基本信息
马斌男硕导中国科学院上海技术物理研究所
电子邮件： mabin@mail.sitp.ac.cn
通信地址： 上海市虹口区玉田路500号
邮政编码： 200083

研究领域

招生信息
招生专业080903-微电子学与固体电子学

招生方向红外MEMS器件


教育背景2002-09--2008-01中国科学院上海技术物理研究所理学博士
1993-09--1996-09中国科学院上海技术物理研究所理学硕士
1987-09--1991-07成都科技大学理学学士

学历
学位

工作经历
工作简历2002-09~2008-01,中国科学院上海技术物理研究所,理学博士
1996-09~2011-07,中国科学院上海技术物理研究所,研究实习员/助理研究员/副研究员
1993-09~1996-09,中国科学院上海技术物理研究所,理学硕士
1991-07~1993-09,成都铝材厂,技术员/工程师
1987-09~1991-07,成都科技大学,理学学士

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息（1） 国防科学技术进步奖, 三等奖, 部委级, 2008
（2） 航空科学技术奖励, 三等奖, 院级, 2008
（3） 上海市科学技术进步奖, 三等奖, 省级, 2003
（4） 中国科学院科技进步奖, 二等奖, 部委级, 1999

专利成果（ 1 ） 用于硅腐蚀的四甲基氢氧化铵腐蚀液及制备方法, 2004, 第 2 作者, 专利号: ZL2.9
（ 2 ） 一种用于硅各向异性腐蚀的装置, 2004, 第 2 作者, 专利号: ZL3.3


出版信息
发表论文（1）国产MOS电阻阵列动态红外景像产生器新进展,Progress of domestic MOS resistor array dynamic infrared scene generator,红外与激光工程,2010,第1作者
（2）电阻阵列型红外景象仿真系统的设计与实现,Design and implementation of infrared scene simulation system based on resistor array,红外与激光工程,2010,第3作者
（3）基于热电堆结构的微型热传导真空传感器,A Thermopile-based Micro Thermal Conductivity Vacuum Sensor,真空科学与技术学报,2009,第1作者
（4）硅基热电堆真空传感器的耦合场有限元分析,Coupled-field finite element analysis of a thermopile-based vacuum sensor,纳米技术与精密工程,2008,第1作者
（5）硅基热电堆真空传感器的制造技术,Fabrication Technology of A Silicon-based Thermopile Vacuum Sensor,微细加工技术,2008,第1作者
（6）金属布线结构对电阻阵列辐射均匀性的影响,Effect of Metallization Pattern on Radiant Uniformity for Resistor Array,激光与红外,2008,第2作者
（7）电阻阵列红外景像产生器瞬态响应优化,Optimization of Resistor Array Infrared Projector Temporal Response,航空科学技术,2008,第2作者
（8）An Improved CMOS-compatible Bulk-silicon-micromachined Microemitter for Dynamic Infrared Scene Projector,ICSICT,2006,第1作者
（9）电阻阵动态红外景象投射器单元电路研究,Characteristics of Cell Circuits of Resistor Array Dynamic Infrared Scene Projector,科学技术与工程,2006,第2作者
（10）国产电阻阵列动态红外景像投射器研制进展,Development and Status of MOS Resistor Arrays Dynamic Infrared Scene Projector of China,红外技术,2006,第2作者
（11）微机械非制冷红外热电堆探测器,Micromachined Uncooled Infrared Thermopile Detector,红外技术,2005,第2作者
（12）10％TMAH硅湿法腐蚀技术的研究,Study on Si Wet-etch with 10％ TMAH,微细加工技术,2004,第2作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 256x256元MOS电阻阵列红外图像转换器, 主持,国家级,2007-07--2011-09

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生