基本信息
毛海央女硕导中国科学院微电子研究所
电子邮件： maohaiyang@ime.ac.cn
通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码：
部门/实验室：感知中心
研究领域
微机电系统（MEMS）技术；纳机电系统（NEMS）技术；微纳加工技术；红外传感器；表面增强拉曼散射（SERS）技术；微流控；太阳能电池；光吸收纳米结构


招生信息
硕士研究生2名，研究方向为光学纳米材料与结构


招生专业080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
085208-电子与通信工程

招生方向集成电路工程
物联网和传感器技术
电子与通信工程


教育背景2007-09--2011-07北京大学信息科学与技术学院微电子学系，研究生/博士学位
2004-09--2007-07中北大学电子科学与技术系，研究生/硕士学位
2000-09--2004-07中北大学电子工程系，本科/学士学位


教授课程

教授课程

专利与奖励
2014.01 中国科学院微电子研究所“年度十佳先进工作者”；
2014.01 中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室“年度先进工作者”；
2014.01 江苏物联网研究发展中心“年度先进工作者”；
2015.01 中国科学院微电子器件与集成技术重点实验室“年度先进工作者”；
2015.01 江苏物联网研究发展中心“年度先进工作者”。
2016.07 中国科学院微电子研究所“优秀共产党员”


奖励信息
奖励与荣誉
专利成果（ 1 ） 一种纳米柱森林的加工方法, 发明, 2011, 第 1 作者, 专利号: 8
（ 2 ） 一种多样性纳米结构的加工方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: 8
（ 3 ） 一种基于表面增强拉曼散射活性基底的微流控检测器件, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: 2.2
（ 4 ） 微流控表面增强拉曼散射检测器件及其制备方法与应用, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 21.1
（ 5 ） 一种纳米柱针森林结构的加工方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: 0.2
（ 6 ） 一种高性能MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: 7.8
（ 7 ） 基于黒硅的高性能MEMS热电堆红外探测器及其制备方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: 6.0
（ 8 ） 微纳尺度材料赛贝克系数的测量机构及其制备方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: 9.1
（ 9 ） 微纳尺度材料赛贝克系数测量机构的制备方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 6.4
（ 10 ） 高性能MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 2.1
（ 11 ） 一种PM2.5过滤结构及其制备方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: 7.8
（ 12 ） 制热型MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 1.1
（ 13 ） 厨房余热收集装置, 实用新型, 2013, 第 1 作者, 专利号: 6.7
（ 14 ） 一种微凹面镜的制备方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 3.4
（ 15 ） PM2.5检测装置及其制造方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 3.5
（ 16 ） 基于红外气体传感器的水果成熟度检测系统, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 8.0
（ 17 ） 一种MEMS湿度传感器及制备方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 8.3
（ 18 ） 一种细颗粒物过滤结构及其制备方法, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: 8.3
（ 19 ） 食用油检测装置和方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: 1.6
（ 20 ） 气体检测装置及系统和气体检测方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: 3.1
（ 21 ） 纳米柱/针森林结构的图形化加工方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 1.0
（ 22 ） 微流控表面增强拉曼散射透明器件结构及其制备方法, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: 0.8
（ 23 ） 一种SERS基底及其制备方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 2.4
（ 24 ） 一种纳米结构及其制备方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 2.4
（ 25 ） 一种纳米结构及其制备方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 3.5
（ 26 ） 内嵌式纳米森林结构的图形化制备方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: 8.8
（ 27 ） SERS活性液滴、制备方法及分子检测方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: 20**830
（ 28 ） 一种红外吸收结构及其与红外传感器件的集成方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: 6.6
（ 29 ） SERS活性液滴、制备方法及分子检测方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: 20**830
（ 30 ） 一种红外吸收结构及其与红外传感器件的集成方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: 6.6
（ 31 ） 一种微流道结构及其制备方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 6.4
（ 32 ） 黑硅、制备工艺及基于黑硅的MEMS器件制备方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 1.1
（ 33 ） MEMS光学器件、光吸收纳米结构及其制备方法, 发明, 2017, 第 2 作者, 专利号: 2.3
（ 34 ） SERS活性基底及其制备方法以及痕量被测试剂分子富集方法, 发明, 2018, 第 1 作者, 专利号: 4.8
（ 35 ） 一种可扩展倍比稀释微流控芯片、制备方法和稀释方法, 发明, 2018, 第 2 作者, 专利号: 3.6
（ 36 ） 表面增强拉曼散射基底、制备方法及3D富集与检测方法, 发明, 2019, 第 2 作者, 专利号: 6.9
（ 37 ） 纳米森林结构的制备方法及纳米森林结构的调控方法, 发明, 2019, 第 2 作者, 专利号: 2.0


出版信息

发表论文（1）Optical Features of Nanowire Forests Prepared by A Plasma Repolymerization Technique,IEEE T Nanotechnology,2018,通讯作者
（2）双层复合纳米森林结构的制备及其宽光谱高吸收光学特性研究,红外与毫米波学报,2018,通讯作者
（3）一种挡板结构被动式微混合器的设计与仿真,微纳电子技术,2018,通讯作者
（4）Wafer-level Fabrication of Nanocone Forests by Plasma Repolymerization Technique for Surface-enhanced Raman Scattering Devices,Applied Surface Science,2017,第1作者
（5）Optical Features of Nanowire Forests Generated Using Plasma Repolymerization,IEEE NEMS 2017,2017,通讯作者
（6）A highly SERS-active and flexible droplet based on carbon-metal composite nanoparticles,Transducers’ 17,2017,第1作者
（7）Candle soot with broadband high absorptance for applications of infrared sensors,Transducers’ 17,2017,通讯作者
（8）Hybrid nanopillar forests with broadband high absorptance,Transducers’ 17,2017,通讯作者
（9）Fabrication and characterization of SiO2/Si heterogeneous nanopillar arrays,Nanotechnology,2016,第1作者
（10）Hybrid nanocone forests with high absorption in full-solar spectrum for solar cell applications,PowerMEMS 2016 Conference,2016,通讯作者
（11）A CMOS-MEMS IR device based on double-layer thermocouples,Microsystem Technologies,2016,通讯作者
（12）A double-end-beam based infrared device fabricated using CMOS-MEMS process,Sensor Review,2016,通讯作者
（13）Diversiform nanoforests: fabrication and applications,2016 IEEE International Nanoelectronics Conference (INEC 2016),2016,第1作者
（14）Fabrication of Nanocone Forests with High Optical Absorption based on A Plasma Repolymerization Technique,IEEE MEMS 2016,2016,通讯作者
（15）Multi-resonant wideband energy harvester based on a folded asymmetric M-shaped cantilever,AIP Advances,2015,第3作者
（16）基于纳米化聚酰亚胺材料的MEMS湿度传感器的研究,仪表技术与传感器,2015,通讯作者
（17）基于双层多晶硅材料的MEMS热电偶真空度传感器研究,微纳电子技术,2015,通讯作者
（18）Fabrication of Nanowires from Polyimide for Transparent SERS Devices,Transducers’ 15,2015,通讯作者
（19）Fabrication of Transparent SERS Devices for Pesticide Detection,IEEE NEMS 2015,2015,通讯作者
（20）Nanofiber Forests as A Humidity-Sensitive Material,,IEEE MEMS 2015,2015,通讯作者
（21）Fabrication of Patternable Nanopillars for Microfluidic SERS Devices based on Gap-Induced Uneven Etching,IEEE MEMS 2015,2015,通讯作者
（22）Microfluidic Surface-Enhanced Raman Scattering Sensors Based on Nanopillar Forests Realized by Oxygen-Plasma-Stripping-of-Photoresist Technique,Small,2014,第1作者
（23）Fabrication of polyimide sacrificial layers with inclined sidewalls based on RIE technology,AIP Advances,2014,通讯作者
（24）Design of thermopile-based infrared detectors with suspended absorber-thermopile bi-layers,Chinese Journal of Sensors and Actuators,2014,通讯作者
（25）Nanopillar-forest based surface-enhanced Raman scattering substrates,Science China: Information Sciences,2014,通讯作者
（26）Nanofiber Forests with High Infrared Absorptance,IEEE MEMS 2014,2014,第1作者
（27）Fabrication of Nanopillar Forests with High Infrared Absorptance Based on Rough Poly-Si and Spacer Technology,J. Micromech. Microeng.,2013,第1作者
（28）Realization of cylindrical submicron shell arrays by diffraction-introduced photolithography,Journal of Micromechanics and Microengineering,2011,第1作者
（29）Fabrication of High-Compact Nanowires Using Alternating Photoresist Ashing and Spacer Technology,Journal of Micromechanics and Microengineering,2010,第1作者
（30）Fabrication of Diversiform Nanostructure Forests Based on Residue Nanomasks Synthesized by Oxygen Plasma Removal of Photoresist,Nanotechnology,2009,第1作者
（31）A novel micro- accelerometer with adjustable sensitivity based on resonant tunneling diodes,Chinese Physics B,2009,第2作者
（32）Research on double-barrier resonant tunneling effect based stress measurement methods,Sensors and Actuators: A Physical,2009,第3作者

发表著作
发表著作

出版信息
发表论文（1）Optical Features of Nanowire Forests Prepared by A Plasma Repolymerization Technique,IEEE T Nanotechnology,2018,通讯作者
（2）双层复合纳米森林结构的制备及其宽光谱高吸收光学特性研究,红外与毫米波学报,2018,通讯作者
（3）一种挡板结构被动式微混合器的设计与仿真,微纳电子技术,2018,通讯作者
（4）Wafer-level Fabrication of Nanocone Forests by Plasma Repolymerization Technique for Surface-enhanced Raman Scattering Devices,Applied Surface Science,2017,第1作者
（5）Optical Features of Nanowire Forests Generated Using Plasma Repolymerization,IEEE NEMS 2017,2017,通讯作者
（6）A highly SERS-active and flexible droplet based on carbon-metal composite nanoparticles,Transducers’ 17,2017,第1作者
（7）Candle soot with broadband high absorptance for applications of infrared sensors,Transducers’ 17,2017,通讯作者
（8）Hybrid nanopillar forests with broadband high absorptance,Transducers’ 17,2017,通讯作者
（9）Fabrication and characterization of SiO2/Si heterogeneous nanopillar arrays,Nanotechnology,2016,第1作者
（10）Hybrid nanocone forests with high absorption in full-solar spectrum for solar cell applications,PowerMEMS 2016 Conference,2016,通讯作者
（11）A CMOS-MEMS IR device based on double-layer thermocouples,Microsystem Technologies,2016,通讯作者
（12）A double-end-beam based infrared device fabricated using CMOS-MEMS process,Sensor Review,2016,通讯作者
（13）Diversiform nanoforests: fabrication and applications,2016 IEEE International Nanoelectronics Conference (INEC 2016),2016,第1作者
（14）Fabrication of Nanocone Forests with High Optical Absorption based on A Plasma Repolymerization Technique,IEEE MEMS 2016,2016,通讯作者
（15）Multi-resonant wideband energy harvester based on a folded asymmetric M-shaped cantilever,AIP Advances,2015,第3作者
（16）基于纳米化聚酰亚胺材料的MEMS湿度传感器的研究,仪表技术与传感器,2015,通讯作者
（17）基于双层多晶硅材料的MEMS热电偶真空度传感器研究,微纳电子技术,2015,通讯作者
（18）Fabrication of Nanowires from Polyimide for Transparent SERS Devices,Transducers’ 15,2015,通讯作者
（19）Fabrication of Transparent SERS Devices for Pesticide Detection,IEEE NEMS 2015,2015,通讯作者
（20）Nanofiber Forests as A Humidity-Sensitive Material,,IEEE MEMS 2015,2015,通讯作者
（21）Fabrication of Patternable Nanopillars for Microfluidic SERS Devices based on Gap-Induced Uneven Etching,IEEE MEMS 2015,2015,通讯作者
（22）Microfluidic Surface-Enhanced Raman Scattering Sensors Based on Nanopillar Forests Realized by Oxygen-Plasma-Stripping-of-Photoresist Technique,Small,2014,第1作者
（23）Fabrication of polyimide sacrificial layers with inclined sidewalls based on RIE technology,AIP Advances,2014,通讯作者
（24）Design of thermopile-based infrared detectors with suspended absorber-thermopile bi-layers,Chinese Journal of Sensors and Actuators,2014,通讯作者
（25）Nanopillar-forest based surface-enhanced Raman scattering substrates,Science China: Information Sciences,2014,通讯作者
（26）Nanofiber Forests with High Infrared Absorptance,IEEE MEMS 2014,2014,第1作者
（27）Fabrication of Nanopillar Forests with High Infrared Absorptance Based on Rough Poly-Si and Spacer Technology,J. Micromech. Microeng.,2013,第1作者
（28）Realization of cylindrical submicron shell arrays by diffraction-introduced photolithography,Journal of Micromechanics and Microengineering,2011,第1作者
（29）Fabrication of High-Compact Nanowires Using Alternating Photoresist Ashing and Spacer Technology,Journal of Micromechanics and Microengineering,2010,第1作者
（30）Fabrication of Diversiform Nanostructure Forests Based on Residue Nanomasks Synthesized by Oxygen Plasma Removal of Photoresist,Nanotechnology,2009,第1作者
（31）A novel micro- accelerometer with adjustable sensitivity based on resonant tunneling diodes,Chinese Physics B,2009,第2作者
（32）Research on double-barrier resonant tunneling effect based stress measurement methods,Sensors and Actuators: A Physical,2009,第3作者

发表著作
发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 纳米纤维森林结构制备方法及其红外吸收特性研究, 主持,国家级,2015-01--2017-12
（ 2 ） 集成纳米结构的光源与多敏感元一体化的红外气体传感器, 参与,国家级,2014-01--2018-12
（ 3 ） 纳米森林结构制备方法及其MEMS红外传感器应用基础研究, 主持,省级,2014-01--2016-12
（ 4 ） 基于MEMS热电堆红外气体传感器的水果成熟度便携检测系统研究, 主持,省级,2014-01--2016-12
（ 5 ） 基于纳米森林结构的SERS器件技术开发, 主持,院级,2016-01--2016-08
（ 6 ） 高性能MEMS热电堆红外探测器研究, 主持,院级,2016-01--2016-08
（ 7 ） 宽光谱高吸收纳米光学材料研究, 主持,研究所（学校）,2017-06--2020-05
（ 8 ） 复合纳米森林的等离激元多重杂化光吸收特性基础研究, 主持,国家级,2018-01--2021-12
（ 9 ） MEMS传感器和纳米技术, 主持,部委级,2018-01--2021-12

科研项目（ 1 ） 纳米纤维森林结构制备方法及其红外吸收特性研究, 主持,国家级,2015-01--2017-12
（ 2 ） 集成纳米结构的光源与多敏感元一体化的红外气体传感器, 参与,国家级,2014-01--2018-12
（ 3 ） 纳米森林结构制备方法及其MEMS红外传感器应用基础研究, 主持,省级,2014-01--2016-12
（ 4 ） 基于MEMS热电堆红外气体传感器的水果成熟度便携检测系统研究, 主持,省级,2014-01--2016-12
（ 5 ） 基于纳米森林结构的SERS器件技术开发, 主持,院级,2016-01--2016-08
（ 6 ） 高性能MEMS热电堆红外探测器研究, 主持,院级,2016-01--2016-08
（ 7 ） 宽光谱高吸收纳米光学材料研究, 主持,研究所（学校）,2017-06--2020-05
（ 8 ） 复合纳米森林的等离激元多重杂化光吸收特性基础研究, 主持,国家级,2018-01--2021-12
（ 9 ） MEMS传感器和纳米技术, 主持,部委级,2018-01--2021-12

参与会议（1）Fabrication of Nanocone Forests with High Optical Absorption based on A Plasma Repolymerization Technique26.Y. Wang, L.C. Tang, H.Y. Mao*, C. Lei, W. Ou, J.J. Xiong2016-05-13
（2）Fabrication of Nanowires from Polyimide for Transparent SERS Devices27.L.C. Tang, H.Y. Mao*, Y. Wang, W. Ou, W.G. Wu, J. J. Xiong, Q. L. Tan2016-05-13
（3）Fabrication of Transparent SERS Devices for Pesticide Detection28.L.C. Tang, Q. L. Tan, J. J. Xiong, H.Y. Mao*,W. Ou, A. D. Bao2016-05-13
（4）Nanofiber Forests as A Humidity-Sensitive Material29.C. Lei, L.C. Tang, H.Y. Mao*, Y. Wang, J.J. Xiong , W. Ou, W.B. Wang, A.J. Ming, Q.L. Tan, D.P. Chen and D. Li2016-05-13
（5）Fabrication of Patternable Nanopillars for Microfluidic SERS Devices based on Gap-Induced Uneven Etching30.Y. Wang, L.C. Tang, H.Y. Mao*, C. Lei, W. Ou, J.J. Xiong , W.B. Wang, A.J. Ming, Q.L. Tan, D.P. Chen and D. Li2016-05-13
（6）Nanofiber Forests with High Infrared Absorptance31.H.Y. Mao*, C. Lei, Y. J. Chen, Z. J. Chen, W. Ou, W. G. Wu, A. J. Ming, and D. P. Chen2016-05-13
（7）Microfluidic Surface-enhanced Raman Scattering Sensors for Online Monitoring Trace Chemical Mixing and Reaction34.H.Y. Mao, P.P. Lv and W.G. Wu2016-05-13
（8）Silicon Nanopillar-Forest Based Microfluidic Surface-Enhanced Raman Scattering Devices35.H.Y. Mao, W.G. Wu, Y.L. Zhang, P.P. Lv, C. Qian, and J. Xu2016-05-13
（9）SERS-active substrates based on metallic nanocracks on PDMS36.Haiyang Mao, Chuang Qian, Pengpeng Lv, and Wengang Wu2016-05-13
（10）Dualfunctional MEMS Optical Device with Compound Electrostatic Actuators for Compact and Flexible Photonic Networks38.Qinghua Chen, Wengang Wu, Haiyang Mao, Bochao Du, Li Li, Yilong Hao2016-05-13
（11）Nanofiber-based Surface Microfluidic Structures for Cell and Nanoparticle Patterning39.Haiyang Mao, Wengang Wu, Qinghai Liu, Yulong Zhang, Yan Li2016-05-13
（12）Fabrication of nanofiber-based SERS-active substrates by oxygen plasma removal of SU-8 photoresist40.Haiyang Mao, Yulong Zhang, Wengang Wu, Chenyang Xue2016-05-13
（13）Diversiform nanoforests: fabrication and applicationsH. Y. Mao*, Y. D. Yang, Y. Wang, L. C. Tang, C. Lei1, J. J. Xiong, W. B. Wang2016-05-13
（14）Fabrication of Compact Collateral Silicon Nanowires Based on Continuously Alternating DepositionD. Wu, H.Y. Mao, W.G. Wu2016-05-10
（15）Fabrication of orderly and uniform nanotip arrays based on oxygen plasma etching of photoresistY.L. Zhang, H.Y. Mao, and W.G. Wu2016-05-04
（16）Fabrication of Nanopillars Based on Silicon Oxide Nanopatterns Synthesized in Oxygen Plasma Removal of PhotoresistH.Y. Mao, D. Wu, W.G. Wu, J. Xu, H.X. Zhang and Y.L. Hao2016-05-02


合作情况
项目协作单位
项目协作单位

合作情况
项目协作单位
项目协作单位

指导学生现指导学生
朱梦华硕士研究生085209-集成电路工程
石梦硕士研究生085208-电子与通信工程
刘城硕士研究生085209-集成电路工程
赵倩硕士研究生080903-微电子学与固体电子学
桂博硕士研究生085209-集成电路工程
王新泽硕士研究生085208-电子与通信工程
秦冲硕士研究生085208-电子与通信工程
巩晨硕士研究生085208-电子与通信工程
丁浩硕士研究生080903-微电子学与固体电子学

指导学生

工作经历