基本信息
欧毅 男 硕导 微电子研究所
电子邮件：ouyi@ime.ac.cn
通信地址：北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码：100029
部门/实验室：封装中心
研究领域

招生信息
招生专业080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程

招生方向 MEMS
硅器件及集成技术


教育背景 2010-02--2011-02 英国南安普顿大学 访问
1998-09--2003-04 北京理工大学 博士
1993-09--1997-07 北京理工大学 本科

学历 北京理工大学 -- 研究生

学位 北京理工大学 -- 博士


工作经历
工作简历 2003-04--今 中科院微电子研究所 副研究员

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果 （1） 一种微电力机械系统振动射流执行器的制备方法，发明，2009，第1作者，专利号：ZL1.3
（2） 一种硅基有机发光微显示金属阳极及阴极隔离柱的制备方法，发明，2007，第1作者，专利号：ZL8.9
（3） 硅基液晶铝反射电极的钝化保护方法，发明，2007，第1作者，专利号：ZL5.8
（4） 基于新牺牲层工艺的热剪切应力传感器器件的制作方法，发明，2008，第3作者，专利号：ZL9.1
（5） 一种双线圈推拉式射频微机电系统开关，实用新型，2008，第4作者，专利号：ZL3.0
（6） 改善微机械非制冷红外成像芯片中反光板平整度的方法，发明，2009，第1作者，专利号：7.4
（7） 微电力机械系统光学解复用器芯片的制备方法，发明，2008，第1作者，专利号：ZL5.4
（8） 一种二氧化碳超临界干燥装置，实用新型，2008，第4作者，专利号：ZL5.X
（9） 微电力机械系统可调谐光学滤波器芯片制备方法，发明，2008，第1作者，专利号：ZL4.3
（10） 非接触式微电子机械系统红外温度报警器的制备方法，发明，2008，第1作者，专利号：8.8
（11） 一种非制冷红外焦平面阵列探测器及其制作方法，发明，2009，第3作者，专利号：ZL4.5
（12） 采用基于硅衬底突点制作及释放牺牲层的方法，发明，2008，第3作者，专利号：ZL9.7


出版信息
发表论文
发表著作

科研活动
科研项目 （1） 微型飞行器智能蒙皮基础研究，主持，院级级，2007-01--2008-12
（2） MEMS柔性智能蒙皮，主持，研究所（学校）级，2006-10--2008-10
（3） MEMS多传感器及其阵列研究，参与，国家级，2005-07--2005-12
（4） 硅上有机发光显示器件及其物理研究，参与，国家级，2003-08--2008-12
（5） 反射式硅上液晶微显示材料及器件的研究，参与，国家级，2003-08--2008-12

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生已指导学生
何伟硕士研究生080903-微电子学与固体电子学
现指导学生
闫建华硕士研究生430109-电子与通信工程