1、招生信息2、教育背景3、工作经历4、教授课程5、专利与奖励6、出版信息7、科研活动8、合作情况9、指导学生
基本信息
陈波 男 硕导 中国科学院微电子研究所
电子邮件： chenbo@ime.ac.cn
通信地址： 北京市北土城西路3号
邮政编码：
研究领域
招生信息

招生专业080903


招生方向集成电路先导工艺与仪器装备技术

教育背景2000-09--2004-05 New Jersey Institute of Technology 博士


学历

学位
工作经历

工作简历2009-02~2011-11,美国Angstrom Thin Film 公司, 经理
2005-01~2009-01,美国Semitool公司, 研发工程师、技术经理
2001-01~2004-12,美国NJ Silicon Wafer Tech. 公司, 研发工程师
2000-09~2004-05,New Jersey Institute of Technology, 博士


社会兼职
教授课程
专利与奖励

奖励信息

专利成果（ 1 ）去除光刻胶的方法与装置,2012,第 1 作者,专利号: CN**
（ 2 ）一种用于单面处理的夹持与保护装置,2012,第 1 作者,专利号: CN**
（ 3 ）用于半导体基片表面进行电镀的装置,2012,第 1 作者,专利号: CN**
（ 4 ）一种用于圆形薄片状物体进行化学液喷洒处理的装置,2012,第 1 作者,专利号: CN**

出版信息

发表论文（1） 图型化蓝宝石衬底工艺研究进展, 半导体技术, 2012, 第 5 作者
（2） 基于图型化蓝宝石衬底的HB-LED研究进展, 中国激光, 2012, 第 5 作者


发表著作
科研活动

科研项目（ 1 ）45nm铜互连清洗设备工艺腔室与工艺开发, 主持, 国家级, 2013-01--2015-12


参与会议
合作情况

项目协作单位
指导学生