基本信息
艾玉杰男硕导中国科学院半导体研究所
电子邮件： aiyujie@semi.ac.cn
通信地址： 北京市海淀区清华东路甲35号
邮政编码：
部门/实验室：固态光电信息技术实验室
研究领域

招生信息
招生专业080903-微电子学与固体电子学

招生方向射频MEMS器件


教育背景2007-09--2011-06北京大学博士
2004-09--2007-07山东师范大学硕士
2000-09--2004-07山东师范大学学士

学历
学位

工作经历
工作简历2016-03~现在,中国科学院半导体研究所,副研究员
2007-09~2011-06,北京大学,博士
2004-09~2007-07,山东师范大学,硕士
2000-09~2004-07,山东师范大学,学士

社会兼职

教授课程

专利与奖励
奖励信息
专利成果（ 1 ） 一种垂直沟道场效应晶体管及其制备方法, 2013, 第 1 作者, 专利号: 9.1
（ 2 ） 一种半导体纳米圆环的制备方法, 2012, 第 1 作者, 专利号: 8.7
（ 3 ） 一种基于平面工艺自对准制备隧穿场效应晶体管的方法, 2011, 第 1 作者, 专利号: 4.6
（ 4 ） 一种基于氧化和化学机械抛光工艺制备超细线条的方法, 2011, 第 1 作者, 专利号: 9.5
（ 5 ） 一种自对准制备平面碰撞电离场效应晶体管的方法, 2011, 第 1 作者, 专利号: 4.7
（ 6 ） Acoustic filter with suppressed nonlinear characteristics, 2015, 第 1 作者, 专利号: US ** B2
（ 7 ） Nano resonator and manufacturing method thereof, 2014, 第 1 作者, 专利号: US ** B2
（ 8 ） Method for fabricating semiconductor nano circular ring, 2014, 第 2 作者, 专利号: US ** B2
（ 9 ） Method for fabricating a tunneling field-effect transistor, 2012, 第 2 作者, 专利号: US ** B2
（ 10 ） Field effect transistor with a vertical channel and fabrication method thereof, 2014, 第 2 作者, 专利号: US ** B2


出版信息
发表论文（1）器件结构对单端口氮化铝/蓝宝石衬底上声表面波谐振器性能的影响,Impact of device parameters on performance of one-port type SAW resonators on AlN/sapphire,Journal of Micromechanics and Microengineering,2018,第11作者
（2）Top-down fabrication of vertical silicon nano-rings based on Poisson diffraction,Nanotechnology,2011,第1作者
（3）Top-down fabrication of shape controllable Si nanowires based on conventional CMOS process,Physica E: Low-dimensional systems and nanostructures,2010,第1作者
（4）Investigations on the impact of the parasitic bottom transistor in gate-all-around silicon nanowire SONOS memory cells fabricated on bulk Si substrate,ECS transactions.,2009,第1作者
（5）Synthesis of GaN nanowires through Ga2O3 films' reaction with ammonia,Materials letters,2007,第1作者
（6）Fabrication of needle-shaped GaN nanowires by ammoniating Ga2O3 films on MgO layers deposited on Si (111) substrates,Materials letters,2007,第1作者
（7）Fabrication of GaN nanorods in large scale on Si(111) substrate by ammoniating technique,Chinese Physics Letters.,2006,第1作者

发表著作

科研活动
科研项目（ 1 ） ****启动经费, 主持,部委级,2016-03--2017-12
（ 2 ） 单晶氮化物薄膜超高频体声波谐振器研究, 主持,国家级,2017-01--2019-12
（ 3 ） 面向下一代移动通信的GaN基射频器件关键技术及系统应用, 参与,国家级,2016-07--2021-06

参与会议

合作情况
项目协作单位

指导学生