作者
（32）Detecting internal defect of non-ceramic insulators using a novel micromachined electric field sensor,The 24th IEEE Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2011),2011,第1作者
（33）A high sensitivity SOI electric-field sensor with novel comb-shaped microelectrodes,16th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators Microsystems(Tranducers 2011),2011,第2作者
（34）SOI微型电场传感器的设计与测试,电子与信息学报,2011,第2作者
（35）Design of a SOI MEMS Resonant Electric Field Sensor for Power Engineering Applications,IEEE Sensors Conference,2010,第1作者
（36）Design of A Novel Closed-loop SOI MEMS Resonant Electrostatic Field Sensor,Procedia Engineering 5,2010,第1作者
（37） Design of a novel MEMS electric field sensor for detecting internal defect of non-ceramic insulators,2nd International Conference (12th Annual Conference)of the Chinese Society of Micro-Nano Technology,2010,第1作者
（38）新型推挽激励的谐振式微机械静电场传感器,纳米技术与精密工程,2010,第1作者
（39）热驱动微型电场传感器干燥技术,传感技术学报,2010,第4作者
（40）A novel micro-electrostatic field sensor based on parallel-plate resonator,4th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems,2009,第1作者
（41）一种闭环自激式驱动的硅微机械电场传感器,电子与信息学报,2009,第2作者
（42）非接触式表面电势测量的MEMS微型静电压仪,仪表技术与传感器,2009,第1作者
（43）基于MEMS技术微型静电场传感器系统设计与研制,仪表技术与传感器,2009,第2作者
（44）微型电场传感器的结构释放过程中粘连现象的控制方法,仪表技术与传感器,2009,第3作者
（45）Design of a thermally driven resonant miniature electric field sensor with feedback control,The 3rd IEEE International Conference on Nao/Micro Engineered and Molecular Systems,2008,第2作者
（46）Design and Testing of a Micromechanical Resonant Electrostatic Field Sensor,J. Micromech. Microeng.,2006,第1作者
（47）Design of a Resonant Miniature Electrostatic Field Sensor with Feedback Driving and Detection,IEEE -NEMS Conference,2006,第1作者
（48）A Novel High Performance Micromechanical Resonant Electrostatic Field Sensor Used In Atmospheric Electric Field Detection,Proceedings IEEE The Nineteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems,2006,第1作者
（49）Thermally driven micro electrostatic fieldmeter,Sensors and Actuators A ,2006,第2作者
（50）A Micromachined Electrostatic Field Sensor with Vertical Thermal Actuator,IEEE Sensors Conference,2006,第2作者
（51）Thermally Driven Miniature Electric Field Sensor,Proceedings of the 1st IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems,2006,第2作者
（52）一种基于微加工技术的微型电场传感器的设计与制造,电子器件,2006,第2作者
（53）两种热驱动结构在微型电场传感器中的应用,半导体学报,2006,第3作者
（54）A resonant miniature electric field sensor using bulk-micromachining process,Progress in Natural Science,2005,第4作者
（55）静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器,《中国机械工程》增刊,2005,第1作者
（56）A Novel Miniature Interlacing Vibratin Electric Field Sensor,IEEE Sensors Conference,2005,第3作者
（57）一种热驱动微型电场传感器设计与仿真,《中国机械工程》增刊,2005,第4作者
（58）热驱动微型电场传感器,《中国机械工程》增刊,2005,第2作者

发表著作

科研活动



作为负责人，承担了国家自然科学基金等20余项国家级、省部级项目，担任了国家重大项目首席专家、863重大项目课题主持人、国家重大科研仪器设备研制专项项目组副组长等，圆满完成了相关的研究任务。目前作为项目负责人承担了国家重点研发计划重大仪器专项。
在国内最早研制出基于MEMS技术的高性能静电激励谐振式微型电场传感器，其中MEMS领域的顶级国际刊物“Journal of Microelectromechanical system”评价研制的微型电场传感器分辨力等关键性能指标为当时国际最好水平。成功研制出适应高空探测环境和地面长期监测、面向多个领域应用的MEMS电场传感器系列创新产品。研究成果已应用于我国卫星发射基地（太原、西昌、酒泉和文昌）大气电场探测系统、国家电网雷电预警系统、大型石化炼厂雷电监测与预警系统、无人机及运-12飞机人工影响天气作业等多个领域一百余家单位，发挥了重要作用。产品出口美国、韩国等国家。
荣获北京市科学技术奖一等奖，教育部科学技术进步奖一等奖，中国（国际）传感器创新大赛特等奖。科研成果成功实现转化，荣获中国科学院北京分院科技成果转化奖一等奖。




科研项目（ 1 ） 分布式三维大气电场探测系统, 参与,国家级,2014-01--2018-12
（ 2 ） 微纳系统三维异质集成化技术, 主持,国家级,2015-03--2018-03
（ 3 ） 基于微电场传感器的非接触式电压测量技术研究及装置开发, 主持,院级,2014-11--2015-12
（ 4 ） 微机电系统（MEMS）技术 MEMS电场传感器, 主持,国家级,2015-01--2016-12
（ 5 ） 空中电场集成探测传感器技术, 参与,国家级,2012-01--2016-12
（ 6 ） MEME电场传感器通用规范, 主持,国家级,2014-03--2015-12
（ 7 ） 电场传感器在防雷系统上的应用, 主持,省级,2016-03--2018-12
（ 8 ） 油品罐区小区域雷电网络预警技术研究, 主持,院级,2017-04--2018-12
（ 9 ） 探空大气电场传感器, 主持,院级,2018-01--2018-12
（ 10 ） 静电测试仪研制, 主持,院级,2017-12--2018-12
（ 11 ） MEMS电场传感器产业化, 主持,院级,2016-02--2020-02

参与会议（1）A Novel MEMS-Based Integrated Current and Voltage Sensor，A Novel Electric Field Microsensor with Low Cross-Axis Coupling Interference2017-10-29
（2）先进MEMS电场传感器技术及应用2017传感器产业高峰论坛暨中国电子元器件行业协会敏感元件与传感器分会年会2017-09-06
（3）MEMS电场传感器关键技术及其应用第九届中国半导体行业协会半导体分立器件分会年会暨2015’ 全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会, 第八届中国微纳电子技术交流与学术研讨会夏善红，彭春荣2015-07-27
（4）Design of a Novel Micromachined Non-Contact Resonant Voltage Sensor for Power Distribution Systems2014-11-02
（5）A high sensitivity SOI electric-field sensor with novel comb-shaped microelectrodes2011-06-05
（6）Measuring Atmospheric Electric Field Using Novel Micromachined Sensor2011-02-20
（7）Design of A Novel Closed-loop SOI MEMS Resonant Electrostatic Field Sensor2010-09-05
（8）Design and Fabrication of a Novel Closed-loop SOI MEMS Resonant Electrostatic Field Sensor2010-07-06


合作情况
项目协作单位

招生信息
招生专业080903-微电子学与固体电子学

招生方向MEMS传感器与微系统技术
新型电学量传感器技术与应用
智能感知技术