基本信息
李世光女硕导中国科学院微电子研究所
电子邮件： lishiguang@ime.ac.cn
通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码： 100029
部门/实验室：光刻总体部
研究领域

招生信息
招生专业080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程
085208-电子与通信工程

招生方向集成电路先导工艺技术
新原理装备技术


教育背景2000-09--2005-07清华大学工学博士
1993-09--1996-03哈尔滨工业大学工学硕士
1989-09--1993-07哈尔滨工业大学工学学士

学历
学位

工作经历
工作简历2011-10~现在,中国科学院微电子研究所,副研究员
2010-03~2011-05,the University of North Carolina, USA,Post doctor
2005-12~2009-11,Singapore-MIT Alliance, Singapore,Research Fellow
1996-04~1998-01,北京空间机电研究所,助理工程师

社会兼职2016-02-01-今,东方晶源微电子科技（北京）有限公司, 项目经理，项目总监
2013-11-10-今,Laser in Engineering审稿人, 稿件审核
2013-11-07-今,Measurement审稿人, 稿件审核
2013-09-09-今,Chinese Optics Letters审稿人, 稿件审核
2010-09-05-今,Optics Express审稿人, 稿件审查


教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 一种靶源预整形增强的极紫外光发生装置, 发明, 2013, 第 4 作者, 专利号: 9
（ 2 ） 一种EUV光源污染物收集装置, 发明, 2012, 第 3 作者, 专利号: 1
（ 3 ） 偏振模色散补偿系统, 发明, 2003, 第 2 作者, 专利号: **
（ 4 ） 一种平凸透镜对心安装装置, 发明, 2014, 第 4 作者, 专利号: 4.3
（ 5 ） 一种调焦调平传感器测量装置, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: 2.3
（ 6 ） 一种垂向调整装置, 发明, 2014, 第 5 作者, 专利号: 8.8


出版信息
发表论文（1）基于空间分光的纳米级调焦调平测量技术,Nanoscale Focusing and Leveling Measurement Technology Based on Optical Spatial Split,光学学报,2016,第2作者
（2）纳米光刻中调焦调平测量系统的工艺相关性,Process Dependency of Focusing and Leveling Measurement System in Nanoscale Lithography,光学学报,2016,第2作者
（3）Toward soft-tissue elastography using digital holography to monitor surface acoustic wave,Journal of Biomedical Optics,2011,第1作者
（4）Feasibility study on bonding quality inspection of microfluidic devices by optics coherence tomography,Journal of Biomedical Optics,2011,第1作者
（5）Measuring soft tissue elasticity by monitoring surface acoustic waves using image plane digital holography,Proc. SPIE 7965,2011,第1作者
（6）Measurement of buried undercut structures in microfluidic devices by laser fluorescent confocal microscopy,Applied Optics,2009,第1作者
（7）Microvalve thickness and topography measurements in microfluidic devices by white-light confocal microscopy,Applied optics,2009,第1作者
（8）Three-dimensional profile stitching based on the fiducial markers for microfluidic devices,Optics Communications,2009,第2作者
（9） Fusion of Metrology Data for High-Volume Large-Scale Manufacturing of Polymer-Based Micro？uidic Devices,International journal of nanomanufacturing,2009,第3作者
（10）Measurement Activities in Production of Microfluidic Devices,SMA 10th Anniversary Symposium,2009,第1作者
（11）Three dimensional sidewall measurements by laser fluorescent confocal microscopy,Optics express,2008,第1作者
（12）Review of production of microfluidic devices: material, manufacturing and metrology,Proc. SPIE 6993,2008,第1作者
（13）Moire fringe method for the measurement of distortions of hot-embossed polymeric substrates,SPIE 7155,2008,第3作者
（14）Microvalve Thickness Measurement in Multi-layer Microfluidic Devices with Chromatic Confocal Microscopy,5th International Symposium on Nanomanufacturing,2008,第1作者
（15）Complete Surface Distinguishing and Overlapping Technology for Three-dimensional Image Processing of Micro Devices,5th International Symposium on Nanomanufacturing,2008,第2作者
（16）Dimensional variation in production of high-aspect-ratio micro-pillars array by micro powder injection molding,Applied Physics A,2007,第1作者
（17）Complete polarization controller based on magneto-optic crystals and fixed quarter wave plates,Optics express,2006,第3作者
（18）Impact of polarization dependent loss on degree of polarization as feedback signal of polarization mode dispersion,Chinese Optics Letters,2006,第3作者
（19）Experimental mitigation of pulse distortion due to higher order polarization mode dispersion,Proc. SPIE 6025,2006,第3作者
（20）Compact first and second order polarization mode dispersion emulator,Chinese Optics Letters,2005,第2作者
（21）Polarization mode dispersion compensation experiments in 10 Gb/s and 40 Gb/s optical communication systems,Proc. SPIE 6021,2005,第2作者
（22）Compact optical roll angle sensor with large measurement range and high sensitivity,Optics letters,2005,第1作者
（23）Dynamic performance of magneto-optical Bi-substituted rare-earth iron garnet,Chinese optics letters,2005,第1作者
（24）Frequency dependence of polarization mode dispersion of crystal-based polarization mode dispersion compensator,Chinese Physics Letters,2005,第1作者
（25）Simple all-order polarization mode dispersion emulator in DWDM systems,Proc. SPIE 5625,2005,第1作者
（26）Compact first-order polarization mode dispersion compensator based on birefringent crystals,Chinese Physics Letters,2004,第2作者
（27）Feed-forward polarization mode dispersion compensation with a step control algorithm,Optics Communications,2003,第3作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 浸没光刻机系统需求与技术指标分析和评估, 参与,国家级,2012-01--2014-12
（ 2 ） 投影曝光检测系统关键部件分析与试验研究, 参与,国家级,2013-01--2016-12
（ 3 ） EUVL技术体系与研发方案研究, 参与,国家级,2012-01--2016-12

参与会议（1）Measuring soft tissue elasticity by monitoring surface acoustic waves using image plane digital holographyShiguang Li, Amy L. Oldenburg2011-02-12
（2）Measurement Activities in Production of Microfluidic DevicesShiguang Li, Zhiguang Xu, Soon Fatt Yoon, etc2009-01-21
（3）Moire fringe method for the measurement of distortions of hot-embossed polymeric substratesHayden K. Taylor, Zhiguang Xu, Shiguang Li, Kamal Youcef-Toumi, etc2008-09-29
（4）Review of production of microfluidic devices: material, manufacturing and metrologyShiguang Li, Zhiguang Xu, and etc2008-04-08
（5）Microvalve Thickness Measurement in Multi-layer Microfluidic Devices with Chromatic Confocal MicroscopyShiguang Li, Todd Thorsen, Zhiguang Xu, etc2008-01-23
（6）Simple all-order polarization mode dispersion emulator in DWDM systemsShiguang Li, Changxi Yang and Guofan Jin2005-02-28


合作情况
项目协作单位

指导学生已指导学生
郭杰硕士研究生080903-微电子学与固体电子学
现指导学生
钟志坚硕士研究生080903-微电子学与固体电子学