李文昊男博导中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
电子邮件： leewenho@163.com
通信地址： 长春市东南湖大路3888号
邮政编码：

研究领域全息衍射元器件研究
光通信元器件及模块
新型干涉光刻技术研究

招生信息招收有志于从事衍射光学元器件、光通信器件、高精度位移感知研究，具有物理，光学和电子背景的学生。

招生专业070207-光学

招生方向高能激光衍射元器件研究，高精度位移感知
光通信衍射元器件研究


教育背景2003-09--2008-06长春光学精密机械与物理研究所工学博士
1998-09--2002-06陕西科技大学工学学士

学历研究生
学位博士

工作经历
工作经历2015-09—现在 长春光学精密机械与物理研究所研究员
2009-09--2015-09长春光学精密机械与物理研究所副研究员
2007-09--2009-09长春光学精密机械与物理研究所助理研究员
2002-07--2007-09长春光学精密机械与物理研究所研究实习员



出版信息
发表论文（1）扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测,中国激光,2017,通讯作者
（2）基于衍射光栅的干涉式精密位移测量系统,中国光学,2017,通讯作者
（3）扫描干涉场曝光光束对准误差及其控制技术,光学学报,2017,第4作者
（4）Precision measurement of X-axis stage mirror profile in scanning beam interference lithography by three-probe system based on bidirectional integration model,Optics Express,2017,通讯作者
（5）Two-color heterodyne laser interferometry for long-distance stage measurement with correction of uncertainties in measured optical distances,Scientific Reports,2017,通讯作者
（6）Offner 成像光谱仪的消像差技术,光学精密工程,2017,通讯作者
（7）光谱仪中球面聚焦反射镜和凹面全息光栅像差互补的一体化设计,光学学报,2016,第3作者
（8）纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测,光学精密工程,2016,第2作者
（9）Moiré alignment algorithm for an aberration-corrected holographic grating exposure system and error analysis,Applied Optics,2016,第3作者
（10）在线诊断光谱仪用光栅制作误差对光谱成像的影响及补偿,光谱学与光谱分析,2016,第4作者
（11）平面全息光栅曝光系统中的分光器件特性分析,中国光学,2015,第3作者
（12）扫描干涉场曝光系统中干涉条纹周期精确测量方法,光学学报,2015,第4作者
（13）极紫外波段变栅距光栅刻槽密度变化及光谱分辨能力分析,发光学报,2015,第1作者
（14）棱镜-光栅-棱镜分光模块整体化设计及衍射特性分析 ,光谱学与光谱分析,2014,第3作者
（15）非均匀膨胀与收缩下反射体全息光栅衍射特性分析 ,中国激光,2014,第4作者
（16）非均匀混合调制光栅衍射效率计算方法及特性分析,中国激光,2014,第3作者
（17）扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响,光学学报,2014,第3作者
（18）莫尔条纹法精确控制全息光栅光栅常数的研究 ,仪器仪表学报,2013,第1作者
（19）球差在平场全息凹面光栅设计中的作用,激光与光电子学进展,2013,第4作者
（20）双光栅切换微型平场全息凹面光栅光谱仪,光学学报,2013,第4作者
（21）全息光栅曝光系统中空间滤波器孔径与激光束腰关系的选择方法,物理学报,2012,第3作者
（22）全息光栅制作中光栅掩模形状随曝光量及干涉场条纹对比度的变化规律,光学学报,2012,第3作者
（23）Merit function to design holographic gratings for moderate-resolution monochromators,Applied Optics,2012,第3作者
（24）小型宽波段凹面全息光栅单色仪的优化设计,光学学报,2012,第3作者
（25）全息光栅制作中光栅掩模槽形形状随光刻胶特性曲线的演化规律,光学精密工程,2012,第3作者
（26）宽波段全息罗兰光栅的优化 ,中国激光,2011,第3作者
（27）平面全息光栅刻线密度的倍频式调整方法,光学学报,2011,第3作者
（28）一步法设计单色仪凹面全息光栅,光谱学与光谱分析,2011,第3作者
（29）双光栅平场全息凹面光栅光谱仪的优化设计 ,光学学报,2011,第3作者
（30）曲率半径误差对平场全息凹面光栅分辨率的影响及其补偿方法 ,光谱学与光谱分析,2011,第3作者
（31）实时监测技术用于制作高质量全息光栅,光学精密工程,2011,第1作者
（32）全息光栅非对称曝光显影的理论模拟及实时监测 ,光学学报,2010,第3作者
（33）凹球面基底离心式涂胶的数学模型及实验验证 ,光学精密工程,2008,第3作者
（34）曝光系统离焦对平面全息光栅衍射波前的影响 ,中国光学与应用光学,2008,第3作者
（35）Fabrication of blazed gratings used in ultraviolet region by holographic ion beam etching based on photoresist melting,Opto-electronics Letters,2008,第1作者
（36）基于光刻胶热熔法的全息光栅表面粗糙度平滑处理 ,微细加工技术,2007,第1作者
（37）基于光刻胶热熔法的全息离子束刻蚀紫外闪耀光栅研制,光电子 激光,2006,第1作者
（38）Application of photoresist melting method to the fabrication of holographic grating,SPIE,2005,第1作者
（39）Compensability between the longitudinal and transverse mismachining tolerance of grating in the optical pick-up head,Chinese Optics Letters,2004,第3作者

发表著作
专利专利编号
专利名称
专利类型
授权状态
本人排名
时间

CN9.9
一种品字型位移测量光栅的制作方法
发明
实审
1
2017-12-26

CN5.8
一种品字型位移测量光栅的制作方法
发明
实审
3
2017-12-26

CN3.X
长行程、高精度测量的光栅位移测量系统
发明
实审
1
2017-08-24

CN0.5
基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量系统
发明
实审
1
2017-08-24

CN0.X
长行程、高精度测量的光栅位移测量方法
发明
实审
1
2017-08-24

CN6.3
基于衍射光栅的长行程、高精度位移测量方法
发明
实审
1
2017-08-24

CN7.8
用于扫描干涉场曝光系统的精密光栅位移测量系统及方法
发明
实审
3
2017-08-24

CN5.2
全息光栅制作装置、曝光干涉条纹相位稳定装置及方法
发明
实审
5
2016-09-21

CN8.4
利用气流控制光刻胶膜厚度的匀胶装置及匀胶方法
发明
实审
4
2015-11-18

CN2.4
一种新型厚层光刻胶涂覆方法
发明
实审
1
2015-04-08

CN9.3
一种厚层光刻胶涂覆装置
发明
实审
1
2015-04-08

CN8.3
变栅距光栅的制作方法
发明
实审
1
2015-01-21

CN4.7
平面变栅距光栅的优化设计方法
发明
实审
3
2015-01-21

CN8
采用外差式干涉条纹锁定控制的全息光栅曝光方法
发明
实审
3
2014-04-02

CN6
一种全息光栅曝光干涉条纹相位移动与锁定装置
发明
实审
4
2014-04-02

CN6
在扫描曝光光路中精确调整干涉条纹方向的方法
发明
实审
4
2014-04-02

CN B
一种调整洛艾镜装置中洛艾镜与光栅基底垂直度的方法
发明
授权
2
2011-07-20

CNA
一种利用莫尔条纹调整全息光栅曝光光路中准直光的方法
发明
初审
2
2011-06-22

CNA
一种平面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法
发明
初审
2
2011-06-08

CNA
一种凹面全息光栅曝光光路中实时监测装置的调整方法
发明
初审
2
2011-06-08

CNA
一种调整洛艾镜装置中洛艾镜与光栅基底垂直度的方法
发明
实审
2
2010-09-01

CNA
一种在全息光栅制作光路中精确调整刻线密度的方法
发明
授权
1
2010-08-04

CNA
一种全息光栅制作光路中精确调整刻线密度的装置
发明
授权
1
2010-06-23

CNA
凹面全息光栅制作中光栅基底的双光束定位方法
发明
实审
2
2010-06-09

CNA
平面全息光栅制作中光栅基底的零级光定位方法
发明
实审
2
2010-06-02

CNC
一种采用复制技术制作非球面镜的工艺方法
发明
授权
1
2009-06-24

CN
一种全息光栅显影过程实时监测电路
发明
实审
3
2009-05-27

CN
全息光栅制作中实时监测曝光量的方法
发明
授权
1
2009-05-27

CN
一种采用复制技术制作非球面光栅的方法
发明
授权
1
2009-05-27

CNC
一种确定凹面全息光栅制作光路中两激光束夹角的方法
发明
授权
1
2009-05-20

CN
一种全息光栅制作中曝光量的实时监测装置
发明
授权
1
2009-05-13

CNC
凹面光栅制作光路中测量波源点与毛坯中心点距离的方法
发明
授权
1
2009-04-22

CN
一种非球面光栅复制的新方法
发明
授权
1
2008-02-20

CN
一种采用复制技术制作非球面镜的工艺方法
发明
授权
1
2008-02-20

CN
IV型凹面全息光栅的制作工艺流程
发明
授权
1
2008-01-09





指导学生现指导学生
刘兆武硕士研究生070207-光学

指导学生
序号
学号
姓名
性别
专业
培养层次
学生类型
攻读方式
状态

1
20**38
吕强
男
光学
博士研究生
博士研究生
硕博连读
在培养单位

2
20**40
赵美红
女
光学
博士研究生
博士研究生
硕博连读
在培养单位

3
20**61
刘林
男
光学
硕士研究生
硕士研究生
全国统考
在培养单位

4
20**40
刘兆武
男
光学
博士研究生
博士研究生
硕博连读
已毕业




获奖获奖名称
获奖类别
获奖等级
获奖级别
获奖年度
本人排名

中国科学院青年创新促进会
其他
一等奖
院级
2013年
1

吉林省科技进步奖
省部科学技术进步奖
一等奖
省
2012年
4

长白青年科技奖
其他
特等奖
其他
2010年
1

中国科学院院长奖学金
其他
一等奖
院级
2008年
1




科研项目任务名称
任务来源
开始日期
结束日期
科研经费(万元)
本人角色

扫描干涉场曝光中干涉场边缘效应及光栅掩模参数精确控制方法研究
国家任务-国家自然科学基金课题（面上项目）
2018-01-01
2018-12-31
14.0
负责人

中国科学院青年创新促进会优秀会员
中国科学院计划-院其他任务
2018-01-01
2020-12-31
180.0
负责人

高通量消像差凹面全息光栅研制
地方任务-地方科技攻关计划课题
2017-10-01
2019-09-30
200.0
负责人

中青年科技创新领军人才及团队项目
地方任务-地方科技攻关计划课题
2017-01-01
2019-12-31
20.0
负责人

凹面全息光栅研制及产业化
中国科学院计划-院地合作专项
2017-01-01
2018-12-31
100.0
负责人

深海关键溶解气体同位素分析系统光栅合束系统研制
国家任务-国家重点研发计划
2016-07-01
2020-06-30
154.0
负责人

宽波段荧光光谱仪的研制
地方任务-地方科技攻关计划课题
2015-01-01
2017-12-31
95.0
负责人

1.5米扫描干涉场曝光系统
国家任务-
2013-01-01
2017-12-31
8300.0
参与

高端全息光栅研发
国家任务-
2011-10-01
2016-10-01
3875.0
参与

扫描干涉场曝光技术PCG光栅
国家任务-
2011-07-01
2013-06-30
40.0
负责人

扫描干涉场曝光系统干涉条纹调整及锁定技术研究
中国科学院计划-
2010-04-02
2012-03-31
280.0
负责人

高刻线密度平面全息光栅的优化设计与制作技术研究
中国科学院计划-
2009-12-21
2011-12-20
10.0
负责人




社会兼职兼职名称
担任职务
起始时间
终止时间

光学精密工程
编委
2018-01-01
2022-12-31

中国生物工程学会生命科学仪器专业委员会
委员
2017-09-01
2022-08-31

《中国光学》青年编委
2015-07-01

中国科学院青年创新促进会
会员
2012-12-31
2016-12-30