基本信息
陈德勇男博导中国科学院电子学研究所
电子邮件： dychen@mail.ie.ac.cn
通信地址： 海淀区北四环西路19号科电大厦1101
邮政编码： 100190

研究领域MEMS微传感器与微系统。近年来主要研究方向包括：基于MEMS技术的谐振式传感器、振动传感器、惯性传感器、无线无源传感器、微流控芯片以及微纳制造技术等。

招生信息每年招生博、硕士研究生共3名

招生专业

微电子与固体电子学
生物电子学

招生方向

1. 基于微纳米技术的传感器、执行器与系统
2. MEMS加工技术与工艺
3. 微流控芯片系统


招生专业080903-微电子学与固体电子学
080920-生物电子学


教育背景1998-09--2002-07中国科学院电子学研究所工学博士
1989-09--1992-07中国科学院半导体研究所理学硕士学位
1984-09--1989-07北京清华大学理学学士


工作经历2002-05--今 中国科学院电子学研究所 研究员
1998-05--2002-05 中国科学院电子学研究所 副研究员
1994-05--1998-05 中国科学院电子学研究所 助理研究员
1992-08--1994-05 中国科学院电子学研究所 研究实习员

2003年 英国卢瑟福国家实验室高级访问



专利与奖励
专利成果（ 1 ） 梁膜一体结构谐振梁压力传感器芯片及制造方法, 发明, 2005, 第 1 作者, 专利号: ZL**.7
（ 2 ） 一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: ZL0.5
（ 3 ） 一种基于微机电技术的硅压阻式风速风向传感器, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: ZL 1.x
（ 4 ） 微桥结构热偶型微波功率传感器, 发明, 2003, 第 1 作者, 专利号: ZL**.3
（ 5 ） 一种梁膜分体结构谐振梁压力传感器, 发明, 2005, 第 1 作者, 专利号: ZL**.1
（ 6 ） 微机械硅谐振梁加速度计, 发明, 2008, 第 1 作者, 专利号: ZL8.0
（ 7 ） 微机械硅谐振式气体流速传感器, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: ZL7.3
（ 8 ） 基于MEMS技术的电化学地震检波器, 发明, 2011, 第 1 作者, 专利号: 2.9
（ 9 ） MEMS应变式结冰传感器及检测方法, 发明, 2011, 第 1 作者, 专利号: 3.9
（ 10 ） 基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法, 发明, 2013, 第 3 作者, 专利号: 20**
（ 11 ） 基于MEMS的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法, 发明, 2013, 第 1 作者, 专利号: 20**
（ 12 ） 一种基于微电子机械技术的硅谐振式气压传感器, 发明, 2013, 第 1 作者, 专利号: ZL32
（ 13 ） 一种电磁驱动谐振式微结构压力传感器封装方法, 发明, 2013, 第 2 作者, 专利号: ZL93
（ 14 ） 谐振式微机械压力传感器及传感器芯片的低应力组装方法, 发明, 2013, 第 3 作者, 专利号: 5X
（ 15 ） 无线无源LC谐振传感器检测电路及相应的信息获取方法, 发明, 2013, 第 3 作者, 专利号: 20**
（ 16 ） 电化学敏感元件、其制备方法、应用其的地震检波器, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: 7X
（ 17 ） 基于微流控技术的浓度梯度产生器及其制备方法, 发明, 2013, 第 4 作者, 专利号: 3X
（ 18 ） 基于微流控技术测量单个细胞杨氏模量的方法, 发明, 2013, 第 5 作者, 专利号: 20**
（ 19 ） 基于MEMS的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL4.1
（ 20 ） 基于MEMS技术的电化学地震检波器, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL2.9
（ 21 ） 谐振式微机械压力传感器及传感器芯片的低应力组装方法, 发明, 2015, 第 3 作者, 专利号: 5.X
（ 22 ） SOI片过孔内金属焊盘的制作方法, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: 6.3
（ 23 ） 无线无源LC谐振传感器检测电路及相应的信息获取方法, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: 5.3
（ 24 ） 一种无线无源胃肠压力检测系统, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: 5.4
（ 25 ） 基于机械密封的电化学地震检波器及其封装方法, 发明, 2015, 第 3 作者, 专利号: 8.1
（ 26 ） 单片复合敏感电极、其制造方法、基于其的敏感器件, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 3.5
（ 27 ） 集成式复合敏感电极及其制造方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 0.3
（ 28 ） 细胞培养微沟道中注入溶液的方法以及贴壁细胞培养方法, 发明, 2016, 第 5 作者, 专利号: 0.X
（ 29 ） 一种基于力平衡反馈的电化学地震检波器, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: 8.1
（ 30 ） 电化学加速度计、将热敏电阻集成在电极中的方法, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: 7.3
（ 31 ） 用于重建骨细胞微环境的微流控芯片及其使用方法, 发明, 2016, 第 5 作者, 专利号: 7.2
（ 32 ） 双谐振器压力传感器的温度自补偿方法和测量方式, 发明, 2017, 第 3 作者, 专利号: 4.0
（ 33 ） 无线无源非侵入式MEMS眼压传感器及其制作方法, 发明, 2017, 第 3 作者, 专利号: 8.X
（ 34 ） 平面电感与电容串联的无线连接眼压传感器, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: 9.4
（ 35 ） 谐振式压力传感器, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: 9.8
（ 36 ） 悬臂件及应用其的谐振式加速度传感器, 发明, 2016, 第 3 作者, 专利号: 0.6
（ 37 ） 同时表征单细胞杨氏模量和细胞膜比电容的系统, 发明, 2016, 第 5 作者, 专利号: 8.8
（ 38 ） 一种基于SOI工艺的高精度硅微谐振式气压传感器, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: 4.2


出版信息


发表论文（1）Single-Cell Electrical Phenotyping Enabling the Classification of Mouse Tumor Samples,Scientific Reports,2016,第3作者
（2）Microelectromechanical Systems Based Electrochemical Seismic Sensors with Insulating Spacers Integrated Electrodes for Planetary Exploration,IEEE Sensors Journal,2016,通讯作者
（3）Electrical Property Characterization of Neural Stem Cells in Differentiation,Plos One,2016,第2作者
（4）Development of Microfluidic Systems Enabling High-Throughput Single-Cell Protein Characterization,Sensors,2016,第3作者
（5）Development of Droplet Microfluidics Enabling High-Throughput Single-Cell Analysis,Molecules,2016,第4作者
（6）A resonant pressure sensor capable of temperature compensation with least squares support vector machine,Procedia Engineering,2016,通讯作者
（7）A MEMS based electrochemical seismometer with low cost and wide working bandwidth,Procedia Engineering,2016,通讯作者
（8）Microelectromechanical systems based electrochemical seismic sensors with an anode and a cathode integrated on one chip,Journal of Micromechanics and Microengineering,2016,通讯作者
（9）Osteocyte Culture in Microfluidic Devices,Biomicrofluidics,2015,第3作者
（10）Microfluidic Impedance Flow Cytometry Enabling High-Throughput Single-Cell Electrical Property Characterization,International Journal of Molecular Sciences,2015,第4作者
（11）ＭＥＭＳ宽带电化学地震检波器,光学精密工程,2015,第2作者
（12）平面电极型ＭＥＭＳ电化学地震传感器,光学精密工程,2015,第3作者
（13）A Tubing-Free Microfluidic Wound Healing Assay Enabling the Quantification of Vascular Smooth Muscle Cell Migration,Scientific Reports,2015,第4作者
（14）Non-invasive Wireless And Passive MEMS Intraocular Pressure Sensor Based on Flexible Substrate,Applied Mechanics & Materials,2015,第2作者
（15）Vacuum-packaged Resonant Pressure Sensor with Dual Resonators for High Sensitivity and Linearity,Procedia Engineering,2015,通讯作者
（16）A Lateral Differential Resonant Pressure Microsensor Based on SOI-Glass Wafer-Level Vacuum Packaging,Sensors,2015,通讯作者
（17）A Resonant Pressure Microsensor Capable of Self-Temperature Compensation,Sensors,2015,通讯作者
（18） Simultaneous Characterization of Instantaneous Young’s Modulus and Specific Membrane Capacitance of Single Cells Using a Microfluidic System,Sensors,2015,第2作者
（19）谐振式MEMS压力传感器的制作及圆片级真空封装,光学精密工程,2014,第1作者
（20）A MEMS based electrochemical vibration sensor for seismic motion monitoring,Journal of Microelectromechanical Systems ,2014,通讯作者
（21） A High-Q Resonant Pressure Microsensor with Through-Glass Electrical Interconnections Based on Wafer-Level MEMS Vacuum Packaging,Sensors,2014,通讯作者
（22）基于SOI-MEMS技术的静电驱动-电容检测硅谐振器(英文),纳米技术与精密工程,2013,通讯作者
（23）一种谐振式MEMS压力传感器单芯片级真空封装和低应力组装方法,纳米技术与精密工程,2013,第4作者
（24）A micro electrochemical seismic sensor based on MEMS technologies,Sensors and Actuators, A,2013,第1作者
（25）microfluidic system for cell type classification based on cellular size-independent electrical properties,Lab on a Chip,2013,第2作者
（26）A microfluidic system enabling continuous characterization of specific membrane capacitance and cytoplasm conductivity of single cells in suspension,Biosensors and Bioelectronics,2013,第2作者
（27）A new stress isolation method in the packaging of resonant pressure micro sensors,Sensor Letters,2013,通讯作者
（28）Electrostatically driven and capacitively detected differential lateral resonant pressure microsensor,Micro and Nano Letters,2013,通讯作者
（29）Low temperature wafer level adhesive bonding using BCB for resonant pressure sensor,Key Engineering Materials,2012,通讯作者
（30）Micro-Machined Electrochemical Seismic Sensors with Interdigital Electrodes,Key Engineering Materials ,2012,通讯作者
（31）Low Frequency Electrochemical Accelerometer with Low Noise Based on MEMS,Key Engineering Materials ,2012,通讯作者
（32）A Flush-Mounted Resonant Ice Detection Sensor with High Sensitivity,Key engineering materials,2012,第3作者
（33）Closed-loop Control of a SOI-MEMS Resonant Accelerometer with Electromagnetic Excitation,纳米技术与精密工程,2012,第3作者
（34）用于液相检测的谐振式电磁扭摆,仪表技术与传感器，2，p1-3,2011,通讯作者
（35）Viscosity–density sensor with resonant torsional paddle for direct detection in liquid,IET Nanobiotechnology,2011,第4作者
（36）Z-axis differential silicon-on-insulator resonant accelerometer with high sensitivity,IET Micro and Nano Letters,2011,通讯作者
（37）基于自停止腐蚀技术的斎型谐振式微机械压力传感器,光学精密工程,2011,通讯作者
（38）Vacuum Adhesive Bonding and Stress Isolation for MEMS Resonant Pressure Sensor Package,Materials Science Forum,2011,通讯作者
（39）Stress isolation used in MEMS resonant pressure sensor Package,Procedia Engineering,2011,通讯作者
（40）单晶硅振动环陀螺仪的制作,光学精密工程, 18(11), p2454-2460.,2010,通讯作者
（41）An Electromagnetically Excited Silicon Nitride Beam Resonant Accelerometer,Sensors, 9(3), p1330-1338,2009,第1作者
（42）一种电磁式微机械振动环陀螺的建模与优化,纳米技术与精密工程, 7(3), p233-238.,2009,通讯作者
（43）微机械振动环陀螺,光学精密工程, 17(6), p1344-1349.,2009,通讯作者
（44）高性能电磁式微机械振动环陀螺,光学精密工程, 17(8), p1915-1921.,2009,通讯作者


研究生培养已指导三十多名研究生毕业，目前指导在读研究生10名，其中博士研究生7名。指导的博士生赵阳获得2017年度中科院优秀博士学位论文奖，此外还有多名研究生获得院长奖学金、国家奖学金以及顶秀奖学金等奖励。