1、招生信息2、教育背景3、工作经历4、教授课程5、专利与奖励6、出版信息7、科研活动8、合作情况9、指导学生
基本信息
车录锋 男 博导 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
电子邮件： lfche@mail.sim.ac.cn
通信地址： 上海长宁路865号
邮政编码： 200050
研究领域
招生信息

招生专业080903


招生方向微光机电集成系统及微纳传感器技术

教育背景1996-03--1999-11 浙江大学 博士
1993-08--1996-03 中国科学院长春光学精密机械研究所 硕士
1989-09--1993-07 长春理工大学 学士


学历

学位
工作经历

工作简历2006-01~现在, 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 研究员
2005-01~2005-06,美国加州大学伯克利分校传感器与执行器中心, 高级访问学者
2001-12~2005-12,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 副研究员
1999-12~2001-11,中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 博士后
1996-03~1999-11,浙江大学, 博士
1993-08~1996-03,中国科学院长春光学精密机械研究所, 硕士
1989-09~1993-07,长春理工大学, 学士


社会兼职2006-01-01-今,<<光学精密工程>>编委, 期刊编委

教授课程
专利与奖励

奖励信息（1）MEMS关键设计与制造技术及应用,部委级,2006


专利成果（ 1 ）对称直梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法,2009,第 1 作者,专利号: ZL**4.5
（ 2 ）一种悬臂梁结构制作方法及应用,2009,第 2 作者,专利号: ZL**5.6
（ 3 ）基于硅塑性变形原理的二维梳齿静电驱动器及制作方法,2012,第 1 作者,专利号: ZL**8.X
（ 4 ）一种柔性电容式触觉传感器的制作方法,2010,第 1 作者,专利号: ZL**6.2
（ 5 ）对称倾斜折叠梁结构电容式微加速度传感器,2012,第 1 作者,专利号: ZL**2.X
（ 6 ）一种微型电磁式振动能量采集器及其制作方法,2013,第 2 作者,专利号: ZL**9.1
（ 7 ）对称组合弹性梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法,2012,第 1 作者,专利号: ZL**1.6
（ 8 ）一种双面对称弹性梁结构电容式微加速度传感器及方法,2011,第 1 作者,专利号: **9.4
（ 9 ）双面平行对称硅梁质量块结构及其制备方法,2012,第 1 作者,专利号: **9.1
（ 10 ）变面积型电容式横向加速度传感器及制备方法,2013,第 1 作者,专利号: **7.3
（ 11 ）弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法,2012,第 1 作者,专利号: **5.X
（ 12 ）一种避免寄生电容结构的微加速度传感器及其制作方法,2014,第 1 作者,专利号: ZL**2.9
（ 13 ）电容式微加速度传感器及其单片制作方法,2014,第 1 作者,专利号: ZL**8.X
（ 14 ）“H”形梁的电容式加速度传感器及制备方法,2013,第 1 作者,专利号: ZL**9.5

出版信息

发表论文（1） Design and fabrication of a MEMS capacitive accelerometer with fullysymmetrical double-sided H-shaped beam structure, Microelectronic Engineering, 2015, 第 5 作者
（2） A novel self-aligned electrostatic vertical actuator using plastic deformation technology, Microsystem Technologies, 2014, 第 4 作者
（3） A Novel Sandwich Capacitive Accelerometer with a Double-sided 16-beam-mass Structure, microelectronic engineering, 2014, 第 5 作者
（4） Activating the Microscale Edge Effect in a Hierarchical Surface for Frosting Suppression and Defrosting Promotion, SCIENTIFIC REPORTS, 2013, 第 5 作者
（5） 横向电磁式振动能量采集器的设计与制作, 光学精密工程, 2013, 第 2 作者
（6） A novel capacitive accelerometer with a highly symmetrical double-sided beam-mass structure, Sensors and Actuators A, 2012, 第 2 作者
（7） A novel sandwich capacitive accelerometer with symmetrical structure fabricated from D-SOI wafer, J. Micromech. Microeng., 2012, 第 2 作者
（8） 三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装, 半导体技术, 2012, 第 2 作者
（9） A Novel Z-axis Capacitance Accelerometer with Highly Symmetrical 16-beam Structure, 中国微米纳米技术学会第十四届学术年会, 2012, 第 2 作者
（10） Design and fabrication of a micro electromagnetic vibration energy harvester, Journal of Semiconductors, 2011, 第 3 作者
（11） Single wafer fabrication of a symmetric double-sided beam–mass structure using DRIE and wet etching by a novel vertical sidewall protection technique, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2010, 第 2 作者
（12） A novel electrostatic-driven tuning fork micromachined gyroscope with a bar structure operating at atmospheric pressure, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2010, 第 1 作者
（13） A novel fabrication Process of MEMS devices on polyimide flexible substrates, Microelectronic Engineering, 2008, 第 2 作者
（14） A novel capacitive accelerometer with an eight-beam-mass structure by self-stop anisotropic etching of (100) silicon, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2008, 第 2 作者
（15） A silicon micromachined high-shock accelerometer with a bonded hinge structure, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2007, 第 2 作者


发表著作
科研活动

科研项目（ 1 ）石油勘探地震检波器用新型微机电传感器研究, 主持, 国家级, 2011-01--2013-12
（ 2 ）MEMS加速度传感器规模化制造技术与数字检波器集成-MEMS加速度传感器芯片规模化制造技术, 主持, 国家级, 2011-01--2015-12
（ 3 ）勘探行业MEMS检波器的中试研制及仪器系统集成-高性能MEMS加速度传感器批量制造与封装技术, 主持, 部委级, 2011-07--2012-12
（ 4 ）十万道级数字地震仪器研制-MEMS加速度传感器芯片批量制造技术, 主持, 国家级, 2011-06--2015-07
（ 5 ）微惯性器件的稳定性控制方法研究, 主持, 国家级, 2015-01--2017-12


参与会议
合作情况

项目协作单位
指导学生