1、招生信息2、教育背景3、工作经历4、教授课程5、专利与奖励6、出版信息7、科研活动8、合作情况9、指导学生
基本信息
李成敏 男 博导 中国科学院微电子研究所
电子邮件： lichengmin@ime.ac.cn
通信地址： 北京朝阳区北土城西路3号
邮政编码： 100029
研究领域
招生信息

招生专业080903


招生方向集成电路先导工艺与仪器装备技术

教育背景1986-09--1991-06 University of Illinois, Urbana-Chamgaign Ph.D.
1984-09--1986-09 University of Illinois, Urbana-Champaign Master in Electrical Engineering
1982-09--1984-06 University of California, Irvine B. S. in Applied Physics and EE


学历

学位
工作经历

工作简历2012-08~现在, IME and Beioptics, Vice president
2009-03~2011-03,Western Digital, Manager of HAMR head desgn
2007-08~现在, L2E-Technology, Founder and CTO
1997-09~2007-08,KLA-Tencor, R&D and Engineering Manager
1992-09~1997-07,University Of New Orleans, Assistant Electrical Engiineering Professor
1990-02~1992-07,Emory ,University, Atlanta, Post-Doctoral Fellowship
1986-09~1991-06,University of Illinois, Urbana-Chamgaign, Ph.D.
1984-09~1986-09,University of Illinois, Urbana-Champaign, Master in Electrical Engineering
1982-09~1984-06,University of California, Irvine, B. S. in Applied Physics and EE


社会兼职
教授课程
专利与奖励

奖励信息

专利成果（ 1 ）Fourier filters, systems for fabricating fourier filters, and systems and methods for inspecting a specimen using fourier filters,2010,第 1 作者,专利号: US Patent 7,738,090
（ 2 ）Systems and methods for measurement of a specimen with vacuum ultraviolet light,2009,第 3 作者,专利号: US Patent 7,623,239
（ 3 ）Systems configured to inspect a specimen,2009,第 4 作者,专利号: US Petent 7,535,563
（ 4 ）Spectroscopic multi angle ellipsometry,2009,第 1 作者,专利号: US Patent 7,489,399
（ 5 ）Optical system for measuring samples using short wavelength radiation,2008,第 2 作者,专利号: US Patent 7,369,233
（ 6 ）Systems and methods for measurement of a specimen with vacuum ultraviolet light,2008,第 3 作者,专利号: US Patent 7,359,052
（ 7 ）Constructing well structures for hybrid optical waveguides,2008,第 3 作者,专利号: US Patent 7,146,086
（ 8 ）Film measurement using electron-beam induced x-ray microanalysis,2004,第 1 作者,专利号: US Patent 6,787,773
（ 9 ）In-situ metalization monitoring using eddy current and optical measurements,2011,第 3 作者,专利号: US Patent 6,707,540
（ 10 ）Thermally wavelength tunable laser having selectively activated gratings,2011,第 1 作者,专利号: US Patent 6,647,032
（ 11 ）一种晶片应力测量装置及测量方法,2013,第 1 作者,专利号: **5.2
（ 12 ）一种升降机构,2013,第 2 作者,专利号: **3.8
（ 13 ）一种晶圆片辅助装载装置,2013,第 2 作者,专利号: **5.7
（ 14 ）一种晶片应力测量方法,2013,第 1 作者,专利号: **5.4
（ 15 ）一种在线实时检测外延片生长的方法,2013,第 2 作者,专利号: **7.7
（ 16 ）一种在线实时检测外延片生长的装置,2013,第 1 作者,专利号: **3.7
（ 17 ）一种外延片拉曼光谱数据生成方法,2013,第 2 作者,专利号: **7.1
（ 18 ）一种在线实时检测外延片温度的方法,2013,第 2 作者,专利号: **8.X
（ 19 ）一种在线实时检测外延片温度的装置,2013,第 1 作者,专利号: **1.7
（ 20 ）一种在线实时检测外延片温度的装置和方法,2013,第 2 作者,专利号: **3.2
（ 21 ）一种MOCVD设备实时测温系统自校准方法,2013,第 2 作者,专利号: **9.6
（ 22 ）一种薄膜生长的实时测温方法,2013,第 1 作者,专利号: **4.1
（ 23 ）一种薄膜生长的自校准实时测温装置,2013,第 1 作者,专利号: **7.9
（ 24 ）一种三维移动装置,2013,第 3 作者,专利号: **7.4
（ 25 ）一种光学测量平台,2013,第 3 作者,专利号: **2.X
（ 26 ）太阳能智能窗帘系统,2012,第 1 作者,专利号: **0.X
（ 27 ）Method and system for providing energy assisted magnetic recording disk drive using a vertical surface emitting laser,2012,第 1 作者,专利号: US Patent 8,116,171
（ 28 ）Method and system for mounting lasers on energy assisted magnetic recording heads,2011,第 1 作者,专利号: US Patent 8,012,804
（ 29 ）Measurement systems configured to perform measurements of a specimen and illumination subsystems configured to provide illumination for a measurement system,2011,第 3 作者,专利号: US Patent 7,869,040
（ 30 ）Fourier filters, inspection systems, and systems for fabricating Fourier filters,2011,第 1 作者,专利号: US Patent 7,869,020
（ 31 ）Systems and methods for measurement of a specimen with vacuum ultraviolet light,2010,第 3 作者,专利号: US Patent 7,764,376

出版信息

发表论文

发表著作
科研活动

科研项目（ 1 ）十二五国家重大专项极大规模集成电路制造装备及成套工艺中45-22 nm OCD检测系统研发与产业化项, 主持, 国家级, 2010-01--2014-12
（ 2 ）****, 主持, 部委级, 2013-09--2015-09


参与会议
合作情况

项目协作单位
指导学生