1、招生信息2、教育背景3、工作经历4、教授课程5、专利与奖励6、出版信息7、科研活动8、合作情况9、指导学生
基本信息
靳鹏云 女 汉族 硕导 电工研究所
电子邮件：sandy@mail.iee.ac.cn
联系电话：
手机号码：
通信地址：北京市海淀区中关村北2条6号
邮政编码：100080


研究领域微纳加工工艺与微电子专用设备电子束曝光系统研究
招生信息

招生专业080821-微纳电工技术
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招生方向微纳加工工艺与微电子专用设备电子束曝光系统研究
教育背景

学历清华大学1991**研究生毕业


学位清华大学1991**工学硕士学位


出国学习工作
工作经历

工作简历

社会兼职
教授课程
专利与奖励

奖励信息

专利成果
出版信息

发表论文

发表著作
科研活动

科研项目2002年—今，参加中科院知识创新重大项目“纳米级电子束曝光系统实用化”的研究工作，负责工艺实验和系统的总体调试，同时进行微纳加工工艺的研究。
　　2000年—2002年，参加中科院知识创新重大项目“电子束缩小投影成像曝光系统”的研究工作，负责标记检测系统和对准的研究。
　　1994年—2000年，从事电子束曝光技术及MEMS工艺的研究。

参与会议
合作情况

项目协作单位
指导学生张奇 硕士研究生 080821-微纳电工技术 80148-电工研究所

吕晓飞 硕士研究生 080821-微纳电工技术 80148-电工研究所