基本信息
陈德勇 男 博导 电子学研究所
电子邮件：dychen@mail.ie.ac.cn
通信地址：中国科学院电子学研究所科电大厦1101
邮政编码：100190


研究领域MEMS微传感器与微系统。近年来主要研究方向包括：基于MEMS技术的谐振式传感器、振动传感器、惯性传感器、无线无源传感器、微流控芯片以及微纳制造技术等。

招生信息每年招生硕士研究生2名，招收博士研究生2名

招生专业

微电子与固体电子学
生物电子学

招生方向

1. 基于微纳米技术的传感器、执行器与系统
2. MEMS加工技术与工艺
3. 微流控芯片系统

教育背景 1998-09--2002-07 中国科学院电子学研究所 工学博士
1989-09--1992-07 中国科学院半导体研究所 理学硕士学位
1984-09--1989-07 北京清华大学 理学学士

工作经历2002-05--今 中国科学院电子学研究所 研究员
1998-05--2002-05 中国科学院电子学研究所 副研究员
1994-05--1998-05 中国科学院电子学研究所 助理研究员
1992-08--1994-05 中国科学院电子学研究所 研究实习员

2003年 英国卢瑟福国家实验室高级访问学者


专利与奖励

专利成果 （1） 一种基于微机电技术的硅压阻式风速风向传感器，发明，2010，第1作者，专利号：ZL **1.x
（2） 微桥结构热偶型微波功率传感器，发明，2003，第1作者，专利号：ZL**.3
（3） 一种梁膜分体结构谐振梁压力传感器，发明，2005，第1作者，专利号：ZL**.1
（4） 一种基于微电子机械技术的电磁微扭摆谐振式传感器，发明，2010，第1作者，专利号：ZL**0.5
（5） 梁膜一体结构谐振梁压力传感器芯片及制造方法，发明，2005，第1作者，专利号：ZL**.7
（6） 微机械硅谐振梁加速度计，发明，2008，第1作者，专利号：ZL**8.0
（7） 微机械硅谐振式气体流速传感器，发明，2010，第1作者，专利号：ZL**7.3
（8） 基于MEMS技术的电化学地震检波器，发明，2011，第1作者，专利号：**2.9
（9） MEMS应变式结冰传感器及检测方法，发明，2011，第1作者，专利号：**3.9

出版信息发表论文100余篇。近年代表性论文：
1. Deyong Chen*, Guangbei Li, Junbo Wang, Jian Chen, Wentao He, Yunjie Fan, Tao Deng, Peng Wang, A micro electrochemical seismic sensor based on MEMS technologies, Sensors and Actuators A: Physical, In Press, Corrected Proof, Available online 15 January 2013. (SCI, EI)
2. Yuxin Li, Deyong Chen*, Junbo Wang, and Jian Chen, A New Stress Isolation Method in the Packaging of Resonant Pressure Micro Sensors, Sensor Lett. 2013, 11: 264-269 (SCI, EI)
3. Yang Zhao, Deyong Chen*, Yana Luo, Hao Li, Bin Deng, Song-Bin Huang, Tzu-Keng Chiu, Min-Hsien Wu, Rong Long, Hao Hu, Xiaoting Zhao, Wentao Yue, Junbo Wang, and Jian Chen, A Microfluidic System for Cell Type Classification Based on Cellular Size-Independent Electrical Properties, Lab on a Chip, 2013, Acceptance for Publication, DOI:10.1039/C3LC41361F. (SCI, EI)
4. Yang Zhao, Deyong Chen*, Hao Li, Yana Luo, Bin Deng, Song-Bin Huang, Tzu-Keng Chiu, Min-Hsien Wu, Rong Long, Hao Hu, Junbo Wang, Jian Chen, A microfluidic system enabling continuous characterization of specific membrane capacitance and cytoplasm conductivity of single cells in suspension, Biosensors and Bioelectronics, 2013, 43 :304-307. (SCI, EI)
5. Jili Liu, Deyong Chen*, Junbo Wang, Regulating parameters of electromagnetic micromachined vibrating ring gyroscope by feedback control. Micro & Nano Letters, 2012, 7 (12): 1234–1236. (SCI, EI)
6. Junbo Wang, Yanlong Shang, Jian Chen, Zhenguo Sun, Deyong Chen, Micro-machined resonant out-of-plane accelerometer with a differential structure fabricated by silicon-on-insulator–MEMS technology. Micro & Nano Letters, 2012, 7 (12): 1230-1233. (SCI, EI)
7. Deyong Chen*, Zhengwei Wu, Lei Liu, Xiaojing Shi, Junbo Wang. An electromagnetically excited silicon nitride beam resonant accelerometer. Sensors , 2009, 9(3): 1330-1338.(SCI,EI)
研究生培养已指导14名研究生毕业，其中博士3名；目前指导在读研究生14名，其中博士研究生6名。