基本信息
傅剑宇女硕导中国科学院微电子研究所
电子邮件： fujianyu@ime.ac.cn
通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码：
部门/实验室：感知中心
研究领域

招生信息
招生专业080903-微电子学与固体电子学

招生方向微机电系统
光电器件


教育背景2005-09--2010-06中国科学院微电子研究所博士
2001-09--2005-06四川大学学士

学历
学位

工作经历
工作简历2014-05~现在,中国科学院微电子研究所,副研究员
2013-05~2014-05,中国科学院重庆绿色智能技术研究院,副研究员
2011-11~2013-04,中国科学院重庆绿色智能技术研究院,助理研究员
2010-07~2011-10,重庆大学,讲师
2005-09~2010-06,中国科学院微电子研究所,博士
2001-09~2005-06,四川大学,学士

社会兼职

教授课程微机电系统基础


专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 一种氮化硅薄膜制备方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 3.X
（ 2 ） 一种连续太赫兹波成像系统及其方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 8.7
（ 3 ） 丙酮气敏传感器及其制备方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 9.3
（ 4 ） 加速度开关及其控制方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 4.8
（ 5 ） 微型湿度传感器, 2018, 第 1 作者, 专利号: 6.2


出版信息
发表论文（1）Low atomic number silicon nitride films for transmission electron,Materials Science in Semiconductor Processing,2019,第1作者
（2）Highly Sensitive Diode-Based Micro-Pirani Vacuum Sensors with Low Power Consumption,sensors,2019,第11作者
（3）Compact micro-Pirani vacuum sensor based on series diodes without,Sensors and Actuators A: Physical,2019,第11作者
（4）Highly Sensitive Diode-Based Micro-Pirani Vacuum Sensor with Low Power Consumption,sensors,2019,第11作者
（5）Compact micro-Pirani vacuum sensor based on series diodes withou theating structure,Sensors and Actuators A: Physical,2019,第11作者
（6）Improving sidewall roughness by combined RIE-Bosch process,Materials Science in Semiconductor Processing,2018,第1作者
（7）Fabricating metal structures with taper angles and smooth sidewalls,Journal of Micromechanics and Microengineering,2017,第1作者
（8）Thermal annealing effects on the stress stability in silicon dioxide films grown by plasma?enhanced chemical vapor deposition,Microsyst Technol,2017,第1作者
（9）Improving stress stability in low-pressure chemical vapor deposited silicon dioxide films by ion implantation,Thin Solid Films,2016,第11作者
（10）Optical sensitivity non-uniformity analysis and optimization of a tilt optical readout focal plane array,Journal of Micromechanics and Microengineering,2016,第1作者
（11）Design optimization and performance analysis of deformed optical readout focal plane array,Journal of Micromechanics and Microengineering,2015,第1作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） 基于弱非线性近共振效应的光读出THz成像新方法研究, 主持,国家级,2017-01--2019-12
（ 2 ） 高性能SOI二极管型非制冷红外成像阵列传感器与系统, 参与,国家级,2015-03--2018-03
（ 3 ） 深海微汞膜电极研制, 参与,国家级,2016-07--2020-06
（ 4 ） 高度集成的温盐溶氧传感器加工技术研究, 参与,国家级,2016-07--2020-06
（ 5 ） XeF2气相腐蚀系统, 参与,部委级,2016-12--2018-12
（ 6 ） 非制冷红外探测器关键技术研发, 参与,省级,2018-12--2020-11
（ 7 ） 基于石墨烯掺杂阻变效应的新型热释电红外探测机理及高性能器件研究, 参与,国家级,2019-01--2022-12

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生