1、招生信息2、教育背景3、工作经历4、教授课程5、专利与奖励6、出版信息7、科研活动8、合作情况9、指导学生
基本信息
陈鲁 男 硕导 中国科学院微电子研究所
电子邮件： chenlu@ime.ac.cn
通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码： 100029
研究领域
招生信息

招生专业080903


招生方向集成电路先导工艺与仪器装备技术

教育背景1997-09--2003-11 Brown University 博士
1992-09--1997-06 中国科学技术大学 学士


学历

学位
工作经历

工作简历2005-11~2010-02,KLA-Tencor, 研究科学家
2003-11~2005-10,Rudolph Technologies, Inc., 系统科学家
1997-09~2003-11,Brown University, 博士
1992-09~1997-06,中国科学技术大学, 学士


社会兼职
教授课程
专利与奖励

奖励信息

专利成果
出版信息

发表论文

发表著作
科研活动

科研项目（ 1 ）光学检测系统的研发, 主持, 市地级, 2010-07--2013-10
（ 2 ）光学位相检测仪器的研发, 主持, 部委级, 2011-11--2013-11
（ 3 ）百人计划经费, 主持, 部委级, 2010-03--2013-03


参与会议
合作情况

项目协作单位
指导学生