1、招生信息2、教育背景3、工作经历4、教授课程5、专利与奖励6、出版信息7、科研活动8、合作情况9、指导学生
基本信息
景玉鹏 男 硕导 中国科学院微电子研究所
电子邮件： jingyupeng@ime.ac.cn
通信地址： 北京市朝阳区北土城西路3号
邮政编码： 100029
研究领域
招生信息

招生专业080903


招生方向集成电路先导工艺与仪器装备技术

教育背景1998-04--2003-09 日本姬路工业大学大学院 工学博士
1982-09--1987-06 清华大学自动化系 工学学士


学历

学位
工作经历

工作简历2005-09~现在, 中国科学院微电子研究所, 研究员
2003-09~2005-09,日本国富士通明石研究所, 研究员
1998-04~2003-09,日本姬路工业大学大学院, 工学博士
1996-09~2000-03,日本国大阪府产业综合技术研究所, 外国人研究员、研究员
1992-04~1996-09,西安市环城建委火车站工程管理处, 工程师
1987-09~1992-03,中国人民武装警察部队技术学院, 助教、讲师
1982-09~1987-06,清华大学自动化系, 工学学士


社会兼职
教授课程
专利与奖励

奖励信息（1）研究生最喜爱的导师奖,院级,2014


专利成果（ 1 ）高速无等离子体硅刻蚀系统,2010,第 1 作者,专利号: CN**U
（ 2 ）超临界二氧化碳涂胶系统,2010,第 2 作者,专利号: CN**U
（ 3 ）一种二氧化碳多功能清洗机 ,2010,第 1 作者,专利号: **1.9
（ 4 ）一种利用超临界水剥离SU-8光刻胶方法及装置,2010,第 1 作者,专利号: **6.1
（ 5 ）基于超临界二氧化碳微乳液干燥的装置及方法,2010,第 2 作者,专利号: **3.9
（ 6 ）高温高压水辅助超临界二氧化碳剥离光刻胶方法及其装置,2010,第 2 作者,专利号: **5.9
（ 7 ）硅片去胶装置及方法,2010,第 2 作者,专利号: **2.2
（ 8 ）硅片打孔系统及方法,2010,第 2 作者,专利号: **3.7
（ 9 ）打孔系统及方法,2010,第 2 作者,专利号: **6.7
（ 10 ）一种利用二氧化碳发电的系统及方法,2012,第 4 作者,专利号: **3.0
（ 11 ）利用微波干燥纳米图形的方法及其装置,2012,第 2 作者,专利号: **2.4
（ 12 ）低温无损伤深斜硅刻蚀系统,2009,第 2 作者,专利号: **0.4
（ 13 ）一种采用超临界水去除光刻胶的系统,2010,第 2 作者,专利号: **3.1
（ 14 ）一种半导体干燥装置及方法,2013,第 2 作者,专利号: **3.8
（ 15 ）一种基于超临界二氧化碳的发电系统,2012,第 2 作者,专利号: **5.1
（ 16 ）一种微波匀胶装置及匀胶方法,2012,第 2 作者,专利号: **0.7
（ 17 ）一种超临界二氧化碳吹洗硅片系统,2009,第 4 作者,专利号: **0.7
（ 18 ）金属层平坦化系统,2009,第 2 作者,专利号: **4.4

出版信息

发表论文（1） A novel method to overcome photoresist collapse with high aspect ratio structures, Microsystem Technologies, 2013, 第 5 作者
（2） Microwave annealing effects on the ZnO films deposited by Atomic Layer Deposition, Journal of Semiconductor, 2013, 第 5 作者
（3） 电磁波穿透消除光刻胶图形坍塌与粘连, 光学精密工程, 2013, 第 5 作者
（4） 干冰微粒喷射清洗技术, 微纳电子技术, 2012, 第 5 作者
（5） A novel photoresist stripping technology based on steam-water mixture, Journal of Semiconductor, 2011, 第 5 作者
（6） Supercritical Carbon Dioxide (SCCO2) process for releasing stuck cantilever beams, Journal of Semiconductor, 2010, 第 5 作者
（7） 超临界二氧化碳（SCCO2）无损伤清洗, 微纳电子技术, 2010, 第 5 作者
（8） 电磁驱动推拉式射频MEMS开关的设计与制作, 微纳电子技术, 2010, 第 5 作者
（9） A simple prediction method for composite retangular cantilevers with eaual-width and the optimization , Microelectronics Journal, 2009, 第 5 作者


发表著作
科研活动

科研项目（ 1 ）二氧化碳超临界流体清洗技术, 主持, 国家级, 2009-01--2012-12
（ 2 ）863重大项目, 参与, 国家级, 2007-01--2011-12
（ 3 ）旋转喷淋湿法工艺刻蚀, 主持, 国家级, 2009-01--2012-12
（ 4 ）多元微波混合电场穿透式热处理系统, 主持, 部委级, 2013-01--2013-12
（ 5 ）基于电磁波辅助的10纳米节点CMOS无粘连无倒伏显影技术研究, 参与, 国家级, 2015-01--2018-12


参与会议
合作情况

项目协作单位
指导学生