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中国科学院大学研究生导师教师师资介绍简介-陈波

本站小编 Free考研考试/2020-04-28

基本信息
陈波男硕导中国科学院微电子研究所
电子邮件: chenbo@ime.ac.cn
通信地址: 北京市北土城西路3号
邮政编码:
部门/实验室:设备中心
研究领域

招生信息
招生专业080903-微电子学与固体电子学
085209-集成电路工程

招生方向集成电路先导工艺技术
新原理装备技术


教育背景2000-09--2004-05New Jersey Institute of Technology博士

学历
学位

工作经历
工作简历2009-02~2011-11,美国Angstrom Thin Film 公司,经理
2005-01~2009-01,美国Semitool公司,研发工程师、技术经理
2001-01~2004-12,美国NJ Silicon Wafer Tech. 公司,研发工程师

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果( 1 ) 去除光刻胶的方法与装置, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN
( 2 ) 一种用于单面处理的夹持与保护装置, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN**
( 3 ) 用于半导体基片表面进行电镀的装置, 实用新型, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN
( 4 ) 一种用于圆形薄片状物体进行化学液喷洒处理的装置, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: CN**


出版信息
发表论文(1)图型化蓝宝石衬底工艺研究进展,半导体技术,2012,通讯作者
(2)基于图型化蓝宝石衬底的HB-LED研究进展,中国激光,2012,通讯作者

发表著作

科研活动
科研项目( 1 ) 45nm铜互连清洗设备工艺腔室与工艺开发, 主持,国家级,2013-01--2015-12

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生


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